超高真空対応除振システム

超高真空対応除振システム

ターボ分子ポンプの振動にお困りではありませんか ？ 表面分析、精密加工などの装置に付いているターボ分子ポンプの振動を10：1と軽減させることの出来る『バイブレーション　アイソレーター』を是非お使いください。 ...ターボ分子ポンプの振動にお困りではありませんか ？ 表面分析、精密加工などの装置に付いているターボ分子ポンプの振動を10：1と軽減させることの出来る『バイブレーショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

圧力微分計

除振台の精密制御や、漏れ流量計測などに最適

【概要】 除振台の精密制御や、漏れ流量計測などに最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 東京メータ株式会社

小型空気圧サーボ弁『空圧サーボ弁　J814シリーズ』

1～200 NL/min定格流量の空気圧サーボ弁。高応答性、高精度に小…

信号対制御圧力の再現性が良いので、圧力、力、位置や振動の制御に適しています。真空状態を作り出すこともできます。 代表的なアプリケーションはロボット、半導体製造装置、アニマトロニクス、アクティブ除振装置、荷重試験機、内圧制御装置、押し付け力制御装置などです。 【特長】 ■トルクモータを用いた1段型ノズルフラッパ弁 ■高分解能と低ヒステリシス ■小型で軽量、高応答性 ■摺動部がなく...

メーカー・取り扱い企業： 日本ムーグ株式会社