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【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題・これ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社技術情報協会
タングステンなど極細線加工製品を多数展示

PR【2024年6月19日(水)～21日(金)機械要素技術展出展】新製品2…

当社は、東京ビッグサイトで開催される『機械要素技術展』に出展いたします。円滑な表面状態で、全長に渡り安定した線径公差(±2μm)の「NiTiワイヤ」や、シャープな端面形状の「異形ピン」などの製品を多数展示予定です。【出展予定製品】 ■新製品：NiTiワイヤ(φ0.025) ■新製品：異形ピン(厚み0.0127x幅0.0381x長さ10mm) ■超極細ワイヤ(φ0.0025) ■W-M...
メーカー・取り扱い企業：株式会社トクサイ本社
【分析事例】SIMSによる化合物半導体の組成分析

化合物半導体の主成分元素の組成を深さ方向に評価可能

一般的にSIMSでは含有量が％を超える主成分レベルの元素の定量性は低いとされていますが、一次イオンにCs+を用いたMCs+(M:着目元素）検出モードを用いることで、主成分元素の深さ方向の組成分布を求めることが可能です。 AlGaAs中のAl,Gaについて、深さ方向の組成評価を行った例を示します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】GaN系LED構造中MgのSSDP-SIMS分析

裏面側からGaN系LED構造中の不純物プロファイルを取得可能

GaN系LEDにおいて、ドーパント元素であるMgが活性層まで拡散することにより発光効率が低下すると言われております。本資料ではGaN系LED構造試料において、表面側及びサファイア基板側(裏面側)からSIMS分析を行い、Mgの深さ方向濃度分布を評価した事例をご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】パワートランジスタ（DMOSFET）の拡散層評価

ゲート・ソース層・ボディ層の位置関係がわかります

市販パワートランジスタ(DMOSFET) について、ポリSi ゲートとn型ソース層およびp型ボディ層の形状・位置関係を調べました。 AFM像と重ねることでゲートとの位置関係も知ることができます。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】SiO2中のアルカリ金属の深さ方向分布評価

試料冷却による高精度なアルカリ金属の分布評価

SiO2中のアルカリ金属の分布を一般的な分析条件で測定すると、測定に起因する電界などの影響により、深さ方向濃度分布に変化が生じることが知られています。 MSTではSIMS測定時に試料を冷却することでアルカリ金属の濃度分布変化を抑制し、より高精度に濃度分布を評価いたします。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】DRAMチップの解析

製品内基板上DRAMのリバースエンジニアリング

代表的なメモリであるDRAMについて製品レベルからTEM観察による素子微細構造解析まで一貫して分析します。外観観察からレイヤー解析、Slice＆Viewを行うことで構造の全体像を把握し、FIB加工位置をナノレベルで制御し薄片形成後にメモリ部の微細構造をTEM像観察しました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】SEM装置での歪み評価

EBSD：電子後方散乱回折法

TEM（NBD：Nano Beam Diffraction）のような薄片化加工を行うことなく、バルク状態での測定が可能です。 SEM特有の高い空間分解能を持ち、比較的高い歪み感度を持っています。また、局所的な格子歪みをテンソルデータとして検出できる可能性があります。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】導電性塗料中の成分の分析

試料冷却により塗料中の添加剤の形状と成分、および分散状態を評価

導電性塗料は、絶縁性材料に導電性を持たせるために用いられています。もともと絶縁性である塗料自体に導電性を持たせるために、塗料中には添加剤が加えられています。本資料では、導電性の異なる2種類の導電性塗料について、塗料中の添加剤の形状と成分、および添加剤の分散状態を評価しました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】2次元検出器を用いたX線回折測定

XRD：X線回折法

2次元検出器を用いて測定を行うと、回折角(2θ)に加えてあおり方向(χ)の情報も同時に得られます。観測される2次元回折像は材料の結晶性や配向性などの特徴を可視化することが出来るため、配向性が特性に影響する材料の評価に有効です。...詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】スマートフォン用保護フィルムのAFM分析

感覚的な製品の出来映えを定量評価可能

スマートフォンの普及率は年々増加し、それに併せて表面に貼る保護フィルムも機能が多様化しています。今回、指紋防止及び反射防止機能を持つ2種(A,B)のフィルムについて、AFM分析により、手触りのような感覚を粗さという観点で定量評価した事例をご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】GaN系LED構造中不純物の深さ方向濃度分析

目的に応じた分析条件で測定します

GaN系LED構造のドーパント元素であるMgやSiの深さ方向濃度分布を複数の分析モードで評価した事例をご紹介します。 SIMS分析では目的に合わせて最適な分析モードを選択することで、より厳密な評価が可能になりますのでお気軽にご相談ください。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】SiC基板のゲート酸化膜評価

膜厚・密度・結合状態を評価

SiCパワーデバイスは、電力損失を抑え、小型で大電力を扱える電力変換素子として期待されています。デバイスの特性を向上させるために必要なゲート酸化膜の膜厚、密度をXRR（X線反射率法）および結合状態をXPS（X線光電子分光法）で評価した事例をご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】化粧品の非破壊分析

X線CTにより製品の内部構造を非破壊で評価可能

X線CTは非破壊で試料の内部構造を測定できる分析手法であり、化粧品内部の異物、空隙、亀裂などの異常箇所の調査や、パール剤等の分散確認などの出来栄え評価に適しています。本事例ではファンデーションや口紅をX線CTで測定し、内部の構造を非破壊で評価しました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】顔料・色素の分散の観察

TOF-SIMSによるミクロンオーダーのイメージ測定

ポリエチレン表面に分散した青色色素「Cuフタロシアニン」の分布を調べました。 TOF-SIMS分析にて、1μmの色素系有機物の分布を捉えることが可能です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】バイポーラトランジスタの拡散層構造評価

ｐｎ判定を含む拡散層の構造を明瞭に観察可能

市販LSI内のNPNバイポーラトランジスタについて全景からエミッタ部の拡大まで詳細に観察が可能です。エミッタ電極の中心を通る断面を露出させ、AFM観察、SCM測定を行った事例です。 AFM像と重ねることで、配線との位置関係がはっきりします。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】化粧品塗膜の3D観察

リキッドファンデーションの塗膜をマクロからミクロまで可視化

プラスチック基材に塗布したリキッドファンデーションをX線CTおよびクライオSEMで観察し、試料内部の分散状態を可視化しました。 X線CTでは非破壊かつ非接触で巨視的な形態を確認でき、クライオSEMではさらに微視的な構造を観察することができます。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】有機EL層の定性分析

雰囲気制御下での測定面出し加工により成分の変質を抑制

有機ELを搭載した市販のデジタルオーディオプレーヤーについて、雰囲気制御下で測定面を出すことで加工による変質を抑えて、成分の定性分析を行いました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】照明用発光素子の総合評価

LEDの解体から蛍光体・LEDチップなど各材料の分析まで行います

省エネルギー化のキーデバイス照明用LEDについて、市販品を解体し、各材料の組成分析・不具合箇所特定・物理解析・不純物分析など実施します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】水素注入サンプルのSRA/SIMS評価事例

ライフタイム制御サンプルのキャリア濃度分析事例紹介

パワー半導体デバイスでは、ライフタイム制御のために、Si基板内に結晶欠陥を形成することがあります。ライフタイム制御領域の作成に用いられる元素の一つである水素イオンの熱処理条件の違いによるキャリア濃度分布を評価した事例を示します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】マイクロサンプリング法

FIB：集束イオンビーム加工

試料から直接小片を取り出し（マイクロサンプリング）、FIB加工を行うことができます。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［SXES］軟X線発光分光法

SXESは、物質から発光される軟X線を用いて化学結合状態を評価する手法…

・試料中の特定元素（特にB,C,N,O等の軽元素）に着目した化学結合状態の評価が可能・スペクトル形状は価電子帯における着目元素の部分状態密度を反映・X線吸収スペクトル（XAS）との同時測定によってバンド構造の評価も可能・バルクの情報が得られるため、表面近傍数nmの影響を受けにくい・絶縁物に対しても帯電の影響を受けずに評価が可能・検出下限が低く（＜1atomic%）、微量成分であ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】透過EBSD法による30nm以下の結晶粒解析

EBSD：電子後方散乱回折法

薄片化した試料でEBSD分析を行うことにより、従来のバルク試料よりも高い空間分解能を得ることができます。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】有機EL素子の劣化評価

