1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

書籍【マイクロリアクターによる合成技術と工業生産】

合成反応の収率・選択性向上と生産現場におけるコストダウン 開発、生…

○発刊日2009年09月25日○体裁B5判上製本 234頁○価格：本体 55,000円＋税 →STbook会員価格：52,190円＋税○著者：前　一廣 京都大学 / 藤井　泰久 (株)KRI / 山上　達也 (株)コベルコ科研 / 馬場　美貴男 東レエンジニアリング(株) / 野田　賢 奈良先端技術大学院大学 / 田中　仁章 横河電機(株) / 川崎　慎一朗 産業技術総合研究所 / ...

メーカー・取り扱い企業： S&T出版株式会社