表面 | イプロスものづくり

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【特許申請中】プレス製品から作る表面実装ナット

PR2製品をラインアップ！プレス製品から作る表面実装ナットのご提案

当社で取り扱う「Surface Mount Nut」についてご紹介いたします。 2種類の部品をプレス打ち抜き加工にて製作している「プレス打ち抜き積層MODEL」と絞り加工製作の「プレス絞りMODEL」をラインアップ。プレス絞りMODELは、さらにタップ止め凸形状、タップ貫通フラット形状、タップ止めフラット形状をご用意しております。ご用命の際は、当社へお気軽にご相談くだ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社和光精機
【少量多品種可能】機械加工・表面処理・熱処理・組立の一貫製造

PRステンレス、アルミ、鉄、真鍮など切削・精密研磨・組立を1個から数100…

株式会社田端製作所は少量多品種から量産に至るまで、切削機械加工から表面処理、組立・アッセンブリ、検査を一貫して行っております。 9台のマシニングセンタや7台のNC旋盤、ラップ研磨機や旋盤、ボール盤など、充実した設備と、幅広い協力企業ネットワークにより、様々なお悩み事に寄り添ってお手伝いすることが可能です。 ※設備の詳細はPDF資料をご確認ください。ステンレスやアルミを主として、鉄や真鍮な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社田端製作所本社
【分析事例】GaN基板の表面形状分析

AFMによるステップ-テラス構造の可視化

ワイドギャップ半導体である窒化ガリウム(GaN)は、パワーデバイスや通信・光デバイスなどの幅広い分野で用いられています。デバイスを作製するうえで、ウエハ表面の形状と粗さはデバイス性能に大きく影響します。GaNウエハを成長させる際、支持基板との格子不整合などによる応力の影響で、表面にステップ-テラス構造が形成されます。本資料ではAFMを用いて、GaN基板...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
ご希望者全員プレゼント！表面分析の基礎と受託分析事例

〈XPS・TOF-SIMS〉表面分析とは何か・表面分析の種類等、基…

表面分析のご検討に役立つ基礎解説・分析事例をまとめてご紹介します。お手元に置いて、分析サービスのご検討にぜひご活用ください。 ★ご希望の皆様全員に無料でプレゼント★ 【お問い合わせ】より、「カタログ送付希望」にチェックを入れてお申し込みください。 ※【PDFダウンロード】よりダイジェスト版をご覧頂けます。 ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】表面分析による品質管理

表面の付着成分(ポリジメチルシロキサンなど)をTOF-SIMSで評価で…

TOF-SIMS(飛行時間型二次イオン質量分析法)は、最表面の有機物・無機物を感度よく評価可能な手法で、製品の様々な品質管理を行うときの分析手段として利用することができます。例えば、製品保管時の表面付着物の定期的な確認、製品に剥離・変色などの不具合品が発生し...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】パフ表面の形状観察

パフ表面のデジタルマイクロスコープ観察

ファンデーション用パフ表面形状と化粧品付着具合をデジタルマイクロスコープを用いて評価しました。デジタルマイクロスコープは光学顕微鏡と比べて被写界深度があり、顕微鏡ではピントが合わなかった凹凸の大きな対象物も正確に観察する...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】セラミックス表面における洗浄成分の分布評価

洗浄成分の分布の可視化や深さ方向の分布の評価が可能

セラミックスは日用品から電子部品まで幅広く利用されている無機化合物材料です。その表面状態は日用品や電子部品などの材料の性質・性能に大きく影響しています。そのため、セラミックスの機能を判断するうえで、表面状態を適切に評価することは重要です。本資料ではZr酸化物からなるセラミックス...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】毛髪のキューティクル表面の成分分布を可視化

有機分子の分布をTOF-SIMSイメージ分析で比較

・無機物の分子情報の解析が同時にできることや、イメージ分析が可能なことから、試料中の着目成分の分布・浸透具合の解析に有効な手段です。本資料では、シロキサン系のヘアケア剤を用いた毛髪の「断面および表面」と、毛髪の「表面」をイメージ分析した結果を示します。毛先表面と根本表面のキューティクルには、成分分布状態に違いがあることが確認できました。測定法：TOF-SIMS 製品分野：医薬品・化粧...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】高分子表面のイオン照射による損傷層の評価

GCIB（Arクラスター）を用いることで損傷層の成分・厚さ評価が可能

高分子材料の表面にイオン照射を行うことにより、表面特性の変化が生じます。この変化を利用し、機能性材料の開発など広い分野で研究が行われています。イオン照射後、表面状態にどのような変化が生じたのか評価することは、効率的...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】部品表面のシミ・水はじきの原因調査

