小型空気圧サーボ弁『空圧サーボ弁　J814シリーズ』

1～200 NL/min定格流量の空気圧サーボ弁。高応答性、高精度に小…

信号対制御圧力の再現性が良いので、圧力、力、位置や振動の制御に適しています。真空状態を作り出すこともできます。 代表的なアプリケーションはロボット、半導体製造装置、アニマトロニクス、アクティブ除振装置、荷重試験機、内圧制御装置、押し付け力制御装置などです。 【特長】 ■トルクモータを用いた1段型ノズルフラッパ弁 ■高分解能と低ヒステリシス ■小型で軽量、高応答性 ■摺動部がなく...

メーカー・取り扱い企業： 日本ムーグ株式会社