DCブラシレスモータ用コントローラ

PRメカナムホイールを制御するサンプル動画あり！開発時間短縮に貢献します！

『DCブラシレスモータ用コントローラ』は、AGV（無人搬送車）や 移動型ロボットなどのモータ制御の開発時間短縮に貢献します。 シングルまたはデュアルチャンネルタイプをそれぞれ「SBLシリーズ」「FBLシリーズ」「GBLシリーズ」でラインアップ、高回転対応機種もございます。 CAN通信にも対応するほか、ホールセンサやエンコーダなど多くのロータ位置検出センサに対応しており、サーボモータ制御も可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アキュレイトシステムズ 伊那事業所

小型レトルト釜『HLM-36EF』 ※FOOMA 2024に出展

PR全自動で加熱・調理・殺菌。 F値制御対応で設定簡単。 食品ロス対策…

『レトルト軒』は、レトルト食品に関する 加熱＆加圧・殺菌・冷却を全自動で行える小型レトルト釜です。 アルミパックや耐熱袋など、さまざまな包装材に対応し、 破袋やダメージを最小限に抑えるように加圧圧力の設定が可能。 F値の演算・制御に対応し、確実性が求められる殺菌作業が容易に行えます。 200V電源と給排水を設けるだけで、低コストに高圧蒸気を利用した 加熱調理が行なえ、添加物・防腐剤を使わない食...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社平山製作所

雰囲気制御下での処理

サンプル本来の状態を評価することが可能

■特徴 ・雰囲気（水分・酸素）を制御したグローブボックス内でサンプルを扱うことで、反応性の高いサンプルについても変質・変化を最小限に抑えることが可能 ・雰囲気制御下での切断・剥離・測定面出し加工により、大気の二次汚染・酸化を抑えるこ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】雰囲気制御下での有機金属錯体の定性分析

酸化の影響を受けない条件でTOF-SIMSによる質量分析が可能です

チタンテトラアルコキシドは、香月・シャープレス不斉エポキシ化に欠かせない試薬であり、大気下では酸化の影響を受けます。 今回、チタンテトラアルコキシド（チタンテトライソプロポキシド）について、雰囲気制御下と大気暴露後において、どのように変化するかTOF-SIMSを用いて調べた事例を示します。 MSTでは雰囲気制御により、大気酸化の影響を受けずに錯体の評価が可能です。 測定法：TOF-SIMS ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【事例】プロセス制御・集録アプリケーション

ソフトウエアのカスタマイズにより、柔軟に評価環境をご用意！

プロセス制御・集録アプリケーション　モデル例をご紹介します。 センサ情報を元に時間確定性の高いリアルタイムな制御（温度・風速・流量等）、集録を行なうような場面において、専用に 　ハードウエアを構築することな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Wave Technology

ハイパワー恒温恒湿槽での環境試験

ハイパワー恒温恒湿槽を2台導入！車載用部品等の温度サイクル試験・温湿度…

ワー恒温恒湿槽での環境試験』を 承っております。 最大15℃/分（-45⇔±155℃）の定速温度変化が可能。 温度勾配をコントロールしての温度サイクル試験が実施できます。 また、温度制御範囲が一般的な恒温恒湿槽より広く、95℃にて制御可能です。 【特長】 ■ハイパワー恒温恒湿槽を2台導入 ■最大15℃/分（-45⇔±155℃）の定速温度変化が可能 ■温度勾配をコントロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

最適化・学習制御の落とし穴

データ解析・AIに何ができる/できないか！的確な解析手法をご提案します

析した結果を効果的に提示するための可視化手法もご提案します。 【背景・課題】 ■各種デバイスの普及で環境に関する情報、機器動作や人間行動に関する データ収集が容易になり、それに基づく精緻な制御が可能となってきた ■しかしここ数年のように事態が急変し、前提条件が崩れると、最適化 または学習した結果は現実を反映できない恐れが高く ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社KRI

【分析事例】環境制御in-situXAFSによるRuO2触媒評価

着目のガス雰囲気・温度条件下での測定が可能

in-situ XAFSは、試料周りの環境を着目に応じたガス雰囲気・温度に制御した条件下で、試料の化学結合状態・局所原子構造が評価できます。そのため、触媒等、特殊な環境での状態評価が必要な場合に適しています。本資料では、in-situ XAFSを用いてRuO2粉末を還元雰囲気...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】雰囲気制御&冷却下でのSEM分析

