ＦＡ用防振台

ＦＡ用防振台

今までＦＡ業界でへ困難であった空気バネ式の除振装置 の導入が可能となりました。 素早いエアー供給、エアー排気機構を開発。 エアーＯＮで1.5秒、ＯＦＦで1秒以下の高タクトタイム を実現！電磁弁でスムーズな除振構造へ立ち上げられます。(エ...

メーカー・取り扱い企業： ワイヤード株式会社

簡易シールドボックスプローバ『TBシリーズ』

プローブに必要な構成品を標準装備！コストパフォーマンスに優れたプロービ…

スで各種の計測目的に適したコストパフォーマンスに 優れたモデルのプローバです。 コンパクトなシールドボックスの中には試料台、マイクロポジショナ、 プローブ二ードル、信号用ケーブル、顕微鏡、除振台を標準装備。 プローブに必要な構成品があらかじめ含まれていますので、新たにプロービング環境を 構築する場合に比べて初期導入費用が安価で済みます。 【特長】 ■試料台、マイクロポジシ...

メーカー・取り扱い企業： 雄山株式会社 東京支店

半導体製造装置振動モニター -変位データを長期間ロギング-

長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト半導体製造装置振…

■□■特徴■□■ ■半導体製造ラインでの不良の原因となる振動について、 除振台に変位計、加速度計を設置して最大10Hzで長期間連続集録 ■集録したデータは画面上にそのまま/周波数解析して グラフ表示する他、1時間毎のCSVファイルとして出力 ■本システムで保存...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペリテック 神奈川エンジニアリングセンター、東京営業所、ベトナム事業所

半導体製造関連　【半導体ウェハ自動搬送装置】

検査機に対して半導体ウェハを自動供給する装置です。除振機構を採用、検査…

■FFU（クリーンファンユニット）付、完全密閉型クリーン環境検査。 ■除振機構 ■ウェハ有無の自動検出機能 ■プリアライメント機構　XY軸ストローク：±2mm以上、θ軸ストローク角度：±15度以上、吸着テーブル。 ■ウェハ入れ替えタクトタイム：60秒 ■陽圧仕様　26.6...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン