ＦＡ用防振台

ＦＡ用防振台

今までＦＡ業界でへ困難であった空気バネ式の除振装置 の導入が可能となりました。 素早いエアー供給、エアー排気機構を開発。 エアーＯＮで1.5秒、ＯＦＦで1秒以下の高タクトタイム を実現！電磁弁でスムーズな除振構造へ立ち上げられます。(エ...

メーカー・取り扱い企業： ワイヤード株式会社

精密ガラス加工機　ND820-2F

本加工機の架台は、高性能の済南花崗岩が採用されております。よって、高精…

境の影響（風雨、太陽熱、地熱等）で経年変化し、緻密な鉱物粒子構造、均一な石質を形成。線膨張係数は小さく、内部残留応力も完全に消えています。 よって、花崗岩部品は加工精度高く、変形いたしません。また除振性、耐薬品性、耐摩耗性などの素材特性も優れており、高精度で高耐久性に優れた長期安定性のCNCマシンが実現できます。 高速回転主軸：24,000/40,000/60,000/100,000rpm。 ...

メーカー・取り扱い企業： ND精工株式会社

マニピュレータシステム

マニピュレータシステム

トではピックアップできないワークを精密対象把持動作がワークにダメージを与える事無くピックアップする事を保証します。 ・モノコック式高剛性軽量の顕微鏡ベースが、従来の２倍の剛性と速い振動収束を実現し除振台無しでサブミクロンの計測を可能にしました。 ・軽量・コンパクト・高剛性の卓上マシン。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

簡易シールドボックスプローバ『TBシリーズ』

プローブに必要な構成品を標準装備！コストパフォーマンスに優れたプロービ…

スで各種の計測目的に適したコストパフォーマンスに 優れたモデルのプローバです。 コンパクトなシールドボックスの中には試料台、マイクロポジショナ、 プローブ二ードル、信号用ケーブル、顕微鏡、除振台を標準装備。 プローブに必要な構成品があらかじめ含まれていますので、新たにプロービング環境を 構築する場合に比べて初期導入費用が安価で済みます。 【特長】 ■試料台、マイクロポジシ...

メーカー・取り扱い企業： 雄山株式会社 東京支店

半導体製造装置振動モニター -変位データを長期間ロギング-

長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト半導体製造装置振…

■□■特徴■□■ ■半導体製造ラインでの不良の原因となる振動について、 除振台に変位計、加速度計を設置して最大10Hzで長期間連続集録 ■集録したデータは画面上にそのまま/周波数解析して グラフ表示する他、1時間毎のCSVファイルとして出力 ■本システムで保存...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペリテック 神奈川エンジニアリングセンター、東京営業所、ベトナム事業所

半導体製造関連　【半導体ウェハ自動搬送装置】

検査機に対して半導体ウェハを自動供給する装置です。除振機構を採用、検査…

■FFU（クリーンファンユニット）付、完全密閉型クリーン環境検査。 ■除振機構 ■ウェハ有無の自動検出機能 ■プリアライメント機構　XY軸ストローク：±2mm以上、θ軸ストローク角度：±15度以上、吸着テーブル。 ■ウェハ入れ替えタクトタイム：60秒 ■陽圧仕様　26.6...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

試作量産対応半自動露光装置

アライメント精度＝±1μｍ以下！！！

ンチ又は角基板も対応アライメントは自動、平行だし、Gap制御も自動で、ワークの搬入、搬出のみ人手にて行います。 片面、両面アライメントに対応します。 アライメント精度＝±1μｍ以下。 除振機能は標準仕様、両面アライメントは、両側光学系、IR光学系選択可能です。 露光方式は、バキュームコンタクト、ハードコンタクト、プロキシミティに対応します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

試作開発用マニュアル露光装置

研究開発に便利な手動アライナー！！！

2-6インチに対応し（角基板も対応）アライメントは手動、Z軸制御は自動にし、Gap精度を上げ、使いやすい装置にしています。 片面、両面アライメントに対応します。 テーブルトップから、除振台付属等、豊富なラインナップを持っています。 両面アライメントは、両側光学系、IR光学系選択可能です ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所