雰囲気制御下での処理 クライオ加工 冷却 SEM： 走査電子顕微…

気に暴露すると変質してしまうリチウムイオン二次電池材料や、加工・観察時の熱で変質する有機系材料等の試料は、TEM・SEMを用いて本来の構造を観察することが困難でした。 大気暴露することなく（雰囲気制御）FIB付き高分解能SEM装置で観察することで、粒子や電解質等の本来の状態を知ることが出来ます。また冷却にも対応しており、熱による変質も抑えることが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

液圧試験設備を用いた疲労試験・破裂試験

自動車およびその周辺分野を含めた様々なニーズにお応えし、委託試験・研究…

液圧サイクルによる容器や部品の疲労試験(温度・湿度制御可能)や破裂試験が可能です。 ●圧力容器等の破壊試験（耐圧試験、破裂試験） ●圧力容器等の疲労試験（圧力サイクル試験、加速応力試験） ●大型恒温槽を使用した供試体の温度サイクル試験 ●圧...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人日本自動車研究所

【分析事例】LIB(リチウムイオン)正極材料の解析

雰囲気制御＋冷却下での原子レベル観察

MSTでは、雰囲気制御（＋冷却）下で原子レベルのTEM分析が可能です。 本資料では、リチウムイオン二次電池から大気非暴露で解体して取り出した正極材料のLiCoO2粒子を、雰囲気制御＋冷却下でFIB加工・TEM分析した...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】水素注入サンプルのSRA/SIMS評価事例

ライフタイム制御サンプルのキャリア濃度分析事例紹介

パワー半導体デバイスでは、ライフタイム制御のために、Si基板内に結晶欠陥を形成することがあります。ライフタイム制御領域の作成に用いられる元素の一つである水素イオンの熱処理条件の違いによるキャリア濃度分布を評価した事例を示します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

パワーデバイスのHAST試験

パワーデバイスに対して高温･高湿度環境下で最大1000Vの印加が可能！…

：最大30個 (正極側) 　対応モジュール ：TO-247､TO-220 等 (その他のパッケージは要相談：ソケット調達可) 　測定内容 ：漏れ電流のモニタリング 　試験装置 ：温度制御範囲 105.0℃～142.9℃ 湿度制御範囲 75%RH～100%RH 　　　　　 　圧力範囲 0.020～0.196MPa（ゲージ圧） 【試験条件例】 　JESD22-A11...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

コンプレッサー・ブロワー省エネ診断

ご使用の圧縮空気システムの総合的な分析！エネルギー効率を改善できる方法…

当社で行っている「コンプレッサー・ブロワー省エネ診断」を ご紹介いたします。 コンピューター制御の現状分析(ADA)を掲示し、当社独自のケーザー省エネ システムソフトウェアを使用してその結果を評価。 ご使用の圧縮空気システムにおける総合的な分析を行います。 ご用命の際は、お気軽に当社...

メーカー・取り扱い企業： ケーザー・コンプレッサー株式会社

数値解析ソリューション

3D CAEを活用した流体解析、構造解析で、お客様の製品開発や課題解決…

当社は、自動車業界で需要が高まっているモデルベース開発において、 開発に必要なCAEによる要求分析、制御設計（制御対象モデル）、 検証ツール（MILS、HILS）をサポートいたします。 そのノウハウを活かして、製品開発の上流工程で製品に求める機能の 物理現象を1D CAEで具体化する解析業務...

メーカー・取り扱い企業： デジタルソリューション株式会社

【分析事例】Si系IGBTチップ断面の低温顕微PL分析

断面方向からライフタイムキラーの影響を確認することが可能です

IGBT(絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)はパワー半導体モジュールとして、家電用品から産業機器まで様々な製品に使用されています。 IGBTは特性改善のためにライフタイム制御が行われていますが、この制御はドリフト層に欠陥（ライフタイムキラー）を作成することによって行われています。断面からの低温顕微PL分析を行うことによって、ライフタイムキラーに関する知見を得ることが可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

SIMS分析データの再現性

再現性の高い不純物量評価が可能です

半導体デバイスの製造において、ドーパント等の不純物の制御は重要な工程となります。 イオン注入に着目した場合、僅かな差が品質や性能に影響を及ぼすため、正確な制御が必要となります。SIMS分析の高い再現性は、それらの開発・維持管理に最適です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】有機EL層の定性分析

雰囲気制御下での測定面出し加工により成分の変質を抑制

有機ELを搭載した市販のデジタルオーディオプレーヤーについて、雰囲気制御下で測定面を出すことで加工による変質を抑えて、成分の定性分析を行いました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ＰＶ（太陽電池）各種評価事例集