切断できない大きな部品でも表面汚染を適切にサンプリングして測定

Al材表面に水はじきのよいシミがあることがわかりました。そのシミ部をテープに付着（転写）させ、TOFSIMSで分析を行いました。「シミ部を転写させたテープ表面」からは、「Al材表面のシミ部」と同じフラグメ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】薄膜表面処理後の仕事関数評価

ITO表面プラズマ処理後のUPS分析

半導体デバイスでは、構成される各種材料の仕事関数の組み合わせにより、その性能が大きく左右されます。このため、表面処理や表面修飾等によって仕事関数を制御しようとする試みがなされており、それらの効果を検証することは重要です。本資料では、有機ELや太陽電池等の電極材料として用いられるITO（SnドープIn2O3...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
レーザー顕微鏡による表面形状評価_B0283

レーザー顕微鏡

レーザー顕微鏡による表面形状評価について紹介しています。...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価

TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価

大気下におかれた金属銅（Cu）の表面は自然酸化膜で覆われており、このような銅表面は大別して「Cu」「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」の状態にわけられることが知られています。市販の標準品である「Cu2O」「CuO」「Cu(O...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】二次電池負極粒子表面の分布評価

一粒の粉体表面に分布する成分の評価が可能

リチウムイオン二次電池で使用される黒鉛負極粒子を塗布したシートを、TOF-SIMSにて分析した事例をご紹介します。一粒の粉体の表面にグラファイトとPVDFが分布している様子が確認できました。飛行時間型二次イオン質量分析法（TOF-SIMS）は、二次イオンのマススペクトルから表面の有機物・無機物の定性・イメージに適した手法で...
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【分析事例】アルミニウム(Al)表面のOHの分布、状態評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捕らえることが可能

アルミニウム電極表面のOHやフッ化物は電極の腐食原因の一つであり、アルミニウム表面の状態を調査することは不良原因の調査に欠かせません。TOF-SIMSは最表面での深さ方向分解能に優れ、無機物の状態をモニターしながら高感...

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【分析事例】Si表面のH終端の解析

処理の違いによるSi表面のSiHや状態の定性・相対比較

Si表面についてHF処理後、オゾン処理後の状態を比較しました。正イオンスペクトルではSiのピーク強度が異なりました。HF処理後のSi強度が弱いのはSiが金属系のためで、一方、UV-オゾン洗浄後やAs R...
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【分析事例】はんだボール表面の酸化膜評価

球体形状試料の評価事例

AES分析ではSEM観察機能が付随していることから、試料表面の特定箇所を測定することが可能です。またサブμｍの微小領域での測定が可能なため、基板等の平坦試料だけではなく、球体形状や湾曲形状の試料でも、曲率の影響を受けにくく、平坦試料と同様に特定箇所を狙っ...

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【分析事例】AFMによる注射針の表面微細構造観察

表面のコート膜の状態を評価できます

注射針等の金属加工面は一般的に粗くなりますが、粗い表面のまま注射針を使用すると、患者に不快感を引き起こす事が知られています。そのため、注射針には表面が粗い事による表面摩擦を抑えるために、生物学的不活性なシリコーン潤滑剤を用いています。本資料では、シ...

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【分析事例】消毒前後における不織布マスクの表面形状観察

アルコール消毒前後でマスク表面の形状を比較

ウイルスによる感染症予防のためマスク使用の頻度があがっています。しかしながらその使用方法や耐性についての根拠となる構造的なデータは乏しい状況です。本資料では、アルコール消毒前後のマスク表面の繊維をSEMで観察した結果を紹介します。アルコール消毒後では、繊維の形状が変化し、また消毒前の特徴的な凸形状が少なくなっていることがわかりました。測定法： SEM 製品分野：日用品、ウイルス...
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【分析事例】SiC基板表面および内部の不純物濃度測定

ICP-MS, GDMSにより基板表面と内部とを切り分けて分析

故障等、製品の品質に影響する場合があります。従って、材料に含まれる不純物量を把握することは、製品の品質向上において重要です。本資料では、パワーデバイス材料として注目されているSiC基板について、基板表面に付着した不純物をICP-MS、基板中の不純物をGDMSで分析した事例をご紹介します。測定法：ICP-MS・GDMS 製品分野：パワーデバイス・製造装置・部品分析目的：微量濃度評価 ...
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【分析事例】リチウム二次電池負極表面の劣化評価

大気非暴露で前処理から測定・観察まで行います

容量低下が見られるリチウムイオン二次電池負極表面を大気非暴露で評価した結果、100～200nm程度のCoを含む付着層が確認され、Coは金属状態であることがわかりました。適用可能な手法観察手法：FIB‐TEM, SEM 表面分析：SIMS,X...

