モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

熱対策製品『放熱フィラー』『ヒートシンク』

「熱がこもる」課題を解決し、サーマルマネージメントに貢献。MILスペックのヒートシンクなど

当社では、物性比較において熱伝導率1000W/m・K超えを実現した『TMP-EX ヒートシンク』や、 優れた熱伝導率と低誘電性のBNフィラー『PolarTherm』などの 熱対策製品を製造・開発し…

高熱伝導ラミネート

熱伝導1500W/mKのTPGに色々な材料をコーティングしたフレキシブルな熱伝導材

1500W/mKの熱伝導を有するコア材TPGに色々な材料をコーティングしたユニークな高熱伝導性ラミネート。ハイパワーモジュール、モバイルデバイスの放熱に適しています。

複合体ヒートシンク

熱伝導1000W/mKの熱膨張を最適化した複合体ヒートシンク

1500W/mKの熱伝導を有するコア材TPGと熱膨張を最適化したカプセル材を複合化した超高熱伝導ヒートシンクです。ハイパワー、高周波用半導体チップのパッケージに適しています。

耐熱性BNコーティング剤　非鉄金属プロセス用

耐火材や型の寿命を延ばし、製品の出来栄えを向上させる高温プロセス用潤滑、離型コーティング

アルミニウム、銅、マグネシウムなど非鉄金属の高温プロセスで使用できるBNコーティング。 耐火物や金型を腐食から防ぎ、寿命を延ばします。 非鉄金属の鋳造、押出し、ダイキャスト、鍛造などに。 ・…

GaN半導体 MOCVD用機能部品

高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ、構造材。窒化物の単結晶成長からウェハプロセスまで対応。

Momentiveの『超高温用ヒータ』、『窒化ホウ素製品群』および『グラファイト保護コーティング』は、高温の腐食性ガス雰囲気に耐性があり、窒化物単結晶成長やエピタキシャル装置の機能部品として多くの実績…

SiC半導体製造用機能部品

2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品。高温でのスパッタやイオン注入に対応する静電チャック。

Momentiveの『タンタルカーバイドコーティング』は、SiC単結晶成長炉、エピタキシャル装置の部品として多くの実績を有しており、『静電チャック』はSiやSiC半導体プロセスの高温イオン注入、スパッ…

高温用グラファイト保護コーティング

高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNなどのMOCVDに有効です。

グラファイト部品にPBN（熱分解窒化ホウ素）、PG（熱分解グラファイト）、TaC（タンタルカーバイド）などのコーティングを施した製品です。 ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品…

タンタルカーバイドコーティング

SiC半導体や窒化物半導体製造の高温ウェハプロセスで裏面パーティクルを低減し、グラファイトを保護する炭化タンタルコーティング技術

『タンタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果が…

サーマルレベラー（温度分布改善技術）

熱伝導率1500W/mKの熱伝導グラファイトTPGを使用した温度分布改善技術。ヒータの温度分布を改善し、ヒータ寿命を延ばします。

熱伝導率1500W/mKの熱伝導グラファイトとメタライズ技術を使用して様々な部品の温度分布を改善します。 ヒートスポットによる問題を解決し、部品の寿命を延ばします。 【用途】 ■ヒータの温度…

真空装置や半導体製造装置に使用する部品の高温真空熱処理

真空装置、半導体製造装置に使用する部品を真空中で高温処理します。プロセスの立上げ、工程時間の短縮に貢献します。

クリーンルーム中で真空チャンバを使いグラファイト、セラミックス、メタル部品などの脱ガス処理を行います。表面に付着したガスだけではなく、内部に浸透した水分なども除去できます。 【用途】 ■真空装…

1000w/m-K超の高熱伝導製品で、高効率化の問題解決！

厳しい条件下での放熱や高発熱部のヒートスポットの解消に対応できる高熱伝導製品をご紹介！

当社は、高配向性グラファイトTPGと封止/メタライズ技術による高熱伝導製品群を開発いたしました。 電子基板、LED/LDや半導体チップ、金型などの放熱/冷却、高性能ヒートシンク、医療機器、サーマルス…

【航空宇宙産業の方必見！】高熱伝導製品『TC-1050ALY』

1,000w/mkの驚異の熱伝導！銅の3倍の熱伝導特性を有した高熱伝導性製品

『TC-1050ALY』は、当社のCVD技術を駆使して製造した、優れた高熱 伝導材料であるTPGと色々な材料を複合化したユニークな製品です。 銅の3倍の熱伝導特性を保有しており、アルミよりも軽…

メタライズ用蒸着源。高温セラミックス『PBNエバポレーター』

PBNセラミックスとグラファイトのコンビネーションによる蒸着源。アルミ蒸着などの真空蒸着に好適。

『PBN』は高い電気抵抗と優れた熱伝導性を合わせ持つ異方性の高温セラミックスです。 毒性がなく、非多孔性のPBNは熱CVDプロセスで製造されており、非常に純度の高いものとなっています。メタライズプロ…

半導体製造用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス

シリコン半導体・SiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高温、真空、腐食性ガス雰囲気中などで優れた性能を発揮。

パイロリティックボロンナイトライド（PBN）やタンタルカーバイドは高い耐熱性や耐腐食性を有し、 急速昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。 PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。…

『BNコーティング』※高温下でも優れた潤滑性を発揮！

米国NSFで認証された固体潤滑剤です。ペイントタイプ、パウダータイプなどを取り揃えております。

『BNコーティング』は、優れた付着力と被覆性を持ち、高温下でも 優れた潤滑性や離型性を発揮します。 当製品を利用することで金型や成型器具の利用年数を延ばすだけでなく、 製品表面の仕上りを大き…