真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の汎用型ＸＹ位置決めステージです。 【特長】 　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製） 　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製） 　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可 　◇汎用型のステージとの互換性が高く、大気→真空仕様への移行が 　　ス...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

真空対応 マイクロリニアアクチュエータ ＜MLA＞

真空対応 マイクロリニアアクチュエータ ＜MLA＞

真空度（：到達 5×10-4Pa）対応の超小型アクチュエータです。 【特長】 　◇ステッピングモータ駆動でパルスによる簡単な位置決め 　◇超小型！ボールペンや単４電池よりも小さい [仕様]　 　外形サイズ：　Φ８×Ｌ３５［ｍｍ］ 　ストローク：　５［ｍｍ］　※カスタマイズ出来ま...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

C4000コントローラ

半導体用・液晶用の制御開発技術を活かしたコントローラを単体にてご提供

コンパクト・軽量設計 ステッピングモータ:ユニポーラ・バイポーラ対応 制御インターフェイスはシリアル・パラレル IN 8Bit　OUT8bit（I/O拡張も可能）の2種 動作はS字加減速制御により高速かつ滑らかな動作を実現 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

ム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ使用 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

ット型式 GCR4210SN-300-CM 被搬送物 ～300mm ウェーハ ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着で保持 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ ステッピングモータ（クローズドループ） 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 760mm 335度 300mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL2041（エッジグリップ仕様）

ウェーハ用アライナ

0.3度以内 センサ 赤色LED透過式センサ ウェーハ保持方式 ウェーハグリップアームによるエッジグリップ方式 クリーン度 0.1µm/cf クラス1（駆動部排気時） 駆動方式 小型ステッピングモータを各軸に使用(モータドライバは内蔵しております) ユーティリティ 電源：DC24V±10％ 2A...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応 位置決めテーブル ＜MT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜MT＞

真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の小型位置決めステージです。 【特長】 　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製） 　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製） 　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可 　◇案内系にクロスローラガイドを採用し高剛性・高精度を実現、安定 　　...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

真空対応 位置決めテーブル ＜PT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜PT＞

真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の薄型位置決めステージです。 【特長】 　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製） 　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製） 　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可 　◇厚さわずか２５ｍｍで省スペース化、並べて配置など複数設置にも 　　...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

ンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ対応も可能 ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL1021（2インチウェーハ搬送）

搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

ライメント時：エアシリンダ駆動のエッジグリップ機構にて位置決め オリフラサーチ時：スピンドル上のウェーハは真空吸着により保持 クリーン度 ISOクラス2（駆動部排気時） 駆動方式 2相ステッピングモータを1軸使用（モータドライバは内蔵) ユーティリティ 電源：DC24V±10% 2A...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル