真空ポンプの製品一覧 （10ページ目）
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広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
メーカー・取扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所
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広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
メーカー・取扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所
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低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
メーカー・取扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所
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取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
メーカー・取扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所
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取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
メーカー・取扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所
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取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
メーカー・取扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所
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取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
メーカー・取扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所
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取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
メーカー・取扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所
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取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在かつ、パワーサプライ一体化でコンパクト。大気突入に強い構造設計です。
メーカー・取扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所
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取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在かつ、パワーサプライ一体化でコンパクト。大気突入に強い構造設計です。
メーカー・取扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所
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油式回転真空ポンプ CP20です。
油式回転真空ポンプ CP20です。 【仕様（三相）】 ○型番：CP20-420/CP20-620 →電圧：200-240/380-440 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に…
メーカー・取扱い企業： ユニオン産業株式会社
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油式回転真空ポンプ CP30です。
油式回転真空ポンプ CP30です。 【仕様（三相）】 ○型番：CP30-420/CP30-620 →電圧：200-240/380-440 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に…
メーカー・取扱い企業： ユニオン産業株式会社
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油式回転真空ポンプ CP40です。
油式回転真空ポンプ CP40です。 【仕様（三相）】 ○型番：CP40-420/CP40-620 →電圧：200-240/380-440 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に…
メーカー・取扱い企業： ユニオン産業株式会社
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取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
メーカー・取扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所
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油回転真空ポンプからの置き換えに最適なドライポンプ
真空焼結炉では飛散するバインダーが油回転真空ポンプに堆積し故障原因となったり、オイルが汚染され頻繁なオイル交換の必要があります。当社ドライポンプは内部にバインダーが堆積しにくい構造のため故障せず、オイ…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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●【※生産終了】小型ダイアフラム式コンプレッサ『CS-10P』
小型ダイアフラム式コンプレッサーCS-10Pはオイルフリーで多様に対応！導入実績も多くコストダウン効果も！メンテナンスも容易！
小型ダイアフラム式コンプレッサー『CS-10P』は、主に医療機器向けに設計された国内製造のダイアフラム式コンプレッサーです！ オイルレス小型コンプレッサーで排気に油分が含まれないので、吸引器等の…
メーカー・取扱い企業： 株式会社CSP（シーエスピー）
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●【※生産終了】小型ダイアフラム式真空ポンプ『CS-40V』
小型ダイアフラム式真空ポンプCS-40Vはオイルフリーで多様に対応！導入実績も多く、コストダウン効果も！メンテナンスも容易！
小型真空ポンプ『CS-40V』は、主に医療機器向けに設計された国内製造の ダイアフラム式真空ポンプです！！ ダブルヘッド仕様のため高真空・流量も豊富です。オイルレス小型真空ポンプで排気に油分が…
メーカー・取扱い企業： 株式会社CSP（シーエスピー）
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真空ポンプのインバータ＆台数制御で省エネ最大84%【国内外に納入事例多数】
真空利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御。 それにより、最大84%の省エネを可能しました！ 各種自動機とのマッチングはもちろん、工場設備の真空源として最適な真空ポンプです。 ★デ…
メーカー・取扱い企業： オリオン機械株式会社
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高効率！ 脱泡・脱気、真空包装、真空成形、吸着搬送などに最適。
ピスコのロータリ真空ポンプ「RPV06シリーズ」は、省エネ、長寿命、低発熱、低騒音、低発塵を実現。この度、単相100V使用にコンセントに差し込むだけですぐに使用可能な電源スイッチ搭載タイプを追加。
メーカー・取扱い企業： 株式会社日本ピスコ
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【デモ受付中！】真空ポンプ用オイルチェンジャーOCP-100
真空ポンプオイルの交換作業の手間を軽減・作業効率ＵＰ！！画期的なオイル給排油装置
真空ポンプを多数ご使用頂いているユーザー様の声から誕生したオイル交換ユニットです。デモ機のご用意があり、実際に使い勝手等を見ていただくことが可能ですので、当社までお問い合わせ下さい。 □簡単 …
メーカー・取扱い企業： 佐藤真空株式会社
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オイルフリー小型ピストンドライポンプMP-10S/15S/18S
台湾製真空ポンプは真空・排気とも油分を一切含みませんので作業環境および製品が油で汚染される心配はありません。
アルミハウジング、耐久性および低騒音、低振動、小型ながら高流量を実現し、オイルフリーメンテナンスフリーです。 シリンダ－内でピストンが往復運動することによって、真空用・排気用としてご利用いただけます…
メーカー・取扱い企業： 株式会社YTK
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オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の 圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。 コントローラは、装置組…
メーカー・取扱い企業： 丸菱実業株式会社
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びびりピタV用の真空発生器！！
真空発生器と真空チャンバーを一体化した画期的な商品です。
メーカー・取扱い企業： 香川クレメン株式会社
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デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ
デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック／ULVAC】
デジタル5 軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 UTM-FH、UTM-FW はデジタル5 軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 F…
メーカー・取扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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【真空ポンプの基礎知識 無料進呈中】オイルフリー真空ポンプKCM
『日本機械工業連合会会長賞 受賞！』インバータ制御・台数制御で省エネ！オイルフリー真空ポンプ
オイルフリー真空ポンプ モジュールマルチモデルシリーズが平成27年度（第36回）優秀省エネルギー機器「日本機械工業連合会会長賞」を受賞しました！ オイルフリー真空ポンプ モジュールマルチモデルK…
メーカー・取扱い企業： オリオン機械株式会社
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ライボルト社 TURBOVAC iR シリーズ ターボ分子ポンプ
1M Gray の放射線環境下で操作が可能なターボ分子ポンプです。
放射線の影響を受ける全ての電子部品を交換し、高い放射線環境下で使用可能 な構造にしました。 各種排気速度を取り揃え、ケーブル長も最長200mまで可能です。 セラミックベアリングを使用し、ベアリン…
メーカー・取扱い企業： 丸菱実業株式会社
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新開発の高効率ロータにより少ない動力で大流量を実現！装置組込みにも最適な真空ポンプ【デモ機貸出中】
ベーシックモデルKCPは新開発の高効率ロータを採用したオイルフリー真空ポンプです。各種自動機などの装置組込み用に最適な真空ポンプです。 【特徴】 ■高効率ロータにより従来機比1.7倍の風量を実…
メーカー・取扱い企業： オリオン機械株式会社
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インバータ制御により更なる省エネを実現したブロワポンプ。低圧エアならコンプレッサよりもブロワが断然お得【デモ機貸出中】
インバータモデルKCEはインバータ制御により大幅な省エネを実現するオイルフリーブロワポンプです。 ◆インバータ制御で電気代を大幅にコストダウン！ 圧縮空気利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をイ…
メーカー・取扱い企業： オリオン機械株式会社
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【新製品】印刷機や製本機に最適なオイルフリーコンビネーションポンプです。
１ポンプでバキューム（真空）とブロワの両方を使用できるコンビネーションポンプです。印刷、製本、製袋工場に最適です。 【特長】 ■オーバーホールサイクル20,000時間を達成 ■メンテナンス性…
メーカー・取扱い企業： オリオン機械株式会社
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世界でも多くの導入実績があるエドワーズの水封式ポンプをご紹介いたします。
水封式ポンプは、以下のような特徴がございます。 ・水、油、薬品類の蒸気や液体を含んだガスの排気に適している ・ダスト、粉体を吸い込んだとしても、ポンプ構造がシンプルな為、トラブルが起きにくい…
メーカー・取扱い企業： エドワーズ株式会社
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強制給油方式採用！幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VDシリーズ Ver.Cは、ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。 2段式ベーン型で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現し、幅広い用途でご利…
