フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

窒素ガス精製ユニット　NS/NSUシリーズ（CKD）

2021年愛知環境賞 金賞受賞！ 窒素は空気から作る。電源不要の窒…

富化ガスを取り出します。 【省工数・省配管・省スペース】 電源不要。圧縮空気を供給するだけで窒素富化ガスが得られます。 システム機器の提供により設計・配管が容易です。 小形・軽量のため、装置の近くに設置可能。窒素専用の長配管工事不要。 【低コスト・省工数】 維持費はエアコンプレッサの電気代だけ。 ボンベの補充費用など継続したコストは発生しません。残量管理、交換業務も不要です。...

メーカー・取り扱い企業： トークシステム株式会社