リソグラフィシミュレータ　PROLITH

Virtual Lithography Simulator

リソグラフィ・シミュレータは、数値計算により、露光光学系による結像およびフォトレジストの感光・現像の過程をコンピュータ上に表現し、現像後のフォトレジストの形状を算出します。リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社