メーカー・取扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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優れた信頼性、高性能と高品質、バラエティに富んだ豊富な機種をラインナップ。
クライオポンプ CRYO-Uシリーズは、アルバック・クライオの真空技術と米国CTIの冷凍機技術をベースに、超電導、医療機器、測定器、冷凍容器分野で使用される極低温4K冷凍機などのために新たに開発されま…
メーカー・取扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
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市場のニーズに応えた軽量、コンパクトな真空制御ユニット
軽量・コンパクトな外観、真空システムのハイサイクル化を実現した真空制御ユニット
メーカー・取扱い企業： 株式会社日本ピスコ
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低振動・低騒音を実現！真空包装・吸着搬送に最適な長寿命ロータリ真空ポンプ
ロータリ真空ポンプ「RPV06」は、特殊ロータ形状の採用で、省スペース化と業界トップレベルの高効率を実現！同じ消費電力で高い排気速度を得られるので省エネに貢献します。また、ロータをはじめとした回転部は…
メーカー・取扱い企業： 株式会社日本ピスコ
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大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVAC】
YTP シリーズは、「ピボット軸受＋磁気軸受（永久磁石）」を採用したターボ分子ポンプ UTM シリーズを使用した大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。START/STOP スイッチで自動で排…
メーカー・取扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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デザイン一新により、駆動音の低減、蒸気排気の耐性、排気パフォーマンスが向上した油回転ポンプ(オイルポンプ)です。
E2Sシリーズは、2段式のロータリベーンタイプの油回転ポンプ（オイルポンプ）です。 デザインを一新し、コストパフォーマンスに優れたポンプに仕上がっています。 ＜E2Sシリーズ特長＞ 〇高い排…
メーカー・取扱い企業： エドワーズ株式会社
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CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーショ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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『低騒音型ポンプ』として開発された油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VD シリーズは「低騒音型ポンプ」として開発されたモータ直結油回転真空ポンプです。 蒸着・スパッタリング装置から真空包装機まで、真空をつくる根幹のポンプとして幅広い排気用途でご利用いただけます。 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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豊富な実績、高い信頼性と耐久力、多彩なバリエーション
お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。
メーカー・取扱い企業： 佐藤真空株式会社
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【デモ機貸出中！】新開発ロータ搭載で従来比１．７倍の高効率化と従来比４倍のメンテサイクルを実現した真空ポンプ
【第２４回中小企業優秀新技術・新製品賞にて「優良賞」を受賞製品】 オリオン機械大流量真空ポンプ・ブロワ 「ベーンレスポンプ」は、新開発ロータ採用により従来比１．７倍の高効率化を実現し、従来比最大４倍…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ナカタニ
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小型、軽量、低振動を達成したモータ直結の油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VS シリーズは、1 段式ベーン型（回転翼型）の採用により構造の単純化と高速化をはかり、小型、軽量、低振動を達成したモータ直結の油回転真空ポンプです。振動を大幅に低減したことで、工場建屋の基礎工事など…
メーカー・取扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。【アルバック／ULVAC】
チタンゲッタポンプ（GGT-3、PGT シリーズ）は、チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。昇華したチタンは周囲の壁面に大量の活性金属表面を作り、化学的に活性なガス（H…
メーカー・取扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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真空包装業界の方に朗報！ 廉価版低運転費新型ポンプです！
スクリュー式ドライ真空ポンプＳシリーズは、不等ピッチスクリューを標準採用し、モーター容量を、従来型と比較して、１ランク小さくできる可能性があります。 また、一般大気以外の気体の対応も幅広く対応可能で…
メーカー・取扱い企業： ガードナー・デンバー株式会社 八潮事業所 ブロワー事業部
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メカニカルブースタポンプ PRC-A/PMB-C(M)シリーズ
水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック／ULVAC】
ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10,000 ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A …
メーカー・取扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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先端科学のターボポンプに新たな基準を打ち立てる次世代型ターボ分子ポンプ！多くの主要な科学機器に標準で装着できます！
真空ポンプ技術の世界的リーダー、エドワーズが新規開発した、世代型ターボ分子ポンプをご紹介いたします。既に多大な信頼を獲得してきたEXTおよびSTPシリーズに基づく20年を超える経験をもとに設計した「n…
メーカー・取扱い企業： エドワーズ株式会社
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