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超音波モータ標準ステージだけではあと一歩実現できない装置向けに、カスタ…
は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でステージを保持できます。 また高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社工苑
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高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの…
モデルも用意しております。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社工苑
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超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションス…
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社工苑
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10nm分解能で位置決め!単軸、多軸に対応したリニアステージ
FBリニアステージは、単軸および多軸アプリケーションで使用できます。 ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波(ピエゾ)モータを利用しています。 ステージは幅広い移動⾧で提供...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社工苑
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