342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズ

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズは、真空環境下におけるサセプタ（化合物半導体、シリコンウエハ等）をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。位置決め用センサを真空環境下に配置することで、本気単体のみの設置だけで完了し、装置設計の自由度もUPします。 詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL4484シリーズ

制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。

【仕様】 ○被搬送物　SEMI規格　100～200mmシリコンウエハ ○位置決め時間　センタリング：3sec ○位置決め制度 →センタリング：±0.1mm以内 →オリフラ（ノッチ）ロケート：±0.1°以内 ○センサ　可視光半導体レーザーセンサ ○サ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL46C6シリーズ

シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

【仕様】 ○被搬送物　SEMI規格　150～300mmシリコンウエハ ○位置決め時間　センタリング：3sec ○位置決め制度 →センタリング：±0.1mm以内 →オリフラ（ノッチ）ロケート：±0.1°以内 ○センサ　可視光半導体レーザーセンサ ○サ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル