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28件 - メーカー・取り扱い企業
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34件 - カタログ
241件
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フォトレジスト量削減!回転カップ式塗布装置(スピンコーター)
ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効!回転カップ式スピンコータ…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…
【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ8" ■印字読み取り COGNEX製ユニット搭載 ■センタリングユニット:1組 オリフラ位置合わせユニット搭載 ■装置サイズ:(例)700×1...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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低粘度~高粘度レジスト対応!小口径~大口径まで、どのウェハサイズの装置…
【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:1組 ■バック・エッジリンス:1組/塗布CUP ■現像ノ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在!2流体スプレーレジスト現像…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン現像ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP ■リンスノズル:1組/CUP ■ベークユニット:4組(Max200℃) ■クー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン現像ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP ■リンスノズル:1組/CUP ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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大型角基板用(~430mm)回転カップ式自動レジスト塗布コーター
430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます!正方形、…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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自動等倍露光装置(オートマスクアライナー)Maskaligner
簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。オートアライメント機能…
【主な仕様】 ■マスクサイズ:□3"~□7" ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6", 角基板 □2"~4" ■カセットステージ:2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き:1組 ■露光光源:超高圧水銀灯(250W,500W) UV-LED光源も対応可能 ■オートアライメント機能搭載(FAS...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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2サイズインチ兼用自動等倍露光装置(オートマスクアライナー)
サイズ切替が容易なウエハ2サイズ兼用オートマスクアライナー。簡単設定、…
【主な仕様】 ■マスクサイズ:□3"~□7" ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6", ■カセットステージ:2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き:1組 ■露光光源:超高圧水銀灯(250W,500W) UV-LED光源も対応可能 ■オートアライメント機能搭載(FAS...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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角基板対応自動レジスト塗布・現像装置(コーター・デベロッパー)
低粘度~高粘度レジスト対応!どのウェハサイズの装置も作製可能です!
【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12(角基板対応)" ■レジスト滴下ノズル:1組 ■現像ノズル:1組 ■リンスノズル:...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン現像ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP ■リンスノズル:1組/CUP ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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静止現像式(パドル)自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン現像ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP ■リンスノズル:1組/CUP ■ベークユニット:4組(Max200℃) ■クー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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10000cP!高粘度対応自動レジスト塗布装置(スピンコーター)
10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能!ASAP(エイ・エス…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高粘度フォトレジスト対応!密閉式自動レジスト塗布装置(コーター)
高粘度フォトレジスト塗布に自信があります!10000cPのポリイミドで…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