1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

ロボット搭載型無人搬送車【アーム最大可搬30kg】

PRスゴ腕ロボが人手不足を一挙に解決！自在に移動でき1台何役もこなします。

手首部最大可搬質量30kgと業界最高クラスのロボット搭載型無人搬送車です。 人では続かない重労働をラクラクこなし、製造ラインの安全稼働を支えます。 協働ロボットを採用しており、ロボットと人が同一の空間で安全に作業を行うことができ、 作業範囲を大きく設定できます。 【国際物流総合展2024出展予定】 【特徴】 ■無人搬送車が協働ロボットと一体化 ■手首部最大可搬質量30kgと業界最大クラス（F...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京機械製作所／株式会社KKS

『低騒音型 水系超音波洗浄システム』

有機溶剤を一切使用せず強力な洗浄力を発揮！環境と性能の両立を実現！

ト 　・SSドライヤー 　・多頭搬送ユニット 　・出口側冷却コンベア 　・軟水器 ■自動搬送タイプ 　・超音波洗浄ユニット 　・超音波すすぎユニット 　・噴流すすぎユニット 　・スピンドライユニット 　・多頭搬送ユニット ■コンベアタイプ 　・超音波洗浄ユニット 　・超音波すすぎユニット 　・噴流すすぎユニット 　・スピンドライユニット 　・コンベアユニット 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社CJVインターナショナル

株式会社プレテック　洗浄機器　総合製品カタログ

最新のテクノロジーを駆使し、より精密で高品質な洗浄装置を提供します。

す。これからもテクノロジーが求める技術進化に的確に対応するべく超洗浄の研究開発に挑み続け、未来の豊かな社会の創造に大きく貢献します。総合製品カタログでは、サブミクロンのパーティクルまでも取り除く「スピンソニッククリーナー」、品質と省エネを高い次元で両立した「カセットレス洗浄装置」、ハイクオリティな洗浄を実現「ディスク洗浄装置」、あらゆる精密部品・製品の洗浄工程で幅広く導入されている「精密洗浄装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

高圧パルスジェット DP-Gun　マスク・ガラス・ウェハー洗浄に

同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰…

　※1　ノズルチップの形状・ポンプ容量　は　洗浄の目的 　　　　必要流量・DP-Gunの設置数量により別途ご相談となります ■その他 　　DP-Gun取り付けステー、洗浄槽・移動ステージ、 　　スピン・エアーナイフによる乾燥、 　　他洗浄方法（超音波・薬液等）と合わせての装置化　等 　　ご要望に応じてご提案させて頂きます。 　※　写真はDP-Gunの複数台使用時の連結イメージと 　　　弊社デ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

乾燥システム「さらば未乾燥」

乾燥システム「さらば未乾燥」

洗浄で最も重要なのは、乾燥方法であります。従来の乾燥方法とは熱風乾燥、自熱乾燥、スピン乾燥、吸引乾燥等色々ありますが、乾燥シミを無くすことは難しく、エネルギー無駄が多く、溶剤の消耗の多い動的乾燥方法では、問題点が多くありました。 新乾燥方法『さらば未乾燥ＰＡＴ．』は、被洗浄物を蒸...

メーカー・取り扱い企業： ジャパン・フィールド株式会社

復水器の洗浄サービス（細管洗浄工事）

発電所復水器細管を洗浄することで、熱交換機能や信頼性を向上させることが…

れるスポンジボール洗浄や逆洗だけでは、残念ながら付着した 生物を完全に取り去ることはできません。定期検査時には徹底した洗浄が必要です。 当社の細管洗浄工事では、「バレット洗浄」をはじめ、「スピンブラッシング」や 「ハイドロビット洗浄」で汚れを取り去ります。 また、「細管検査」もおすすめしています。 【細管洗浄工事】 ■バレット洗浄 ■スピンブラシング ■ハイドロビット洗浄...

