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PR加熱炉なのに炉体がいらない?熱処理技術を実現するための炉体なしの加熱炉…
工業界では多くの熱処理が行われており、多くは直接加熱である抵抗加熱や 誘導加熱、または間接加熱である対流加熱という手法が用いられています。 この対流という加熱原理には通常炉体が必要になります。 しかし、炉体を必要としない加熱方法もあることをご存知でしょうか。 本資料は、加熱原理の比較の説明から、炉体のない加熱炉をどのように 応用できるのかなどを丁寧に解説しています。 【掲載内容...
メーカー・取り扱い企業: エクセリタスノーブルライトジャパン(旧ヘレウスノーブルライトジャパン)株式会社
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SiC・GaNウェハ基板の低ダメージ加工・研磨プロセスと評価
★高硬脆性を持つ各種GaN/SiC関係の素材の最新研磨技術
【第1部 講演主旨】 本講演では、インゴット切断から仕上げ研磨までのSiC加工技術における現行技術から最新技術まで概説し、今後の大口径化対応、量産技術化について議論する。また、SiCウェハ加工時に残留する加工変質層の特徴や後工程への影響、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社AndTech
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シリコンウエーハ、ガラスなどを主に、お客様のニーズに応じた加工サービス…
ICチップの製造に使われる半導体でできた薄い板のこと。 シリコン製のものが多く、これを特に「シリコンウエハ」と呼ぶ。 ウエハは、原料の物質を「インゴット」と呼ばれる直径120mmから200mm程度の円柱状 に結晶成長させ、0.5mmから1.5mm程度に薄くスライスして作製した円盤で、直径8インチ(200mm)、12インチ(300mm)のものがよ...
メーカー・取り扱い企業: グローバルネット株式会社
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