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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR【新入社員の方必見】組み込みシステム向けのメモリICにの基礎知識に関す…
ウィンボンド・エレクトロニクスは、 台湾に本社を構えるメモリメーカーです。 ただいま、当社技術者が監修した、約70ページにわたる メモリICに関するホワイトペーパーを配布しています。 【掲載概要】 第1部 メモリの基礎知識 「用途や種類…メモリICの世界へようこそ」 第2部 DRAM 「基礎知識」、「外部インターフェース」、「DDR-SDRAMの種類」、 「低消費電...
メーカー・取り扱い企業: ウィンボンド・エレクトロニクス(Winbond Electronics Corp. Japan) 株式会社
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1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック
□1.0mm〜15mm□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアク...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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段積みされた太陽電池ウエハを1枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」
段積みされた太陽電池ウエハを1枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ…
段積みされている太陽電池ウエハを1枚ずつ、高速にて損傷させることなく送り出し、供給します。 積層された太陽電池の上部に設けられた当社開発の非接触搬送装置「フロートチャックSK型」(特許)より空気を噴出させることにより最上部...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット
『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセットは、薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納します。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド
非接触にてウエハを搬送可能。ハンドが薄いためキャリアーへのウエハの出し入れが可能。クリーンルーム内で使用可能。アライメントが可能。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド
「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの ローダ・アンローダに最適です。 このハンドには排気回収装置(特許)が装着...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の非接触チャック
、フィルム、光学、エレクロニクス、紙、繊維と多方面にわたり、納入実績は数百件に達している。 ワークの大きさは数mm角チップ/レンズから数m角ガラス、厚さも数μmのものもある。性状も反りのある ウエハ、スルーホール、通気性、柔軟性のあるワーク、表面塗布したワークと多種多様である。 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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