メーカー・取り扱い企業： 姫路エコテック株式会社

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

Vertical & Spin枚葉リフトオフ装置

有機剥離にもご使用可能！サイクロンや複合金網でフィルター負荷の大幅低減…

ステムは新型の「Spin/Dip型」や「UDS型」に代替可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、ウエハ洗浄装置、ウエハ洗浄機、ローダー、アンローダー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

高圧パルスジェット DP-Gun　マスク・ガラス・ウェハー洗浄に

同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰…

ズルチップの形状・ポンプ容量　は　洗浄の目的 　　　　必要流量・DP-Gunの設置数量により別途ご相談となります ■その他 　　DP-Gun取り付けステー、洗浄槽・移動ステージ、 　　スピン・エアーナイフによる乾燥、 　　他洗浄方法（超音波・薬液等）と合わせての装置化　等 　　ご要望に応じてご提案させて頂きます。 　※　写真はDP-Gunの複数台使用時の連結イメージと 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

プラスチックコンテナ洗浄乾燥機『DDC-600』

プラスチックコンテナ(通い箱)も3Sの時代！ 飛躍的な乾燥性能と低コ…

使用し、ワークが汚れてクレームになってしまうことを避けたい。 ・取引先から「お宅の通い箱、もっときれいにならないかな」と言われて… 等お悩みのユーザー様に朗報です。 ■高速バーチカルスピン 横回転ではなく、重力が加わる縦回転の遠心脱水方式を採用し、乾燥を促します。 ■ワークロック及び解除は、ワンタッチで簡単操作。セット異常時にアラーム検出で安全。 ■ワーク大きさに合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社田邊空気機械製作所 国内営業部

小型基板洗浄機『Ecclear』【小型基板に対する洗浄に最適！】

2インチ未満の小型基板の洗浄・乾燥に特化した小型基板洗浄機！新規材料に…

■洗浄時間(推奨洗浄条件） ・2min/枚 (ロードからアンロードまで） ■装置構成 ・基板搬送 ・スクラブ洗浄(ブラシ高さ調整可能） ・メガソニック洗浄(周波数：950kHz) ・スピン乾燥（回転数：～3,000rpm） ・HEPAフィルター ■装置寸法 (mm)：480W × 600D × 1,680H ■装置重量(kg)：200 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お...

メーカー・取り扱い企業： Orbray株式会社

各種製造装置

半導体製造装置やLED・OLED等の洗浄装置、空気清浄装置など幅広くラ…

装置 ■有機洗浄装置 ■Siナゲット洗浄装置 ■GaAsエッチング装置 ■マランゴニドライ洗浄装置 ■自動カセットオーブン ■ウェハ移載装置 ■石英管洗浄装置 ■石英管保管庫 ■スピンドライヤ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

株式会社プレテック　会社案内

高周波・超音波洗浄を事業領域として産業と生活を支えるマザーツールを提供

ー型高周波洗浄ユニット） →ウルトラソニック（超音波洗浄ユニット） →スイープソニック（超音波洗浄ユニット） ○精密洗浄装置の製造及び販売 →カセットレス洗浄装置（バッチ式洗浄装置） →スピンソニッククリーナー（枚葉式洗浄装置） →レンズ、ディスク洗浄装置 →液晶洗浄装置 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインジェット』

低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！

た液体(超純水、薬液)を噴射し洗浄 →用途に合わせてオゾン水、フッ酸等の薬液の使用が可能 ○高圧水JETと異なり、供給される液体は一般の水道圧(1〜1.5Kg/cm2)でOK ○枚葉送り、スピン洗浄機に簡単に取り付け可能 ○低出力から高出力までの安定した発振 ○枚葉洗浄の幅広いニーズに対応 ○微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整が可能 ○多彩な周波数を選択可能：400/15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

卓上スピン洗浄装置

上位機種と同等の高い洗浄性能が得られます。

、GaAs、LT等の処理に最適 ■丸形状基板は勿論、Crマスク等の角形状にも対応 　◎Maxサイズ：Φ20mm、6インチ角 ■基本処理プロセスは、「洗剤/スクラブ⇒DIW2流体⇒表裏リンス⇒スピン乾燥」 　◎スクラブや2流体処理時には、スキャン旋回機能が標準搭載。 　◎DIW2流体ツールで、優れたパーティクル除去性能 　◎ナイロン刷毛ブラシ or PVAブラシを基板表面状態に応じて選...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング