クーラント廃液 超省エネ減容化装置【産廃量1/20に削減！】

PRクーラント（水溶性加工油）廃液の95％以上減容化を実現！産業廃棄物処理…

NC旋盤やMCなどを用いた金属加工工程をお持ちの製造業様でのクーラント （水溶性加工油）廃液の削減事例になります。クーラント廃液を産業廃棄物 処理しているため、環境負荷およびコスト削減を実現したいという課題を 抱えていました。ヒートポンプサイクルを利用した超省エネ減容化装置を 利用する事で大幅に廃液を削減しました。 【事例概要】 ■課題 ・クーラント廃液を産業廃棄物処理しているた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンアップ

高性能・高圧 多用途ポンプ 【プラステコ】 L.TEXシリーズ

PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…

用途によって選べるタイプ！！ ●ポンプ単体（装置組込式）　●制御部一体型 標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ－ポンプです。 当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。 最大流量は 10mL/min ～ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、 研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラステコ 本社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

テフロン製ベローズポンプ

使用温度、薬液、流用に応じ様々なアプリケーションに適したポンプを提供致…

White Knight 社製テフロン製薬液供給ポンプは、「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。 ...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

耐久性と省エネを実現し、ランニングコストを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により 　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良によ...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

樹脂(PEEK、PTFE)製 無脈動定量ポンプ及び安全弁

無脈動定量ポンプと安全弁がメタルフリーに！ 金属と反応したり腐食させ…

FEといった非常に高強度な樹脂材）で構成する事で、金属イオンを嫌う液体や、強酸・強アルカリ等腐食性の高い液体の移送システムに組み入れ可能となりました。高強度な為、金属製と比べても遜色ない性能（定量ポンプ　■流量偏差／±0.1% ※清水・5R.P.M.以上・1MPa時　■耐圧／8MPa ※PEEK仕様）を実現しています。...

メーカー・取り扱い企業： 富士テクノ工業株式会社

コガネイ　高粘度定量吐出ポンプ

コガネイ　高粘度定量吐出ポンプ

均一な薄膜塗布が要求される液晶、ＰＤＰ、有機ＥＬ等の基板用スリットコーターに対応する電動ポンプ。高粘度吐出、高信頼のＣＴポンプ構造をさらに進化させて定流量性制御も可能になりました。高粘度については１０，０００cp以上実績があります。最大吐出量：３０ml、６０ml、１００ml、２００ml、３...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コガネイ

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

モータ・コントローラ一体型BPS-i100ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動され...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

BPS-4Hポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動され...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

純水昇圧装置

工場内純水供給圧を増強させ、圧力不足を解消！さらに、純水供給圧力変動を…

純水供給安定化を検討の際、ぜひお問い合わせ下さい。 ・Levitronix社ベアリングレスポンプ（磁気浮上型遠心ポンプ） ・脈動が少なく、安定的な供給性能を備えます。 ・非接触式のインペラにより低発塵を実現。 ・メンテナンスフリー且つ高い耐久性を誇ります。 ・お客様のご要望に合わせて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

フッ素系溶媒対応チラー　ペルチェ式チラー・冷凍機式チラー

昨今入手困難で貴重なフッ素系溶媒の使用量を抑えることができるチラーです

Rack 1201 / 1801＞ 設定温度 : -10～80℃ / -15℃~70℃ 冷却能力 @20℃：1320W / (H)1600W (M) 1800W 1 (L) 2000W ポンプ：14Lpm@0.21MPa 外寸法(WxDxH)mm：483 x 610 x 221 ＜Thermo Cube＞ 設定温度 :５～50℃ (-5℃～65℃オプション） 冷却能力 @2...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

■到達圧力 プロセスモジュール: < 3×10-5Pa トランスファー室: < 3×10-4Pa ロードロック室: < 3×10-4Pa ■真空排気系 プロセスモジュール: ターボ分子ポンプ 1300L/sec ドライポンプ: 600L/min トランスファー室: TMP 820L/sec ドライポンプ: 500L/min ロードロック室: TMP 350L/sec ドライ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

◎ 液晶ガラスの手動搬送に最適です。 ◎ 外部配線、配管なしで作業性がよいです。 ◎ 真空源（真空ポンプ、エジェクタ）が不要です。 液晶メーカ様からの御要望でこの吸着ツールを開発しました。人による液晶製造装置への液晶ガラスの搬送に多数採用されています。この吸着ツールは、真空源（真空ポンプ、エジ...