太陽電池（ＰＶ）の組成評価や同定・膜圧評価・形状評価・結晶構造評価など…

【展示パネル　詳細】（一部抜粋） ○有機薄膜太陽電池の活性層の組成分布評価 →雰囲気制御下での前処理および深さ方向分析が可能 →測定法：TOF-SIMS・雰囲気制御下での処理 ○結晶Si太陽電池の拡散層評価 →ドーパントの定量評価およびキャリアの分布評価 →測定法：SIMS・S...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 201911-01 再生医療分野でのバイオマテリアル

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

られる。どのような特性が細胞機能に寄与しているかの詳細は未解明な課題であるが、力学や形態特性が注目されている。本稿ではアルギン酸ゲルを対象として特性評価例を紹介する。また、ゲル化メカニズム解明は特性制御にとって重要であり、アルギン酸の水溶液からのゲル化過程の分析によって、ゲル化メカニズムを提案した。 【目次】 １．はじめに ２．アルギン酸ゲルの特性評価 ３．アルギン酸のゲル化メカニズム ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

工業計測器　開発・製造サービス

見えないところで、お役に立ちたい

当社では、工業計測器・各種変換器・情報応用機器・電子制御システムの 開発・製造・販売などの事業を展開しております。 システム技術、計測技術、及び計算技術(CAE解析)の部門を兼ね備え、 FAシステムの設計製作から工業や土木計測及び開発まで、日々...

メーカー・取り扱い企業： 計測エンジニアリング株式会社

パワーサイクル試験

自社開発の通電試験制御ユニットにより、価格をおさえたパワーサイクル試験…

パワー半導体モジュールの信頼性テスト、パワーサイクル試験を受託いたします。 弊社では、「通電試験制御ユニット」を自社開発し、汎用電源を自社開発制御ユニットでコントロールすることで比較的安価なパワーサイクル試験を実現しました。 パワーサイクル試験を低コストで行いたい、試験にかけられる予算があま...

メーカー・取り扱い企業： 大分デバイステクノロジー株式会社

がいし装置の実規模試験に　1500kN横型疲労試験機

リアルタイムに試験波形が確認できる！最新鋭の横形疲労試験機

属摩耗試験機など、多種多様な試験設備を取り揃えております。 様々な分野のお客様にご利用頂くために、受託試験・分析業務を承っております。 【1500kN横型疲労試験機のご紹介】 電気油圧サーボ式制御システムを装備した最新鋭の横形疲労試験機です。 詳細はお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本カタン株式会社

小型製品の引張試験に　500kN横型引張試験機

強制開閉式で試験片の着脱が早く、同一形状で多数の試験を行うのに最適！

金属摩耗試験機など、多種多様な試験設備を取り揃えております。 様々な分野のお客様にご利用頂くために、受託試験・分析業務を承っております。 【500kN横型引張試験機のご紹介】 電気油圧サーボ式制御システムを装備した最新鋭の油圧試験機です。 詳細はお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本カタン株式会社

技術情報誌 202102-03 XAFSによる半導体中の状態評価

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 半導体へのドーパント添加は、電気特性を制御する上で非常に重要な技術であり、添加によるキャリア発生のメカニズムは固体物理の理論に基づいて理解されているが、ドーパント元素における直接的な化学状態や配位環境の評価事例は少ない。元素ごとの状態評価は...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

リチウムイオン電池向けのソリューションならコネックスシステムズ

コネックスシステムズは電池開発における、専門的な知見でお客様の目的や用…

す。 【取扱製品の特徴】 ・高いパフォーマンスのLFPセルを採用し、長寿命･安全･温度範囲が広い ・エネルギー密度が高い･コンパクト･軽量･環境にやさしい ・効率が高い･充電が速い ・制御装置（BMS）内蔵で、安心安全･信頼性が高い（電圧･電流･温度の保護機能付き） ・鉛蓄電池（VRLAバッテリー）と同じサイズで置き換えが簡単 ・メンテナンスフリー ...

メーカー・取り扱い企業： CONNEXX SYSTEMS株式会社

故障劣化予知診断　高調波を使用して電気設備の不具合箇所を特定！

2次から40次までの高調波を使用して診断！　モーター、機械、インバータ…

日本メカトロン株式会社は、計測、制御システムの開発を手がけ、 お客様に満足いただけるシステムをご提案させていただきます。 弊社の『故障劣化予知診断』は、高調波診断で行う予知保全システムです。 10年以上3万台以上の設備を測定...

