フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

脱墨・脱積層 - プラスチック・リサイクルの革新技術 -

PRKEYCYCLE DEINKING

脱墨技術 - KEYCYCLE DEINKING - は、フィルム表面に印刷されたインクを完全に除去することが可能です。この技術は世界でも類を見ないものであり、この技術を応用してフィルムやシート表面に塗工された物質の除去にも活用され、金属箔やMLCC離型フィルムの脱積層（シリコンやセラミックの除去）も可能です。 工程は、特殊なソルベントフリーの洗浄液に破砕した対象物を投入し、一定時間攪拌し、...

メーカー・取り扱い企業： 双日マシナリー 株式会社 環境・生活産業システム本部

IQTシャットダウンバッテリー

リチウムイオン電池パック内蔵！ 主電源消失時にフェイルセーフ動作を実…

【アプリケーション】 ■調整弁の遮断、インチング、モジュレーティング ■緊急遮断弁、プロセス遮断弁、部分ストロークテスト ■石油・ガスの生産、タンクファーム、化学物質の精製、産業プロセス、水処理・水供給等、プロセスの継続的な稼動が必要不可欠な場面 ■辺境地のプロセスガス（メタン）を動...

メーカー・取り扱い企業： ロトルクジャパン株式会社

調節弁用電動インテリジェントアクチュエータ『CVA』

リニア用と90度回転用！コントロールバルブ用電動アクチュエータです

調節弁用電動インテリジェントアクチュエータ「CVA」は、リニア用と90度回転用の2種類あり、これらは様々なバルブの種類やサイズに幅広く対応します。 当製品は、プロセス制御、特に連続定格のモジュレーティング用コントロールバルブへの要求に応えるべく、専用に設計された新製品です。 【特徴】 ○電動コントロール ○高性能、連続定格－S9グレード ○高い分解...

メーカー・取り扱い企業： ロトルクジャパン株式会社