メーカー・取り扱い企業： 大谷技研株式会社

省エネ、フロンガス対策チラー　※置き換え事例ハンドブック進呈

省エネ効果でカーボンニュートラル、カーボンプライシング対策に！ 温室…

Rack 1201 / 1801＞ 設定温度 : -10～80℃ / -15℃~70℃ 冷却能力 @20℃：1320W / (H)1600W (M) 1800W 1 (L) 2000W ポンプ：14Lpm@0.21MPa ＜Thermo Cube＞ 設定温度 :５～50℃ (-5℃～65℃オプション） 冷却能力 @20℃ ：200W～600W@20℃(6モデル） ポンプ：1...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

定量ポンプ防爆型（ふっ素樹脂PTFE製）

定量ポンプ防爆型（ふっ素樹脂PTFE製）

耐薬品性、定量性に優れた、エアー駆動によるふっ素樹脂PTFEベローズポンプです。 ■液体に最適 ■自吸式 ■定量性０．５％ ■運転音がきわめて低い ■防爆型、引火性流体に最適 ■独特なふっ素樹脂PTFE被覆整形のマグネット弁使用でスプリングを使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハルナ

【動画で紹介】半導体ウェハ用ワイヤーソースラリー調合設備

人的ミス防止で生産効率UP!ワイヤソー用スラリーを自動搬送・計量・調合…

本製品は、半導体ウェハをインゴットの状態から、ワイヤソーにより切断する際に、必要となるスラリーの製造を目的とした設備です。 ２台の撹拌設備、１台の貯蔵設備、３台のコンベア、オイル搬送用のポンプで構成され、粉体搬送による発塵を防止するための集塵機も搭載しています。粉体搬送は自動で行い、モータ、ポンプ、ロードセルなどは非防爆仕様で、省力化に配慮をしています。 登録されたレシピに従い搬送、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エム・エス 本社営業部

LED材料用液体・粉体自動分注シリーズ　SAP-1 A14/M6

LED分注工程の生産革新！生産現場で要求される精度を実現します

【特長】 ○LED生産現場で要求される精度を実現 ○生産効率、材料の無駄を減らし、人為的ミスによる不良を防止 ○全自動・半自動、粉体・液体供給ポンプ数等使用している材料の種類や 　タクトに応じ構成可能 →ご要求に応じ適切なシステムをご提案可能 ○シリンジ・カップ共に対応可能 ○シリコン・蛍光体・分散剤の分注工程を自動化 →手作業(マ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルコム

マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｍodel　Ｕ７０９

モデルＵ７０９は腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０００ｍＬ／…

、腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜１０００ｍＬ／ｍｉｎの流量まで５種類の測定レンジによりにカバーする流量センサです。 間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間５００ｍｓｅｃ、吐出量１ｍＬからの液体を検出できます。 接液部の材質はテフロン、カルレッツ、サファイアで構成されています。センサ部は、ペルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用す...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

半導体製造装置の周辺機器の修理、改善サービス

高周波電源、搬送ロボットや、RFマッチングボックスなどを修理、改善、オ…

【その他の掲載内容】 ■輸送ロボットの修理 ■スリットバルブの修理 ■O3ジェネレーター修理 ■サーキュレータポンプの修理 ■マスフローコントローラの修理 ■ターボ分子ポンプの修理 ■サーキュレターポンプの修理 ■マスフローコントローラーの修理 ■ポンプの修理＆オーバーホール ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』

複数材料の多層膜が成膜可能！高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置…

【主な仕様】 ■到達圧力 ・処理室：3x10-5Pa以下 ・ロードロック室：3x10-4Pa以下 ■真空排気系 ・成膜室：ターボ分子ポンプ 1000l/sec ・ロードロック室：ターボ分子ポンプ ■成膜室 ・スパッタ源：ECR 2式、マグネトロン 2式（オプション） ・基板ホルダ：平板状ステップ回転、基板サイズ max.3イ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

