試作量産対応半自動露光装置

アライメント精度＝±1μｍ以下！！！

ンチ又は角基板も対応アライメントは自動、平行だし、Gap制御も自動で、ワークの搬入、搬出のみ人手にて行います。 片面、両面アライメントに対応します。 アライメント精度＝±1μｍ以下。 除振機能は標準仕様、両面アライメントは、両側光学系、IR光学系選択可能です。 露光方式は、バキュームコンタクト、ハードコンタクト、プロキシミティに対応します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

試作開発用マニュアル露光装置

研究開発に便利な手動アライナー！！！

2-6インチに対応し（角基板も対応）アライメントは手動、Z軸制御は自動にし、Gap精度を上げ、使いやすい装置にしています。 片面、両面アライメントに対応します。 テーブルトップから、除振台付属等、豊富なラインナップを持っています。 両面アライメントは、両側光学系、IR光学系選択可能です ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所