技術 | イプロスものづくり

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ダイカスト関連製品・補修技術＜カタログ進呈＞

PR溶損しづらい金型用溶接棒や保温スリーブ、補修技術などを提供。日本ダイカ…

当社では、ダイカスト製品の品質向上、製造コスト削減に貢献する様々な製品や補修技術を提供しています。高い耐溶損・耐ヒートクラック性を備えた金型用溶接材料や、注湯金属の保温性を高めるスリーブは、ダイカスト金型の長寿命化に貢献。冷却効率を高める銅ペーストや銅チューブ、高い冷却効率を実現した金型部品は、サイクルタイムの短縮、製品品質向上に貢献します。溶損・腐食・歪みなどで摩耗したプラテンの現...
メーカー・取り扱い企業：特殊電極株式会社
FPD・半導体用ガラス基板搬送ケース※1個から生産可能

PRG１～G６ｈの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…

当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流支援まで幅広く手掛けています。また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネルディスプレイ用（LCD・OLED）フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの先端分野...
メーカー・取り扱い企業：株式会社ディー・アール・エス（DRS)
［SIMS］二次イオン質量分析法

二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含ま…

イオンを試料表面に入射させると、試料表面からは電子・中性粒子・イオンなど様々な粒子が放出されます。SIMSは、これらの粒子のうちイオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です。・高感度（ppb～ppm）・HからUまでの全元素の分析が可能・検出濃度範囲が広い（主成分元素から極微量不純物まで）・標準試料を用いて定量分析が可能 ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
技術情報誌 201906-02 多周波/高温ESR装置

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

技術情報誌The TRC News「多周波/高温ESR装置によるラジカル及び金属イオンの評価―フッ素系樹脂、ダイヤモンド粉末、シリカガラス、発光体粉末への適用―」【要旨】最も一般的なXバンド（9.5 GHz）のマイクロ波を用いたESR測定に比べ、高周波数のマイクロ波を用いたESR測定は、ESRスペクトルの分解能向上やスペクトル解析に有効である。本稿では、新規導入したXバンド及びQバンド（34 G...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
技術情報誌 202301-01 結晶性医薬品のテラヘルツ

分子性結晶から成る医薬品のテラヘルツ分光スペクトルに対して、第一原理計…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。【要旨】テラヘルツ分光によって得られる吸収スペクトルは、水素結合や分子間相互作用に関連した分子間振動を含む分子全体にわたる振動を反映しており、ピークの帰属が複雑かつ難解である事が多い。本稿では、分子性結晶から成る医薬品のテラヘルツ分光スペクトルに対して、第一原理計算を用いて詳細に振動...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
［C-SAM］超音波顕微鏡法

C-SAMは、試料の内部にある剥離などの欠陥を非破壊で観察する手法です…

C-SAMは、SAT：Scanning Acoustic Tomographyとも呼ばれます。・X線CTによる観察では確認が困難な「電極の接合状態」や「貼り合わせウエハの密着性」などの確認に有効。・反射波のほか、透過波の取得も可能。...音波を用いることから試料の光学的な性質に左右されず、試料表面だけでなく、表面下の内部構造も非破壊で観察する事が可能です。空気との界面での反射が大きいこ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
ご依頼からの流れ

ご依頼から納品までの流れをまとめました。

まずはお気軽にお問い合わせください！...◆お問い合わせまずはお問い合わせください。 info@mst.or.jp または電話03-3749-2525まで、お気軽にどうぞ。 ↓ ◆お打ち合わせ・お見積もり MST営業担当があなたの元へお伺いして打ち合わせ後、お見積書を発行します。 ↓ ◆サンプル受け渡し分析する材料・製品は、お打ち合わせ時に直接お預かり可能です...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
技術情報誌 202303-03 GMP体制