原子層堆積装置『AFALD-8』

優れた段差被覆性と精密な膜厚制御！高品質な成膜が可能

：CCP、13.4MHz 最大1000w ■前駆体（金属プリカーサ）搭載数：最大4基 ■反応ガス搭載数：最大3系統（マスフローコントローラ） ■最高基板加熱温度：400℃（設定値） ■真空ポンプ：ドライポンプ（ケミカル対応型） ■ホットウォール：標準搭載 ■配管加熱：標準搭載 ※個別制御可 ■圧力コントロール：自動調圧バルブ ※各室個別制御可 ■プロセスガストラップ：標準搭載 ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

アーク放電型イオンプレーティング装置 「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

6.7×10^-3Paまで15分 ○排気操作方法／自動 ○基板加熱／MAX350℃ ○成膜方法／自動 ○成膜速度／2500Å/min(Tin 100A) ○蒸発電源／10kw ○油回転ポンプ／D-950DK ○高真空ポンプ／TS-440 ○所要水量／18ℓ/min ○所要圧空／0.5MPa以上 ○所要電力／27KVA ○床面積本機／約1300W×1000D×2040H ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

【仕様（抜粋）】 ■装置寸法：240mm(W)×390mm(D)×350mm(H) ■重量：20kg ■真空ポンプ：ドライポンプ（15L） ■加工範囲：28mm×28mm(オプションステージ使用時) 0.5~4mm ■対応可能ガス：CF4、N2、D.A、Ar、O2等 ※詳しくはPDFをダウンロードい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三友製作所 テクノセンタ

卓上式マニュアルスピンナー

シンプルデザインの卓上式マニュアルスピンナー

rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…ACサーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル レシピ設定…10プログラム×50パターン オプション…試料台、真空ポンプ ユーティリティー…電源、真空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

プリント基板製造装置　現像・エッチング・剥離ライン

ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せる

装置です。上エッチングは独立圧調でさらに高精度です。板厚50μmのワークが安定して流せます。有効幅は600mm 、搬送速度は1.0～7.0m/min（常用3.5m/min）、現像・エッチング・剥離ポンプはインバーター制御です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

570(D) x 600(H)mm ・重量：約70kg ・電源：200VAC 50.60Hz 15A ・チャンバーサイズ：Φ225（内径）x 250mm ・真空系：TMP + RP（ドライポンプ オプション） ・ペルチェ冷却機構...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

プラスチックバネ(スプリング)

「ばねの革命児」プラばね！ ～プラスチックバネとは思えない反発力と耐…

バネの革命児「プラばね」 プラスチックばねの「プラばね」は金属イオンを嫌う分析機器・強磁場環境で使われる MRI関連製品・酸・アルカリなどを吐出する薬液用ポンプ・分別廃棄を求められる ディスポーザブル医療製品・高い絶縁性が求められる半導体チェック端子に使われます。 金属ばねでは使用できなかった環境で、レアメタルを使用せず量産時コストを大幅に引き下げま...

メーカー・取り扱い企業： 日本ケミカルスクリュー株式会社

超小型スピンコーター　SC-155G

グローブボックス内でも邪魔にならない 超小型のスピンコーター

：0～6000rpm（無負荷時） *材質 ：本体、カップ　SUS304 *カップ径 ：内径φ150mm　受け皿付き *フタ ：透明塩ビ（ナベフタ式） *排気 ：無し *真空ポンプ ：無し *電源 ：AC100V/3A（スピンコーター本体） *装置サイズ ：W195 x D195 x H195mm *装置重量 ：約10kg ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー

4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP！　4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

方法：マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単） ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。 ◎真空ポンプが必須オプションです。（ただし真空吸着によらない基板固定の場合は不要です） スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。お問合せ下さい。 オプションにつ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

自立型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-700AII』

□360mm、20インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-70…

ラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。 ◎真空ポンプが必須オプションです。（真空吸着によらない基板固定の場合は不要） オプションについてもっと知りたい方は下記へアクセス！ https://www.acti-ve.co.jp/spincoat...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

超臨界流体洗浄・乾燥装置

微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥を行うことが可能

従来の「液化二酸化炭素で置換する工程」を「超臨界二酸化炭素で置換する工程」に置き換えたことにより… ●ポンプにより圧送される液化二酸化炭素を予備加熱することで粘性の低い超臨界流体としてチャンバーに導入するため、ナノレベルの微細構造物に対してもダメージの少ない洗浄・乾燥が行えます。 ●チャンバーの冷...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レクザム 香川工場