アルミ溶解炉『アルキープ・アルイッシュ・バーチカルアルキープ』

PR高機能・高品質のアルミ溶解炉。当社のベストセラーモデル"アル…

お客様の運用面・ニーズにお応えできる、多様性を備えたアルミ溶解炉の ベストセラーモデル"アルキープ3姉妹"のご紹介！ アルキープの最大の特長である独自設計の「溶湯プール部」を備え、 溶解室で溶湯を昇温し、溶湯は常にクリーンな状態を維持できます。 【アルキープ3姉妹】 ■アルキープ 　当社独自設計の「溶湯プール部」を備えた元祖モデル。 　溶解室の形状変更により、さらに耐久性・省...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＴＯＫＡＩ

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』

PR30μm以下の水滴と蒸気の超音速噴射で、切削油など頑固な汚れもしっかり…

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』は、水滴と蒸気を超音速で 噴射することで発生する衝撃波（キャビテーション）と せん断力により異物、汚れを除去する装置です。 電気、純水、圧縮空気（or窒素）で動作が可能。 ハンディガンタイプのため汚れを的確に除去できるほか、 装置はキャスター付きで容易に移動できます。 【特長】 ■キャビテーションの効果を利用して汚れを除去 ■薬品を...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（切削粉除去）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

太陽電池用シリコン基板の切削粉除去の洗浄データ公開中　超音速噴射ノズル…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。 本ページでは、太陽電池用シリコン基板の切削粉を除去処理した際のデータ資料を掲載...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『ASTE（アステ）』

金属汚染のない半導体用の洗浄装置！単式蒸気噴射音速ノズル搭載

『ASTE（アステ）』は、エッチング後のポリマ除去や、 ウエハ上の異物除去 （ブラシスクラバの置換え）が出来る、 金属汚染のない蒸気2流体洗浄装置です。 高価なアミン系剥離剤等の薬液を使わずにポリマと レジストを同時に除去できるので大幅なコスト低減が期待できます。 原料は「水」なので、環境にやさしい洗浄装置です。 【特長】 ■コスト低減 ■工程数削減 ■環境負荷低減 ...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『VALIUS（バリウス）』

レジスト・ペースト除去ができる太陽電池用の洗浄装置！超高速処理が可能

『VALIUS（バリウス）』は、レジスト・ペースト除去が出来る、 多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。 高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、 コンパクトな設置面積（本体）を実現しています。 連続処理で500枚／時以上の超高速処理が可能。 原料は「水」なので、化学薬品の使用量を大幅に低減することが できる環境にやさしい装置です。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気2流体洗浄モジュール『コアモジュール』※試験結果付き資料進呈

ハンディタイプ新登場！蒸気・液体をピンポイントで超音速噴射。2つの衝撃…

『コアモジュール』は、ノズルから蒸気・液体の流体を超音速噴射し 対象物の表面にキャビテーションを発生させる2流体洗浄モジュールです。 水滴の衝突時、キャビテーションが弾ける際に生じる2つの衝撃波により ナノレベルの微細な異物も剥がし取るように除去できます。 蒸気発生装置とノズルは、用途に合わせて選択可能。 現在、特長や試験結果をまとめた資料をプレゼント中です。 ※ハンディタ...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

低温レジスト剥離装置『AURORA（オーロラ）』

薬液洗浄工程をなくすことでウエットベンチの設置面積を削減可能！

『AURORA（オーロラ）』は、イオン注入後のレジスト剥離が出来る 低温レジスト剥離装置です。 プラズマ処理とオゾン水処理を組み合わせることで残渣なしで剥離できるほか、 下地膜（Si、SiO2など）を膜べりなしでの剥離にも対応します。 また、硫酸過水、アンモニア過水等の薬液洗浄工程をなくすことで、 ランニングコストおよび工程数を削除可能。 速い除去レート(2～4μm/min)に...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気2流体洗浄(ハンディタイプ）

水のみを使った画期的な 可動式蒸気洗浄機が新登場！！ ガンタイプな…

＝半導体業界から生まれた新技術＝ 蒸気を超音速で噴射することにより発生する衝撃波（キャビテーション）と、せん断力により異物、よごれを除去できます。 実験試作用に作られた小型で移動式の蒸気2流体洗浄装置です。 工場内で色々な対象物を試すには最適です。電気・純水・圧縮空気（または、窒素）だけで動作可能です。 《新製品の特徴》 ■ガンタイプですので、どこにでも持ち運びOK 　狭い場所での...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

水蒸気2流体洗浄と超音波・高圧洗浄の異物除去率の比較公開中

超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄する水蒸気2流…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。 本ページでは、有機ELを対象に、当社製品と超音波＋高圧洗浄の異物除去率の比較の...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社