GMP体制の下で医薬品の分析業務を行っている中でお客様からの問い合わせ…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。【要旨】近年、製薬業界におけるデータインテグリティ（以下DI）の要求レベルが高まる中、製薬企業及び受託試験機関はその対応が求められている。東レリサーチセンターCMC分析研究部（以下CMC研）では受託試験機関として、GMP体制の下で医薬品の分析業務を行っている中、様々なお客様からDIに...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
白色干渉計測法

非接触・非破壊で3次元測定可能

白色干渉計測法は、高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触（非破壊）三次元測定が可能な装置です。・高輝度白色光源を用いた表面形状測定装置・非接触・非破壊で三次元測定が可能・広い視野（50μm×70μm ～ 5mm× 7mm）・高垂直分解能（0.1nm）・広いダイナミックレンジ（＜150μm）...走査型白色干渉計は高輝度白色光源...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［Raman］ラマン分光法

試料の分子構造や結晶構造に関する情報を得る

Raman（ラマン分光法）は、入射光と分子との相互作用の結果、入射光の振動数が変化するという光散乱現象（ラマン効果）を利用し、分子中の構造についての情報を得る手法です。・試料の分子構造や結晶構造に関する情報を得ることが可能・レーザー光を用いることにより、FT-IRよりも微小領域の測定に対応可能（ビーム径約1μｍ）...励起光ν0に対して振動エネルギーに対応する波数νの異なった光が散乱さ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【資料】解析事例

リポソームの構造解析や皮膚ラメラ構造解析など！30nmから5μmの切片…

当資料は、株式会社花市電子顕微鏡技術研究所が行った解析事例を掲載しています。「ウルトラミクロトーム」では、30nmから5μmの切片作製が可能。生物組織、金属メッキ層や無機蒸着層を含む複合材料、ナノ粒子など幅広い分野...

メーカー・取り扱い企業：株式会社花市電子顕微鏡技術研究所
技術情報誌 201902-01 DPC-STEMを用いたポリマー

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

技術情報誌The TRC News「DPC-STEMを用いたポリマー相分離構造の解析」【要旨】走査透過型電子顕微鏡（STEM）の測定手法の一つである微分位相コントラスト（DPC）-STEMは、微小部の電場を測定することが可能である。我々は、本手法をポリマーアロイに適用することで、従来の電子顕微鏡では観察が困難な相分離構造のコントラストが出現することを見いだした。【目次】１．はじめに２...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
［XRF］蛍光X線分析法

照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光する…

蛍光X線分析（XRF： X‐ray Fluorescence）は照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。・測定範囲の全エネルギー（Na～U）が同時に短時間で測定可能・未知試料の分析に適している・非破壊分析・特殊な試料を除き、前処理不要、大気中での分析が手軽に行える・ハンドヘルド型の装置で動かせない...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［PL］フォトルミネッセンス法

PL：PhotoLuminescence

フォトルミネッセンス法とは、物質に光を照射し、励起された電子が基底状態に戻る際に発生する光を　観測する方法です。得られる発光スペクトルから、様々な情報を得ることが可能です。・バンドギャップ約3.5eVまでのサンプルを励起することが可能・マッピング機能により、広範囲の情報を得ることが可能・約10Kまでの測定が可能・一般的に非破壊の測定であり、特殊な前処理が不要 ...フォトルミ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
走査型マイクロ波顕微鏡法_SMM

Scanning Microwave Microscopy

SMM は、導電性プローブを用いて計測試料を走査し、その凹凸形状を観察します。同時に、マイクロ波を探針から試料に照射して、その反射応答を計測することで、特に半導体の場合にはキャリア濃度に相関した信号を得ることができる手法です。SMM 信号の強度はキャリア濃度に線形に相関するため、定量性が高いことが特徴です。・Si デバイスの場合、1015～1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
電子顕微鏡による形態観察・成分分析のご案内

試料領域での点分析、線分析、マッピングなどの分析もでき、多機能な成分分…

一般財団法人東海技術センターは『電子顕微鏡による形態観察・成分分析』を承っております。手間と時間のかかる前処理なしで観察ができるため、観察までの時間短縮と観察後の成分分析の評価がしやすくなりました。 ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人東海技術センター
材料・品質分析のご案内

製品や部材等の品質に関する様々な分析・試験を受託！是非ご用命下さい

一般財団法人東海技術センターは『材料・品質分析』を承っております。製品試験、製品開発あるいは異物分析・クレーム対応等で成分を分析したい、原因を究明したい、といったご要望がありましたら是非ご用命下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人東海技術センター
X線CT法

X-ray Computed Tomography

試料にX線を照射することで、試料内部構造の二次元透過像を取得します。また、試料を回転させた連続撮影データから、X線CT（Computed Tomography）像を構築します。・非破壊で、試料の内部構造や欠陥形状などの確認が可能。・3D像や任意箇所での断面像を構築可能。・X線エネルギーは30 kV～160 kVの間で設定できるため、有機材料から電子部品まで幅広く対応可能。・専用...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
蛍光X線装置による品質管理分析

豊富な情報、経験、評価スキル！品質管理分析のご要望に対してトータルにサ…

TTCが行う品質管理分析「蛍光X線分析」をご紹介いたします。対象となるサンプルにX線を照射し、サンプルから発生した2次X線(蛍光X線)を測定し、サンプル中の構成元素の定性分析や定量分析を実施。 TTCでは、分析の迅速性、非破壊分析などのメリットを生かし、土壌、廃棄物、リサイクル品、セラミックスなどの測定分析に活用してきました。また、触媒中の貴金属元素や製品中の異物など...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人東海技術センター
ウルトラミクロトーム加工

ダイヤモンドナイフを用いてバルク試料を切削し、厚さ100nm以下の透過…

ウルトラミクロトーム加工とは、ダイヤモンドナイフを用いてバルク試料を切削し、厚さ100nm以下の透過電子顕微鏡用の超薄切片を作製する加工法です。イオンビームを用いた加工と異なり、大気中にて広範囲の切片を作製することができます。室温では切削が困難な生体材料や柔らかい高分子材料も、凍結固定することで超薄切片を作製することが可能です。...1．切り出し 2．樹脂包埋 3．粗トリミング ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
事例　製品環境でのパッケージ　熱抵抗測定技術

半導体の熱抵抗を正しく測定できていますか？熱シミュレーション技術とコラ…

利用されるダイオード（PN接合）の特性を理解しないと、正しく測定できない場合があります。製品環境でのパッケージ熱抵抗を正しく求めるためには、実デバイスを使った熱抵抗解析を高精度に評価する技術が必要となります。局所発熱モデルにおいて実測と熱シミュレーションの整合モデルが作成出来ていれば、任意発熱時の熱抵抗がシミュレーションで解けます。弊社では、実測～シミュレーションまでの一環...

メーカー・取り扱い企業：株式会社Wave Technology
医薬品業界向け！電子顕微鏡による『ウイルス安全性試験』

透過型電子顕微鏡による安全性試験！長年積み重ねてきた経験と実績がありま…

花市電子顕微鏡技術研究所では、電子顕微鏡による『ウイルス安全性試験』の受託を行っております。 GLP/GMPに準拠した厳正な管理の下、ウイルス安全性試験を実施。例としてCHO細胞を使用してバイオ医薬...

