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最終更新日:2016/04/15

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CVD-SiC(化学蒸着法)「SiC製品」

基本情報CVD-SiC(化学蒸着法)「SiC製品」

装置関連事業、太陽電池関連事業、電子デバイス事業などを行っている株式会社フェローテックの製品カタログです。

【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
SiC(Silicon Carbide :炭化ケイ素)は、シリコン(Si)と炭素(C)が
1対1で結合した化合物で、隕石中にわずかに確認されているだけで、
天然にはほとんど存在しません。

独自の CVD - SiC( 化学蒸着法)で製作されたアドマップの SiC 製品は、
超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えており、
あらゆるフィールドで使用されております。

CVD-SiC(化学蒸着法)「SiC製品」

CVD-SiC(化学蒸着法)「SiC製品」 製品画像

独自の CVD - SiC( 化学蒸着法)で製作されたアドマップの SiC 製品は、
超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えています。

半導体をはじめ、産業機械、原子力、航空宇宙分野など、
あらゆるフィールドで高い評価を得ております。

【特長】
○塩酸・硫酸・硝酸・弗酸・弗硝酸などの酸ではほとんど腐食しない
○表面には二酸化ケイ素(SiO2)被膜が形成されるため高い耐酸化性がある
○融点や軟化点などを持たず、約2000℃を超える温度で昇華するまで安定
○ダイヤモンドや炭化ホウ素に次いで硬い化合物
○緻密で高純度

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CVD-SiC(化学蒸着法)「SiC技術」

CVD-SiC(化学蒸着法)「SiC技術」 製品画像

三井造船で培った独自のCVD-SiCで製作されたアドマップのSiC製品は、
超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えており、
あらゆるフィールドで使用されております。

【特徴】
○超高純度
○高耐食性
○高耐酸化性
○高耐熱性
○高耐摩耗性

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CVD-SiC(化学蒸着法)「コーティング技術」

CVD-SiC(化学蒸着法)「コーティング技術」 製品画像

等方性高純度黒鉛および各種焼結SiC基材に、高純度で均質性に優れたコーティングを提供いたします。
半導体をはじめ、産業機械、原子力、航空宇宙分野での高い評価を得ております。

【特徴】
○超高純度
○高耐食性
○高耐酸化性
○高耐熱性
○高耐摩耗性

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CVD-SiC(化学蒸着法)「膜単体製造技術」

CVD-SiC(化学蒸着法)「膜単体製造技術」 製品画像

コーティング技術を応用し、緻密なSiC膜のみで構成された製品を提供いたします。
平板をはじめ、複雑形状まで幅広く適応可能です。
半導体製造装置を中心に、超高温やプラズマの厳しい環境下での数多くの実績があります。

【製造工程(例)】
1.黒鉛基材を円板状に加工
2.全面にCVD-SiCコーティング
3.外周加工により基材を露出
4.高温酸化雰囲気中で基材除去
5.2枚の膜単体円板となる
6.研削/研磨・面取り・洗浄・検査

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CVD-SiC(化学蒸着法)「SiC各種物性値」

CVD-SiC(化学蒸着法)「SiC各種物性値」 製品画像

三井造船で培った独自のCVD-SiCで製作されたアドマップのSiC製品は、
超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えており、
あらゆるフィールドで使用されております。

【不純物拡散係数(cm2 / sec, at : 1300℃)】
○Fe 6.5×10^-14
○Co 1.3×10^-13
○Cr 6.3×10^-14
○Au 8.6×10^-14

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CVD-SiC(化学蒸着法)「ソリューション」

CVD-SiC(化学蒸着法)「ソリューション」 製品画像

独自のCVD-SiC技術を中心に、
分析力・解析力・設計力を掛け合わせ、構想の初期段階から参画し、
ベストソリューションを提供いたします。

【提案例】
○超高温アニール装置用大型部材開発(ボート、ホルダ、ノズル)
○狭ピッチ膜単カセットボート開発
○超高純度SiCパウダー原料
○次世代ウェハ対応部材

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「SiCとは?」

「SiCとは?」 製品画像

SiC(Silicon Carbide :炭化ケイ素)はシリコン(Si)と炭素(C)が1対1で結合した化合物で、隕石中にわずかに確認されているだけで、天然にはほとんど存在しません。
SiCはセラミックスに分類され、その高硬度、耐酸化性、化学的安定性、耐熱性などの特徴から、古くから研磨剤や耐火材、発熱体などに用いられてきました。近年では半導体素子製造工程で用いられるウェハボートやチューブ、シリコンウェハの代替となるダミーウェハなど、主に高温で使用される治具として広く活用されています。

【特徴】
○化学的に安定している
○酸化しにくい
○熱に強い
○硬い

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取扱会社 CVD-SiC(化学蒸着法)「SiC製品」

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装置関連事業 太陽電池関連事業 電子デバイス事業 【取り扱い製品】 ○真空シール ○石英製品 ○セラミックス製品 ○半導体用シリコンインゴット ○シリコンウェーハ加工 ○シリコン単結晶引上装置 ○シリコン多結晶製造装置 ○角切りソー装置 ○石英るつぼ ○角槽るつぼ ○太陽電池用シリコンインゴット ○太陽電池用ウェート ○サーモモジュール ○磁性流体 ○装置部品洗浄 ○工作機械 ○ソーブレード ○表面処理

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