メーカー・取り扱い企業： 日本メカトロン株式会社 大阪事業所

［SEM］走査電子顕微鏡法

高倍率観察(30万倍程度まで)が可能

置・形状を評価 　電子後方散乱回折（EBSD)法により、結晶情報を取得可能 　FIB加工とSEM観察の繰り返しにより、立体的な構造情報を取得可能（Slice & View） 　冷却観察・雰囲気制御観察...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

絶対PL量子収率測定

絶対PL量子収率測定は、材料の発光効率を求める手法です。

いの効率で発光が得られるか、つまり材料の発光効率を求める手法です。 ・分光器付きの励起光源を用いているため、様々な波長（約350～800nm）での励起が可能 ■MSTの特徴 ・装置は雰囲気制御下で管理されているため、薄膜サンプルについては酸素の影響を受けずに測定することが可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［AFM］原子間力顕微鏡法

ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測

周波で強制振動させ、試料表面を走査します。 走査の過程で、探針が試料表面に近づくと探針の振動振幅は減少し、逆に遠ざかると増加します。この変化を打ち消して、ある一定の振動振幅を保つように探針の高さを制御しながら走査する方法です。 探針の位置は、探針にレーザーを照射し、その反射光をフォトディテクタで検出することで行います。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

『SAE＃2試験装置』

湿式クラッチの摩擦特性、潤滑特性等の評価試験を自動で行う装置のご紹介で…

【オプション】 ■多段押し付け圧力制御 ■軸心給油ユニット ■高速回転試験対応(10000rpm) ■バンドブレーキ用試験槽 ■中速引きずり試験 ■高トルク試験対応 ※恐れ入りますが、詳細につきましてはお問い合わせくださ...

メーカー・取り扱い企業： オートマックス株式会社 本社・工場

【分析事例】発光寿命測定によるキャリアライフタイム評価

発光寿命からSiCのキャリアライフタイムについて知見が得られます

キャリアライフタイムとは、電子デバイスの動作の際に生じる過剰キャリアの内、少数キャリアが1/eになるまでの時間です。これを適切に制御することがデバイスの電気特性をコントロールする上で重要です。 一方、発光寿命とは試料からの発光強度が1/eになるまでの時間を示し、発光減衰曲線から算出可能です。少数キャリアの一部は再結合時に発光す...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

熱流体解析ソフトウェア「e-flowDX」

移動境界問題・自由表面問題シミュレーション専用プログラム

●SuperCartesian法による自由な形状表現／SuperCartesian法は、直交格子の中で任意の形状を定義でき、従来の構造格子の常識を覆す精度の高い表現が可。形状定義や格子の粗密制御が自在であり、極めて高速に3次元CADからのデータインポートによる完全自動格子生成する事が可能 ●輻射解析／自社開発のTP法により、従来計算量が多くて不可能であった輻射問題に対し、極めて高速・高精...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社環境シミュレーション

【分析事例】化学修飾XPSによる水酸基の定量

高分子フィルムの水酸基評価

高分子フィルムの接着性や濡れ性といった特性を制御するにあたって、表面に存在する極性官能基(アルコール基)を定量的に評価することは非常に重要です。XPSは定量的な評価に最適ですが、ピーク位置が隣接している酸化状態(C-O-C)と水酸化状態(C-OH...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】液晶材料の分子構造解析

GC/TOFMSにより液晶ディスプレイ中液晶分子の構造推定が可能です。

液晶パネルの応答速度、駆動電圧、コントラストの信頼性特性は、液晶分子構造などに起因します。そのため、分子構造の詳細を解析することは、液晶パネルの表示特性を制御するのに不可欠です。ここでは、市販品のパネル中の液体成分を抽出し、GC/TOFMSで構造推定した事例を紹介します。負の誘電異方性を示す液晶材料など約10種の成分を精密質量情報から推定しました。 測...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】結晶Si太陽電池の不純物評価

金属元素および大気成分元素の極微量分析

結晶Si太陽電池の基板成長からセル形成までの各工程で必要とされている不純物量制御のための評価法として、高感度分析による元素濃度測定をご提案します。金属元素はppb以下、Hを含む大気成分元素についてはppm以下の濃度まで計測可能です。 測定法：SIMS・ICP-MS・エッチング...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】リチウムイオン二次電池　Si負極の評価

サンプル冷却により充電後のSi負極の構造を評価可能

Siは高容量負極活物質の候補の一つですが、充放電時の非常に大きな体積変化のためにサイクル劣化が激しいと言われています。今回、充電後のSi負極の状態を確認するために、雰囲気制御環境下で解体して冷却FIB加工を行い、SEMにて断面形状を観察しました。室温で断面観察を行った場合は、膜の収縮・観察面の荒れ・孔発生等の大きなダメージが見られる一方で、冷却しながら観察を行うことでS...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】GCIBを用いた有機材料劣化成分の深さ方向分析

雰囲気制御下でのGCIBを用いた有機EL層構造および劣化層の成分評価

大気暴露することで劣化が生じる有機材料について、GCIB（Arクラスター）を用いて劣化成分を深さ方向に分析した事例を紹介します。実験には有機EL原料のルブレンを用いました。大気暴露したサンプルをTOF-SIMSで測定をした結果、ルブレンペルオキシドと推定される質量（m/z 564）や、低分子のベンゼン系の質量（m/z 77,105）が検出されました。これらの劣化に起因する成分は、表面から約1μm以...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】セラミックス材料に含まれる微量金属の価数評価

ppmオーダーの微量金属も評価可能です

各種材料の特性を設計・制御するにあたって、母材に微量含まれている元素の種類や量、またそれらの存在状態を明らかにするのは非常に重要です。このうち元素の種類や量に関してはSIMS(二次イオン質量分析法)やICP-MS(誘導結合プ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】X線吸収・発光分光によるバンド構造評価

材料の価電子帯・伝導帯・ギャップ内準位の詳細な情報が得られます

材料の様々な特性を制御するにあたって価電子帯・伝導帯・ギャップ内準位といったバンド構造の把握は極めて重要な評価項目となっていますが、それらを直接的かつ詳細に評価する分析手法は限られています。放射光を用いたX線吸収分光(X...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】薄膜表面処理後の仕事関数評価

ITO表面プラズマ処理後のUPS分析

半導体デバイスでは、構成される各種材料の仕事関数の組み合わせにより、その性能が大きく左右されます。このため、表面処理や表面修飾等によって仕事関数を制御しようとする試みがなされており、それらの効果を検証することは重要です。 本資料では、有機ELや太陽電池等の電極材料として用いられるITO（SnドープIn2O3）について、表面プラズマ処理前後での仕...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】IC法による溶液中の有機酸の分析

溶液中の有機酸の定性・定量分析が可能です

化安定剤として、化学工業・医薬・食品などの分野で幅広く利用されています。 特にメッキ液中の有機酸濃度は、使用の過程でバランスが随時変化し、このバランスがメッキの品質に影響を与えることから、精度よく制御することが重要です。 ここではIC法（イオンクロマトグラフィー）を用いた有機酸分析の事例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温PL

照射欠陥やアニールによる結晶性の回復を確認することが可能です

Si系半導体デバイスの作製ではイオン注入やアニール処理といった様々な処理が行われます。これらの処理前後における照射欠陥の度合いや結晶性の回復度合いを確認することは、製造プロセスを制御するにあたり重要と考えられます。低温下におけるフォトルミネッセンス(PL)測定は、これらを調査する際に有効な手段の一つです。 Si基板にイオン注入を行った後、アニール処理を行った試料のPL測定例を...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】液中AFM測定を用いた基板上の高分子の形状変化観察

大気中・水溶液中での試料構造変化の可視化

高分子は組成・構造を変えることで多様な機能が発現されることが知られており、様々な製品に利用されています。 高分子の評価においては、実環境での評価が重要です。今回は環境制御型AFM（原子間力顕微鏡）を用いて、大気中および水溶液中にて基板上の高分子形状を可視化した事例を紹介します。また、データ解析を併用することでポリマー粒子の分散具合を数値化しました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】有機薄膜太陽電池の断面観察

低加速電圧のSTEMを用いると有機膜のわずかな密度の違いが観えます

p型・n型材料の混合膜を使用するバルクへテロ接合型太陽電池では、高効率化のために膜内の材料の混合状態を適切に制御する必要があります。密度が低い膜（有機膜など）においては、TEM専用機を用いた高加速電圧(数百kV)では電子線の透過能が高いためにコントラストをつけることが困難です。 一方、わずかな密度の違いが反...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】酸化ガリウムGa2O3膜表面近傍の金属元素濃度評価

極浅い領域でも高感度に分析

a2O3は、SiCやGaNよりもバンドギャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。ウエハの開発には、特性を左右する不純物濃度の制御が重要です。本資料ではGa2O3膜の表面近傍について、金属元素の定量分析を行った事例を示します。 TOF-SIMSでは極浅い領域でも高感度に評価が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiC中不純物の超高感度測定

ppb～pptレベルのバルク濃度を評価します

変電所などで使用可能な超高耐圧・低損失SiCパワーデバイスの開発においては低キャリア濃度の制御が必要となり、SIMS分析で極低濃度の不純物評価を行うことが有効です。 SIMS分析では多元素を同時に取得せず、不純物を1元素に限定することで極低濃度を評価することが可能です。本資料ではSiC中の...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST