フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

大型鋳物 ターニング加工【加工事例集を進呈】

PR500～4000ミリの中・大物の工作機械、半導体製造装置などの実績多数…

工作機械、半導体製造装置・各種検査装置部品、船舶・発電機部品、専用機部品、プラント部品などあらゆる鋳物製品の切削加工を行っており、精度や外観に厳しい製品の仕上がりで定評を頂いております。 設備は大型ターニング（立旋盤）３台、五面加工機２台、門型マシニング２台、横中ぐりマシニング3台、大型5軸加工機、立形マシニング7台、平面研磨機など多彩な加工機を保有。 500～4000ミリの中・大物鋳物を高精度で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＳＳ西川機械

高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」

高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適！

高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。 【特徴】 　・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております 　・専用のクリーンルームにて生産しています 　・高精度を実現します 　　厳選された素線（高純度材料）を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします 　・高温炉内温度を正確に測定いたします 　・最先端装置に搭載されて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行