日本インテグリス合同会社 ソリューション「高純度薬液の供給」

ソリューション「高純度薬液の供給」 http://www.ipros.jp/public/product/image/032/2000419989/IPROS50197662370124508789.jpeg ※ソリューションの詳細は、インテグリスのホームページから「高純度薬液の供給」についてのホワイトペーパーをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 日本インテグリス合同会社 電子部品・モジュール > 電子部品 > その他電子部品
インテグリスは高純度薬液供給における製品の歩留まり向上と経済的損失の減少に貢献するトータルソリューションを提供します。

ロジックデバイスの線幅の微細化、3D NAND 構造による多層化、DRAM メモリの高密度化に伴い、コンタミネーションとディフェクトに対する感度はデバイス性能に大きく影響します。

また好適なウェーハの歩留まりと信頼性を達成するためにマイクロエレクトロニクス業界は、薬品の製造からユースポイント至るまで、増加する消耗材料の要件と材料の清浄度についての課題を克服する必要に迫られています。

インテグリスは、汚染を制御した薬液容器、フィルター、ポンプ、流体制御製品によってお客様が清浄度の高い薬液を供給し、製品の歩留まりを向上させ、経済的損失を減らすことをお手伝いすることができます。

【特長】
■清浄度の高い薬液を供給
■製品の歩留まりを向上
■経済的損失を減少

※ソリューションの詳細は、インテグリスのホームページから「高純度薬液の供給」についてのホワイトペーパーをダウンロードして下さい。

※「高純度薬液の供給」に関連する製品については、以下の「PDFダウンロード」から資料をダウンロードしてください。

基本情報ソリューション「高純度薬液の供給」

※ソリューションの詳細は、インテグリスのホームページから「高純度薬液の供給」についてのホワイトペーパーをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途/実績例 【用途】
■マイクロエレクトロニクス業界

※高純度薬液の供給に関連する製品は、PDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログソリューション「高純度薬液の供給」

取扱企業ソリューション「高純度薬液の供給」

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日本インテグリス合同会社

液体・ガスの精密ろ過/精製製品:フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。 ガスシリンダー関連製品:イオン注入プロセス用ガスシリンダー(SDS)。 薬品・水の移送/制御関連製品:バルブ、継手、ディスペンスシステム、流量コントローラ、サニタリー配管部品、流量計、圧力計、薬品コンテナー、薬液容器・送液システム、濃度計、溶存酸素濃度計。 デバイスの保護/搬送関連製品:ウェーハ/ディスクシッパー、ウェーハ/ディスクキャリア、ウェーハ/レチクルポッド、チップトレー。 特殊材料関連製品:高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング(イットリア、アルミナ等)、 PECVDコーティング(シリコン、SiC、DLC等)。 表面処理材料・部材関連製品:CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。 先端成膜材料製品:各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-K材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム。 分析機器:AccuSizer 個数カウント式粒度分布測定器 など.. 上記製品の開発、販売、サービス。

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