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【分析事例】三次元培養ヒト皮膚表面の微細形状観察

AFMにより、皮膚表面におけるナノスケールの凹凸を可視化

が進められており、中でも三次元培養皮膚による試験方法が注目されています。本事例では、化粧品（ローション剤）の経皮吸収試験を実施した三次元培養ヒト皮膚を、AFM（原子間力顕微鏡法）で測定しました。皮膚表面の微小形状を視覚的に評価でき、また、任意の箇所の粗さを数値データで評価することも可能です。大気条件下で測定することにより、真空条件下での試料変質を抑えた観察が可能です。...
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【分析事例】ウエハ表面の微小異物分析

加工無しで30nmサイズの組成分析が可能

AES分析は最表面から数nm深さまでの組成情報を得る手法であり、製造工程において表面に生じた汚染や異物の組成を調べる際に有効な分析です。基板などの母材の情報を検出することが少ないため、異物など異常箇所のみの情報を前処...

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【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価

Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出

Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめま...
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【分析事例】注射針表面のコーティング膜評価

撥水膜・塗膜・皮膜の分布状態や被覆状態の可視化

医療用注射針は金属管の表面にシリコーンをコーティングすることで、穿刺抵抗を低下させ患者の身体的負担を低減させています。針の性能を保つためには、全体がコーティング膜に覆われていることが重要です。注射針先端の開口部分についてTO...

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【分析事例】XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価

高分解能測定と波形解析を利用してc-Siとa-Siの状態別定量が可能

半導体の製造工程において表面改質を目的としたイオン照射を行うことがあります。その中で、単結晶 Si表面に不活性元素のイオンを照射することで構造の損傷が生じ、アモルファス層が形成されることが知られています。高分解能なXPS...

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【分析事例】表面酸化膜のある異物の状態評価

水酸化アルミニウムAl(OH)3と酸化アルミニウムAl2O3の評価が可…

金属の異物を定性評価したい場合、最表面のみを分析すると異物表面に存在する酸化膜の情報となってしまうため、異物そのものの情報が得られないことがあります。 TOF-SIMSにより深さ方向に分析を行うことで、酸化膜より深い位置にある異物その...

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【分析事例】ソフトコンタクトレンズの表面イメージング

水溶液中でAFM分析による表面性状の定量評価ができます

高分子には、環境によって形状変化する素材があります。試料本来の形状を観察するためには、実環境での測定が必要となります。本資料では、生理食塩水中でのソフトコンタクトレンズ表面形状を可視化した事例をご紹介します。実環境に近い条件で測定することによって、試料本来の形状を保ったままの評価が可能です。...

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［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで、試料表面を走査させることにより、特定領域を削ったり（スパッタ）、特定領域に炭素（C）・タングステン（W）・プラチナ（Pt）等を成膜することが可能です。また、イオンビームを試料に照射して発生した二次電子を検出...
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【分析事例】Siウエハ表面の金属汚染評価

ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法

ICP-MSを用いたSiウエハ表面の金属汚染評価の目的には、Siウエハ自体の汚染評価以外にも、半導体装置内の汚染評価、Siウエハ暴露による作業環境場の評価などもあり、Siウエハ表面の分析は様々な目的で行われます。ICP-MS分析では...

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【分析事例】XPSによるSiC表面の状態・膜厚評価

詳細な状態評価と併せ、膜厚計算が可能

XPSでは試料表面の化学結合状態を評価することができ、波形解析により更に詳細な評価をすることが可能です。加えて、波形解析結果に仮定パラメータを用いることで、表面酸化膜等の膜厚を算出することも可能です。本資料では、...

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【分析事例】アルミホイル表面の成分分析

光沢面・つやなし面の違いを評価

アルミホイルは、2枚重ねでローラーによって圧延し製造され、ローラーに接する外側は光沢面に、アルミ同士が接した内側はつやなし面になります。それぞれの面の極表面に存在する成分を比較しました。 PDMS（シロキサン）、BHT（酸化防止剤）、DOP（可塑剤）、アミン（m/z 182, 242）、アミド（m/z 256, 284）、カルボン酸（m/z 255,...