雰囲気制御下での切削により加工による変質を抑制

有機ELを搭載した市販のデジタルオーディオプレーヤーについて、通電により輝度が劣化したものと非通電のものの比較を行いました。その結果、TOF-SIMSのスペトルにはサンプル間で差は見られませんでした。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】電子回折の種類と特徴

TEM：透過電子顕微鏡法

透過電子顕微鏡での電子回折法は、試料への電子線の入射の仕方によって3つに分類されます。それぞれの特徴とデータ例を示します。評価対象物のサイズや分析目的に応じて、適切な手法を選択する必要があります。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】カールフィッシャー電量滴定法における試料導入方法

カールフィッシャー滴定法

カールフィッシャー電量滴定法は水分量を評価する方法であり、試料の性状に応じて装置への導入方法が異なります。ここでは電量滴定する際の二つの試料導入方法を紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】放射性物質検査

食品や飲料水、土壌・堆肥に含まれる放射性物質の検査サービス

ゲルマニウム半導体検出器による放射能濃度検査をお引き受けいたします。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】球面収差補正機能

TEM：透過電子顕微鏡法

球面収差補正機能(=Csコレクタ)つきSTEM装置では、原子レベルでの高分解能観察･高感度分析が可能です。分解能は約0.10nmです。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［ICP-MS］誘導結合プラズマ質量分析法

導結合プラズマ（ICP）を励起源として用いた無機元素分析の手法です

ICP-MSは溶液を分析するため、固体分析では作製が難しい標準試料を比較的容易に調製することが可能です。そのため、溶液中の極微量な無機元素を精確に定量する場合に頻繁に用いられています。・高感度・低バックグラウンドな測定が可能なため、無機元素分析用装置としては最も低い含有量（ppt*あるいはサブpptレベル）を検出できます。(＊：ppt：10-12g/g) ・定量分析の比較基準となる標準試...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［XPS］X線光電子分光法

試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類、存在量、化学結合状態評価に有…

XPSは、Ｘ線照射により放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）に存在する元素の種類・存在量・化学結合状態に関する知見を得る手法です。化学結合状態に関する知見が得られるため、別名ESCA : Electron Spectroscopy for Chemical Analysis とも呼ばれています。・固体表面（約2～8nm）の元素の定性・定量が可能・化...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［XAFS］X線吸収微細構造

XAFSは、物質にX線を照射することで得られる吸収スペクトルを解析する…

・試料中の着目元素周囲の局所構造（原子間距離、配位数）や化学状態（価数、配位構造）の評価が可能・環境（高温・高圧・雰囲気）を問わず、測定が可能・様々な試料形態（固体・液体・気体、薄膜、非晶質物質など）の測定が可能・適用可能な濃度範囲が広い（主成分元素から微量元素まで）・非破壊測定・測定方法によっては、バルクだけでなく、表面敏感な測定も可能 ...物質にX線を照射するこ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
IT技術『ライフサイエンス分野における実験研究サポート』

薬剤候補化合物探索のための実験を速やかに開始できるようにサポート

株式会社バイオモデリングリサーチは、ライフサイエンス分野における実験研究をIT技術を用いて支援します。薬剤候補化合物探索のための実験を速やかに開始できるように、ドッキング計算から実験開始までをサポートします。バイオモデリングリサーチは、公益財団法人計算科学振興財団が運用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社バイオモデリングリサーチ
［XRR］X線反射率法

XRR：X-ray Reflectivity

XRRは、X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その反射強度を測定します。この測定で得られた反射X線強度プロファイルをシミュレーション結果と比較し、シミュレーションパラメータを最適化することによって、試料の膜厚・密度を決定する手法です。・膜厚の評価が可能（2～300nm 程度）・密度の評価が可能・表面粗さの評価が可能（Rms = 5nm 以下）・非破壊で分析が可能 ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
技術情報誌 201910-03 in-situ 昇温手法

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

技術情報誌The TRC News「in-situ 昇温手法による正極材のガス発生と構造変化の関係性調査」【目次】はじめに実験方法 TPD-MSを用いたガス発生挙動の観測 in-situ昇温TEM法による組織変化の観察 STEM像における形態・組織変化の観測 HRSTEM像における結晶構造変化の観測 650℃以上の形態・組織・構造変化の観測まとめ【図表】図１～図９ ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法

数十μm角程度の領域の測定が可能

赤外分光法は、分子の振動による赤外線吸収を測定することで、分子構造の情報を得る手法です。・非破壊での測定が可能・真空下での測定により、大気成分であるCO2やH2Oの影響を除去することが可能・顕微測定により、数十μm角程度の領域の測定が可能・透過法、反射法、ATR法などを用いることで、様々な形状や状態の試料を測定することが可能...■赤外分光法最もよく利用されるのは、中赤外の...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［RBS］ラザフォード後方散乱分析法

固体試料にイオンビームを照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱され…

RBSは固体試料にイオンビーム(H+,He++)を照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱されてくるイオンのエネルギーおよび強度を測定する手法です。散乱されたHeイオンの運動エネルギーを測定し、衝突した原子の質量数を調べることで分析サンプルの成分や層構造を評価することができます。また、固体試料にHeイオンを入射して前方に散乱されたHイオンを測定することで、サンプル中の水素濃度を評価す...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
ＰＶ（太陽電池）各種評価事例集

太陽電池（ＰＶ）の組成評価や同定・膜圧評価・形状評価・結晶構造評価など…

PV EXPO2013（国際太陽電池展）展示会にご来場いただけなかった方、MSTブースにお立ち寄りいただけなかった方、もう一度MSTの展示会資料をご覧になりたい方、ぜひご覧ください。太陽電池の研究・開発・製造に必要な部品・材料、装置、セル・モジュールが一堂に出展する展示会『PV EXPO　2013』で使用したパネル資料全6枚のご紹介です。 [掲載内容] 有機薄膜太陽電池の活性層の...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［GDMS］グロー放電質量分析法

特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出

GDMSは固体試料の組成について、主成分から微量成分まで同時に分析し、試料内に存在する不純物の半定量分析を行う手法です。濃度換算には装置付随の相対感度係数(RSF)を使用します。分析値は主成分元素と目的元素のイオン強度と、RSFから算出した値であり、半定量値です。・微量元素（ppbレベル）から主成分レベルまでのバルク分析が可能・μmオーダーの深さ方向分析、薄膜分析が可能・導電性材料...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能

SSRMは、バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。シリコン半導体素子を計測した場合、空間分解能に依存しますが、キャリア濃度1016個/cm3以上に感度があります。・ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能・半導体のドーパント濃度分布計測に有効・半導体の極性（p型/n型）の判定は不可 ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［TG-DTA/TG-DTA-MS］示差熱天秤-質量分析法

サンプルを加熱することによって生じる重量変化・示差熱・熱量および揮発成…

TG-DTAは、加熱によって生じる重量変化（TG）、吸熱・発熱の熱挙動（DTA）を同時に評価します。またTG-DTA-MSはTG, DTAの評価に加え、揮発成分の評価(MS)を連続して行います。・TGにより、%オーダーの重量変化を捉えることが可能・DTAにより、熱分解・融解・昇華・酸化・燃焼・相転移等の反応の知見を得ることが可能・MSにより、揮発成分や分解物の構造推定が可能 ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
品質評価試験のご案内

VOC試験をはじめ、におい試験や霞み性試験、燃焼性試験など様々な試験に…

一般財団法人東海技術センターでは、「自動車内装材の性能評価試験」と、「プリンター等事務機器からの化学物質放散試験」を行っています。自動車内装材のうち、鼻やのどへの刺激の原因とされているホルムアルデヒド、 ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人東海技術センター
技術情報誌 202304-04 エクソソーム研究におけるマイクロ

『マイクロRNA』に着目し、EVの性質や状態の評価におけるマイクロRN…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。【要旨】エクソソームをはじめとする細胞外小胞（Extracellular vesicles：EV）は、バイオマーカーや治療薬の開発につながることから大きな期待がある。特に近年、治療困難な様々な疾患について臨床試験（治験）が開始される等、再生医療や創薬においてEVは実用化へ動き始めてい...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
技術資料vo.1『信頼性中心保全(RCM)とCMMSとは』

【無料進呈】メンテナンス業務の管理・改善及び効率化に寄与するCMMSや…

科学技術・エンジニアリングシミュレーションのソフトウェア開発・販売からコンサルティングまで幅広く手がける当社から、ノウハウを凝縮した技術資料『信頼性中心保全(RCM)とCMMS』を無料プレゼント中！...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
技術情報誌 202201-01 X線CTを用いた微小液滴

X線顕微鏡は、試料の内部構造をµmオーダーの高空間分解能で非破壊観察で…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。【要旨】 X線顕微鏡は、試料の内部構造をµmオーダーの高空間分解能で非破壊観察できる装置であり、CT（コンピュータートモグラフィ）測定することで三次元形態の観察も可能である。特に電子顕微鏡では困難な、液体と材料の接触状態や、空孔を有する材料内部における液体の存在状態などの評価におい...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
技術情報誌 202301-02 高分解能MALDI-MS

高分解能MALDI-MSによる精密質量測定と新しい解析法を組み合わせた…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。【要旨】近年、高分解能の質量分析計の普及に伴い、質量分析で得られる情報がはるかに多くなる一方で、解析に要する時間も増加するという問題も出てきた。これに対して、新しい解析法を用いることにより、マススペクトルの全体像を把握して、効率よく解析を行う試みがなされている。ここでは、高分解能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
技術情報誌 202001-01 in-situ STEM

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

技術情報誌The TRC News「in-situ STEMを用いたMTJ膜の加熱分析」【要旨】高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel junction）構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
［SCM］［SNDM］

キャリア分布を二次元的に可視化

SCM/SNDMは、導電性の探針を用いて半導体表面を走査し、キャリア分布を二次元的に可視化する手法です。・SCM：1015～1020cm-3, SNDM：1014～1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある・半導体の極性（p型/n型）の識別が可能・キャリア濃度に相関した信号が得られるが、定量評価は不可・AFM像の取得も可能...■電気容量変化によるキャリア分布の可視化 ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
技術情報誌 202304-02 Optical-PTIR

細胞の構成成分（タンパク質や核酸など）の分布、局在を可視化するために、…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。【要旨】赤外分光法は、分子の振動による赤外線吸収を測定することで、分子構造の情報を得る手法である。光熱変換を利用したO-PTIR（Optical Photothermal IR Spectroscopy）では、サブミクロンの空間分解能かつ非接触での赤外分析が可能である。本稿では、細胞...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であるこ…

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です。スパッタイオン源を用いて、深さ方向に無機・有機物の分布分析が可能です。・有機・無機化合物の構造解析・同定が可能・異物検査装置の座標データとリンケージが可能・ミクロンオーダーの微小異物から数cmまでの定性が可能・最表面を感度よく分析することが可能・イメ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
サンプルの送り方

分析を行うサンプルをMSTにお送りいただく際の送り方をまとめました。

ご不明な点はお気軽にお問い合わせください。...◆ウェハ・元素分析枚葉ケース・FOSB・チップケースなどでお送りください。・有機汚染評価できれば、同一試料を2枚ご用意いただき、測定面同士を合わせて、アルミホイル艶消し面で、二重に包んでください。 ◆微小片サンプルピンセットでの取り扱いに注意を要する微小片サンプルはサンプルを外側から確認できる透明なチャック袋などでお送り...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［XRD］X線回折法

XRDは、回折パターンから試料の結晶構造情報を得る手法です。

・結晶性物質の同定が可能・結晶子サイズの評価 (数nm～100nm)が可能・結晶化度の評価が可能・配向性の評価が可能・歪み量・応力の評価が可能・非破壊で分析が可能保有装置の特徴・室温～1100℃までの加熱分析が可能・ビーム径100μmまでの微小部測定が可能・N2、He、Ar、真空での雰囲気制御が可能 ...XRDの評価対象である『結晶』とは、物質を構成する...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
エクソソームの電子顕微鏡解析

約2週間でメールにて速報をお届け！電子顕微鏡で可視化することによって形…

【ご利用のご案内】 ■お問合せ　・技術的な問題、サービスの費用・納期などご相談可能　↓ ■お見積り　・ご相談内容に基づき、お見積り　↓ ■ご依頼　・依頼書の必要事項をご記入の上、試料と共にご送付頂く　↓ ■撮影...

メーカー・取り扱い企業：株式会社花市電子顕微鏡技術研究所
技術情報誌 201909-01 シリカ表面のシラノール基の定量

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

技術情報誌The TRC News「シリカ表面のシラノール基の定量」【要旨】シリカ表面にはシラノール基と呼ばれる水酸基が結合したケイ素（Si-OH）が存在しており、撥水、親水といった物理的特性の大きな一因を担っている。また、シランカップリング剤を結合させることで表面の化学的特性を改良し、樹脂充填材として汎用されている。したがって、このシリカ表面シラノール基は、シリカ単体の性質に留まらず、材料全体...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
技術情報誌 202201-02 fsLA-ICP-MS

フェムト秒レーザーアブレーション－誘導結合プラズマ質量分析法は生体組織…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。【要旨】固体試料の局所における無機元素を迅速かつ高感度に分析可能なfsLA-ICP-MS（フェムト秒レーザーアブレーション－誘導結合プラズマ質量分析法）は、生体組織中に極微量で存在する元素の二次元分布解析に有用な手法として注目されている。本稿では、fsLA-ICP-MSの特徴と、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
技術情報誌 201902-02 大気圧RBS分析の開発

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

技術情報誌The TRC News「大気圧RBS分析の開発 –液体・湿潤試料の表面分析–」【要旨】多くの場合、表面分析において分析対象は真空に保持できるものに限定される。一方で、高速イオンのポテンシャルを応用すれば、分析プローブを大気圧下に引き出すことができる。TRCでは大気圧におけるラザフォード後方散乱分光法（RBS）を検討し、その実現に成功した。本稿では大気圧RBSによる固体／液体界面の深さ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
技術情報誌 202102-04 新規RBS装置の導入

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

技術情報誌 The TRC News「新規RBS装置の導入 –微小領域における高感度・高精度組成分析–」【要旨】近年、各種デバイスの高集積化に伴い、局所領域における評価が製品開発、機能向上のために極めて重要と考えられている。新規RBS装置では、高速イオンビームを最小1 μmφまで収束可能なマイクロビームラインを兼ね備えており、微小部における正確な組成・密度分析が可能となる。また、入射イオン種の増...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
［TDS］昇温脱離ガス分析法

真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法。水…

TDSは、真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法です。 TDSスペクトルは、横軸に温度、縦軸にイオン強度を表します。これにより、放出されるガスの脱離量の比較、脱離温度の比較が可能です。また、真空雰囲気下であることから水素や水も感度よく分析することができます。・試料から脱離するガス及び圧力と、発生温度の関係を知ることが可能・試料のみを加熱できるため、バックグ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［Slice&View］三次元SEM観察法

FIBでの断面出し加工とSEMによる観察を細かく繰り返し、取得した像を…

FIB付き高分解能SEM装置を用い、FIBでの断面出し加工（Slice）とSEMによる観察（View）を細かく繰り返し、取得した像を再構築することで立体的な構造情報を得ることができます。また、SIM(Scanning Ion Microscope)像についても同様にSlice & Viewが可能です。・二次電子（Secondary Electron;SE）像、反射電子（BackScatte...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［ED］電子回折法

EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を…

EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。・物質の結晶学的情報が得られます。透過電子顕微鏡の場合、単結晶では規則正しく並んだ回折斑点(スポット)、多結晶では同心円状の円環、非晶質ではブロードな円環状の電子回折図形となります。・透過電子顕微鏡で観察される微小領域の結晶構造を調べることができます。・結晶構造とEDX法での元素分析結果とを組...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
技術資料vo.2『0からはじめるIoTで予知保全』

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メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
［SRA］広がり抵抗測定法

SRA：Spreading Resistance Analysis

SRAは測定試料を斜め研磨し、その研磨面に2探針を接触させ、広がり抵抗を測定する手法です。 SRP（Spreading Resistance Profiling）とも呼ばれます。・導電型(p型/n型)の判定が可能・深さ方向のキャリア濃度分布の評価が可能・濃度約1E12～2E20 /cm3の広範囲のキャリア濃度の分析が可能・約20μｍ×100μｍ以上の大きさのパターン試...
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［SIM］走査イオン顕微鏡法

高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能

・高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能・SEM像に比べてSIM像の方が極表面層の情報が得られる・金属結晶粒観察が可能（Al, Cu等) ・分解能はSEM像より劣る（SIM：4nm, SEM：0.5nm） ■MST所有装置の特徴・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が可能・FIB（集束イオンビーム）加工との組み合わせで連続的な断面SI...
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