CVD-SiC（化学蒸着法）「SiC製品」

独自の CVD - SiC（ 化学蒸着法）で製作されたアドマップの SiC 製品は、
超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えています。

半導体をはじめ、産業機械、原子力、航空宇宙分野など、
あらゆるフィールドで高い評価を得ております。

【特長】
○塩酸・硫酸・硝酸・弗酸・弗硝酸などの酸ではほとんど腐食しない
○表面には二酸化ケイ素（SiO2）被膜が形成されるため高い耐酸化性がある
○融点や軟化点などを持たず、約2000℃を超える温度で昇華するまで安定
○ダイヤモンドや炭化ホウ素に次いで硬い化合物
○緻密で高純度

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三井造船で培った独自のCVD-SiCで製作されたアドマップのSiC製品は、
超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えており、
あらゆるフィールドで使用されております。

【特徴】
○超高純度
○高耐食性
○高耐酸化性
○高耐熱性
○高耐摩耗性

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等方性高純度黒鉛および各種焼結SiC基材に、高純度で均質性に優れたコーティングを提供いたします。
半導体をはじめ、産業機械、原子力、航空宇宙分野での高い評価を得ております。

【特徴】
○超高純度
○高耐食性
○高耐酸化性
○高耐熱性
○高耐摩耗性

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コーティング技術を応用し、緻密なSiC膜のみで構成された製品を提供いたします。
平板をはじめ、複雑形状まで幅広く適応可能です。
半導体製造装置を中心に、超高温やプラズマの厳しい環境下での数多くの実績があります。

【製造工程(例)】
１．黒鉛基材を円板状に加工
２．全面にCVD-SiCコーティング
３．外周加工により基材を露出
４．高温酸化雰囲気中で基材除去
５．2枚の膜単体円板となる
６．研削/研磨・面取り・洗浄・検査

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三井造船で培った独自のCVD-SiCで製作されたアドマップのSiC製品は、
超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えており、
あらゆるフィールドで使用されております。

【不純物拡散係数（cm2 / sec, at : 1300℃）】
○Fe　6.5×10^-14
○Co　1.3×10^-13
○Cr　6.3×10^-14
○Au　8.6×10^-14

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独自のCVD-SiC技術を中心に、
分析力・解析力・設計力を掛け合わせ、構想の初期段階から参画し、
ベストソリューションを提供いたします。

【提案例】
○超高温アニール装置用大型部材開発（ボート、ホルダ、ノズル）
○狭ピッチ膜単カセットボート開発
○超高純度SiCパウダー原料
○次世代ウェハ対応部材

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SiC（Silicon Carbide ：炭化ケイ素）はシリコン（Si）と炭素（C）が1対1で結合した化合物で、隕石中にわずかに確認されているだけで、天然にはほとんど存在しません。
SiCはセラミックスに分類され、その高硬度、耐酸化性、化学的安定性、耐熱性などの特徴から、古くから研磨剤や耐火材、発熱体などに用いられてきました。近年では半導体素子製造工程で用いられるウェハボートやチューブ、シリコンウェハの代替となるダミーウェハなど、主に高温で使用される治具として広く活用されています。

【特徴】
○化学的に安定している
○酸化しにくい
○熱に強い
○硬い

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