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【分析事例】AFMによる毛髪表面の微細構造観察

大気中の分析により変質を抑えた定量評価が可能

毛髪表面にあるキューティクルの状態を、AFMにより解析した事例をご紹介します。 AFM は、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。大気中で分析を行うため、有機物の変質や脱ガスなどを起こさず、...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】Siウエハの保管状態による表面汚染評価

フッ酸処理で酸化膜を除去したSiウエハの汚染・酸化の評価

試料搬送時の汚染及び酸化の影響についての知見は、検出深さがnmオーダーの表面分析において重要です。そこで、保管方法の違いによる汚染･酸化の影響をSiウエハにおいて検討致しました。薬包紙・アルミホイル保管では、一般的に見られる二次汚染による有機物のピークは弱い傾向が見られ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】酸化ガリウムGa2O3膜表面近傍の金属元素濃度評価

極浅い領域でも高感度に分析

ャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。ウエハの開発には、特性を左右する不純物濃度の制御が重要です。本資料ではGa2O3膜の表面近傍について、金属元素の定量分析を行った事例を示します。 TOF-SIMSでは極浅い領域でも高感度に評価が可能です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ウエハ表面の金属・有機物汚染評価

複数手法の分析結果より、複合的に評価

造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。異物を適切に分析・評価することで発生原因を究明し、不具合を改善することができます。本資料では、Siウエハ表面に付着した汚染をICP-MSとSWA-GC/MS※で複合的に分析した事例をご紹介します。 ※SWA（シリコンウエハアナライザー）-GC/MSとは、ウエハごと電気炉で加熱して有機物をガス化し、GC/...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】走査イオン顕微鏡によるCu表面の結晶粒観察

金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です

法です。二次電子は各結晶粒の結晶方位に応じたコントラストを生じるため、SIMによってCuやAlなどの金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を簡便に得ることが可能です。本資料では測定例としてCu表面をSIMによって観察した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】プラスチック容器の表面金属汚染評価

XRFによる高分子材料中不純物の組成・分布評価

要であり、1.2mm～数cmの広範囲において、非破壊で測定できる点が挙げられます。 XRFによる元素分析事例として、薬品保存容器の高分子材料に含まれる金属成分に着目して測定を行い、保管期間中に容器表面に付着した金属汚染について調査した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】Cu表面の酸化状態の定量

Cuスペクトルの複合解析

Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。以下、各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてま...

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【分析事例】ZnO膜表面の形状観察

広域の表面形状観察が可能

走査型白色干渉計（光干渉計）は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm～4.2mm)」で高精度に、非接触3次元測定を行うことが可能です。4.2mm×4.2mmの視野まで測定可能です。...

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［SSDP用加工］基板側からの測定用加工

基板側からの測定ができるように基板を削って薄片化

二次イオン質量分析法（SIMS）では、試料表面の凹凸、イオン照射により表面側に存在する原子が奥側に押し込まれるノックオン効果やクレーター底面粗れ等の現象により、急峻な元素分布を得られない場合があります。この問題を解決するために、薄片化加工を行っ...
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【分析事例】プラズマ処理によるぬれ性変化の原因調査

TOF-SIMSによる高分子・樹脂･フィルムの表面改質層の最表面の評価…

細胞培養シャーレの表面では、細胞の密着性（接着性）を高めるために、疎水性のプラスチック表面を親水性に変える処理が行われています。今回、親水処理を行ったシャーレの表面についてXPS,TOF-SIMSで評価した結果、OH,C...
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［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であるこ…

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です。スパッタイオン源を用いて、深さ方向に無機・有機物の分布分析が可能です。・...
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［AFM］原子間力顕微鏡法

ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測

AFMは、微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。・金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能・接触圧力が弱いタッピングモードを用いることで、試...
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【分析事例】粘着テープの残渣評価

TOF-SIMSにより表面付着物成分を同定します

粘着テープの残渣は、製造工程において密着不良・剥離の原因となります。不良の原因として残渣が疑われる場合、表面付着物の成分とその分布を調べることができるTOF-SIMSが有効です。粘着テープをSiウエハ表面に張り、剥がした後のSiウエハ表面および粘着テープの表面をTOF-SIMSで測定した事例をご紹介し...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［UPS］紫外光電子分光法

試料表面の組成の定性・定量や仕事関数評価に

UPSは、紫外光照射により放出される電子の運動エネルギー分布を測定し、試料極表面（数nm程度以下）の価電子状態に関する知見を得る手法です。その一方で、高いエネルギー分解能を利用して各種金属材料の仕事関数評価にも用いられています。 XPS分析と併せて測定が可能なため、試料表...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
放射線測定サービス

工業製品・大気中・水・食品など、放射線の測定はおまかせください

す。 ★食品・水・土壌環境の放射能測定サービス食品・水・土壌などの放射能（放射性物質が放射線を出す能力）を測定。厚生労働省の放射能測定マニュアルに準じた測定が可能 ★放射性物質による表面汚染のスクリーニング検査サービス輸出製品の放射能表面汚染量を確認します。JIS Z 4505「放射性表面汚染の測定方法－β線放出核種（最大エネルギー0.15MeV以上）及びα線放出核種」に即し...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST