大型鋳物 ターニング加工【加工事例集を進呈】

PR500～4000ミリの中・大物の工作機械、半導体製造装置などの実績多数…

工作機械、半導体製造装置・各種検査装置部品、船舶・発電機部品、専用機部品、プラント部品などあらゆる鋳物製品の切削加工を行っており、精度や外観に厳しい製品の仕上がりで定評を頂いております。 設備は大型ターニング（立旋盤）３台、五面加工機２台、門型マシニング２台、横中ぐりマシニング3台、大型5軸加工機、立形マシニング7台、平面研磨機など多彩な加工機を保有。 500～4000ミリの中・大物鋳物を高精度で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＳＳ西川機械

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

自動車部品用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１０７５ＳＲ型）

コンパクトな筐体で自動車外装品など大型樹脂成形品の全面成膜に対応　高速…

『高速バッチ型樹脂用蒸着装置』は、自動車部品（外装品）など 樹脂成形品の蒸着加工に特化した専用蒸着装置です。 大口径の排気系とコンパクトなチャンバによる高速バッチ処理を実現。 シンプルな装置構成と高速バッチ処理で量産ラインの生産性の向上を図ります。 オールドライ排気系の採用と前扉型の装置形状によって 排気系のメンテフリー化とシステムのメンテナンス性にも優れており 高い稼働率を実...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

側面電極用イオンプレーティング装置（面実装小型部品対応）

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…

面実装タイプの受動電子部品（抵抗器・コンデンサ）などの側面電極をドライプロセスで形成。 廃液処理不要なクリーンプロセス。部品の端面のみに強い密着力で電極被膜を形成。Ｓｎ、Ｎｉ等の金属膜をハイスループットで形成。（酸化膜形成にも対応） 実績豊富なハードと独自の成膜プロセスで小型電子部品の生産プロセスのドライ化・低コスト化、安定生産に貢献いたします。...電子銃による真空蒸着を基本とし独自のイオン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型蒸着装置（ＡＡＨ型　自動車部品用）

樹脂外装品の成膜に実績豊富な大型蒸着装置　長尺樹脂成形品の成膜に最適　…

１ⅿ以上の長尺樹脂成形品の全面成膜に対応。高速排気と低温蒸着が特徴。短タクト処理で量産ラインに対応。成膜前のイオンボンバード処理により高い膜の密着性を実現。電子銃の複数台使用により各種金属の高速成膜に対応。 水晶振動式膜厚計による制御で不連続膜も安定した全自動成膜を実現。 高い安定性を備えた全自動蒸着装置。...電子銃２～３台を使用。最大１８００ｍｍＬの基板の成膜が可能。基板の自公転回転機構に...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

アークフィラメント式イオンプレーティング装置　

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　Ｃ…

による高密度プラズマで反応膜を高速形成。 各種生成膜 硬質耐酸化性膜：ＳｉＣ 耐プラズマ性膜：Ｙ²Ｏ³ 硬質窒化膜　　：ＴｉＮ，ＣｒＮ，ＴｉＣ 硬質酸化膜　　：ＡＩ²Ｏ³　 半導体製造装置部品の表面処理膜から精密金型の耐酸化性コーティングまで新機能表面処理用コーティング装置...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

各種真空成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼働後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせて頂きます。また、研究･開発部門からの引合いも多く、ご要望に沿った提案が出来ますので、お気軽にご相談下さい。...【製品】 蒸着膜形成装置 ・各種金属/有機物蒸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

研究開発用装置　成膜装置･グローブボックス

有機ELデバイス開発などに適した研究開発用装置を紹介します。

当社では、大気にさらすことなく連続処理が可能な 『研究開発用装置　成膜装置･グローブボックス』を設計・製造・販売しております GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、 基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。 KOREA KIYON製 不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で 水分、酸素量が1ppm以下に保たれる...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

消耗部品

各種消耗部品を取り扱っております。

真空技術の専門商社として各種消耗部品を取り扱っております。...消耗部品 ： 　シールド用大判アルミ箔ロール／拡散ポンプ用オイル／ロータリーポン　プ用オイル／メカニカル・ブースターポンプ用オイル／Cu（無酸素銅）　ハースライナー／EBフィラメント／パッキン各種（角ヒモ／Wシール／　Oリング 各種サイズ）／水晶振動子／ハロゲン・ランプ／フィリップス　球／モニター・ガラス、他 装置関係 ： ...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

大型樹脂基板用蒸着装置

成膜前の高周波プラズマによる放電洗浄により、樹脂基板に対して高い密着力

『大型樹脂基板用蒸着装置』は、自動車の外装品の大型樹脂成形品への 薄膜形成を目的とした大型蒸着装置です。 複数の電子銃蒸発源を装備し、Al、Cu、Niなどの金属膜を長さ1mの 大型樹脂基板へ低温での高速成膜が可能。 自動車部品だけでなく電子機器への電磁波シールドにも実績を持っており、 大型チャンバ（φ2000）、電子銃蒸発源、大型排気系の組合せにより 大量バッチ処理による高品質...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

テクノウェーブ株式会社　会社案内

"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます

テクノウェーブ株式会社は、真空関連装置・部品及び その他産業関連装置・部品の設計から組立検査を得意としております。 真空技術はデジタル家電業界、半導体・電子工学業界、医療など 幅広い産業等で応用されています。 その中で当社はお客様のニーズを的確に把握し、迅速で確実に ご要望に応えられる提案型企業でありたいと考えております。 【事業内容】 ■真空応用関連装置の設計、製作並び...

メーカー・取り扱い企業： テクノウェーブ株式会社

標準バッチバッチタイプ蒸着装置（ＡＭＦシリーズ）

電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。Ｒ＆Ｄ用の多目的小型研究用から…

半導体・ＭＥＭＳ・各種電子部品（センサー、水晶振動子等）の研究開発から本格量産まで幅広く対応する標準型蒸着装置のラインナップ。 全機種クリーンルーム、クリーンバキューム対応で各種選択機構を装備。 実績豊富な標準仕様から個別要求に細やかに対応。 蒸発源・加熱温度・基板機構（プラネタードーム・公転ドーム）操作・ロギングソフト　全てカスタマイズＯＫ 社内デモ機でプロセステストも対応　幅広く柔軟な...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

横型蒸着装置

両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着…

小型基板や小径ウェハの両面成膜、セラミック基板の端面成膜、マスク成膜に最適な独自基板機構を装備。 小型チャンバで大きな処理量を持つ標準横型蒸着装置。 蒸発源・加熱温度・排気系の各種選択可能。樹脂装飾用から電子部品量産の電極形成まで実績豊富な独自機構で対応 ...φ７５０から最大φ１０００まで基板寸法と生産量に合わせて最適な処理量と蒸発源等各種機構が選択できます。 イオンプレーティング機構の...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

製品多様な真空配管部品-フィッティングシリーズ

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

日揚科技(Htc Vacuum)の「フィッティングシリーズ」 は製品多様に揃えています。真空フィッティングはエルボ、ティー、クロス、レジューサ、センターリング、金属のベローズを含めています。規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。製品はいつも真空装置などの配管工程に使われています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...【特長】 ○製品多...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

真空装置用冷凍機SUPCOLD

シンプルな構造で低価格を実現。消費電力、設置スペース、GWPの低減にも…

Supcold社は2011年に創業した新しい会社ではありますが、この分野では経験豊富なスタッフが事業に携わっています。基本設計は米国で、使用している主要部品の多くは米国、ヨーロッパ製を使用し、中国製ではありますが冷凍能力とその品質は、米日の水蒸気ポンプメーカー製と同等以上の性能を有しています。装置価格のみならず、メンテナンス（修理）費用も安価で迅速なサービス体制を有しています。 また、新冷媒を採...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

光学用真空蒸着装置用潤滑材・ミラクルピロー

光学用真空蒸着装置の回転系に滑らかな回転をもたらし、歩留まりの向上と回…

ミラクルピローはNFメタル（デイツ材）を円柱状に成形した製品です。真空中、低温（100℃）から高温（約800℃）まで潤滑性を保ちます。デイツ材については、このサイト内で「真空用自己潤滑性複合材料」を検索してください。デイツ材は潤滑成分に二硫化タングステンを使用しています。二硫化モリブデンを使用した類似品とは強度とダスト発生量で差が出ます。ご注意下さい。形状は、MLP-030（φ8.5×9L）、ML...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社アベニューマテリアル