メーカー・取り扱い企業：株式会社花市電子顕微鏡技術研究所
【技術レポート】モード解析技術を用いた振動特性の把握

モード解析とは？モード解析の種類をはじめ、適用範囲と適用例、用語解説も…

振動は、機械・構造物等に共通の問題です。この振動問題を解決するには、対象物の振動特性を正確に把握する必要がありますが、このためにはFEM等の理論解析とともに振動実験を実施することが不可欠です。 ※続きを読みたい場合はお問い合わせください。...※続きを読みたい場合はお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業：川重テクノロジー株式会社
技術情報誌 202201-03 キャピラリー電気泳動

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

技術情報誌The TRC News「キャピラリー電気泳動によるイオン成分の一斉分析」【要旨】キャピラリー電気泳動法は高い分離能を達成できる分離分析法であり、多くのイオン成分の分析に有用であるが、化学的性質の近いイオン同士の分離には工夫が必要である。イオンの分離が行われる泳動液の組成およびpHを最適化することで、互いに性質の近い無機陰イオンや有機酸の一斉分離、さらにアミノ酸や緩衝剤等を含めた網羅的...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
リチウムイオン電池向けのソリューションならコネックスシステムズ

コネックスシステムズは電池開発における、専門的な知見でお客様の目的や用…

▼電池メーカーとして培ってきた豊富な経験と技術で電池に関わる課題解決をサポート CONNEXX SYSTEMSは電池メーカーとして培ってきた豊富な経験と技術で産業用リチウムイオン二次電池に関するお客様のご要望に柔軟にお応えします。 ...

メーカー・取り扱い企業： CONNEXX SYSTEMS株式会社
におい嗅ぎガスクロマトグラフ質量分析

「におい」あるいは「におい物質」を分析！様々な方法によって行われていま…

当資料では、「におい嗅ぎガスロマトグラフ質量分析計」についてご紹介しております。におい嗅ぎガスロマトグラフ質量分析計やその構成例、測定結果例を掲載。セントラルラボでは、加熱脱着－におい嗅ぎGC/MSに、におい関連約10万種のライブラリを備えており、別途悪臭防止法に基づく測定も行っております。【掲載内容】 ■におい嗅ぎガスロマトグラフ質量分析計について・官能試験...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人東海技術センター
[TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法

TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。

電子線プローブを走査しながら各点の電子回折パターンを測定することで、高空間分解能な結晶情報を取得できます。この手法では、SEMのEBSD法よりも小さい結晶粒の情報を得ることが可能です。ACOM（Automated Crystal Orientation Mapping）-TEM法とも呼ばれます。結晶粒径解析が可能測定領域の配向測定が可能双晶粒界（対応粒界）の観察が可能特定結晶方...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
レアアース・レアメタル分析のご案内

基盤や部材中の含有量、ばらつき状況などを分析！短時間～一週間ほどで結果…

一般財団法人東海技術センターは『レアアース・レアメタル分析』を承っております。分析業務では、廃棄物から分析用試料を選別。その後、微細部での含有状況をX線分析でスクリーニング分析します。また、定量...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人東海技術センター
質量分析を利用した遺伝子解析法

マスアレイ法

遺伝子解析とは、DNAの塩基配列を読み取り、遺伝子の変異や働きを調べる方法です。本手法では、塩基の質量の違いをMALDI-TOF-MSで分析し、DNA塩基配列を決定します。これによりSNP（一塩基多型）やINDEL（挿入/欠失）、CNV（コピー数多型）等を検出することが可能です。一度に解析できる検体数や検出可能な遺伝子数が多いことが特徴です。 • マルチプレックスPCRとMALDI-TO...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
技術資料『圧縮空気の清浄度測定』

圧縮空気の清浄度に関わる規格・規定された試験方法を紹介した技術資料

技術資料『圧縮空気の清浄度測定』は、医療・製薬関連、食品等の衛生関連や半導体等の高度技術関連のような清浄度の高い圧縮空気を必要とする用途で活用されている、圧縮空気の清浄度測定について掲載した資料です。本資料では「圧縮空気の清浄度に関わる規格、その中に規定された試験方法」を紹介しています。【掲載内容】 ■圧縮空気の清浄度にかかわるJIS規格 ■圧縮空気の清浄等級と測定方法 ■ガス状汚...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ユニケミー
【分析事例】ポリイミド成分の深さ方向分析

TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の深さ方向の評…

ポリイミドは非常に耐熱性が高く電気絶縁性も優れていることから、電子部品をはじめとして様々な分野で用いられている材料です。表面改質を行うことで他の材料との密着性を高めることができることから、改質層の状態を把握することが重要です。今回、有機成分が壊れにくいスパッタ条件にてTOF-SIMS測定を行い、深さ方向にポリイミド成分を評価しました。GCIB（Arクラスター）をスパッタに用いると着目する有機成分を...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】特殊形状試料のSIMS測定

固定方法の工夫により特殊な形状でも分析可能

通常、SIMS測定では数mm角で表面が平坦なチップを用いて分析を行いますが、1mm 角以下の小さなチップや特殊な形状の試料についても固定の前処理を施すことで分析が可能です。微量成分を調べたい試料の中には、微小チップやワイヤー状試料など、通常では分析には適さない形状のものがあります（図1）。このような試料では固定を行った後に分析を行います（図2）。他にも試料の断面や側面、特殊な形状の試料において...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
構造解析サービス

貴社業務推進を解析技術でご支援します

弊社は設立から約40年にわたり、UBEグループ・大阪ガスグループの一員として化学プラントや産業機械など、様々な設備の設計やトラブル対応を解析技術で支援してまいりました。実績ある弊社構造解析技術で、貴社の設計業務をご支援いたします。例えば・・・・新たに設計する機器の応力評価・装置破損に対する早急な原因究明および対策効果...

メーカー・取り扱い企業：株式会社宇部情報システム
【分析事例】熱分解GC/MSダブルショット法による添加剤の同定

TG-DTAとGC/MSを用いた複合解析

TG-DTA（熱重量-示差熱）分析とGC/MS分析を併用することで、最適な温度条件を選んで未知の高分子材料及び含有する揮発性有機化合物をそれぞれ同定することが可能です。市販製品のプラスチック部分の熱分解温度を調べ、熱分解温度以下での緩やかな昇温（熱脱着法）と、その後の高温での瞬間加熱（熱分解法）の2条件でGC/MS測定を連続的に行うこと（ダブルショット法）により、このプラスチックはAS樹脂であり、...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】半導体のイオン化ポテンシャル評価

UPS：紫外光電子分光法

半導体では、価電子帯立ち上がり位置(VBM)と高束縛エネルギー側の立上り位置(Ek(min))より、イオン化ポテンシャルを求めることが可能です。表面有機汚染除去程度のArイオンスパッタクリーニング後に測定を行っています。 ■価電子帯立ち上がり位置(VBM)の決定価電子帯頂点近傍のスペクトルを直線で外挿し、バックグラウンドとの交点を求めます。 ■イオン化ポテンシャルの算出イオン化ポ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】C60,GCIBを用いたアルカリ金属の深さ濃度分布

SiO2膜の不純物の評価

アルカリ金属であるLi,Na,Kは半導体における各種故障原因の要の元素です。これらは測定時に膜中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。今回、スパッタイオン源にC60（フラーレン）とGCIB(Arクラスター)を用いたTOF-SIMSの深さ方向分析を行うことにより、常温下の測定でもアルカリ金属の移動が抑えられることがわかりました。この測定を行うことで...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】STEM,EBSDと像シミュレーションを併用した解析

像シミュレーションを併用した結晶形の評価

高分解能HAADF-STEM像は、結晶の原子配列を反映した画像であることから、種々の結晶方位に対応したSTEM像をシミュレーションすることにより、多結晶体中の結晶粒間の相対方位や観察像の正確な理解に役立ちます。本資料では、多結晶体であるネオジム磁石中の結晶粒について、EBSD法で得た結晶方位の情報からSTEM像をシミュレーションし、実際の高分解能HAADF-STEM像と比較した事例を紹介します...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】高温XRDによる熱分解生成物の同定

昇温しながらXRD測定が可能

材料が昇温に伴って化学反応・相変化を経て結晶構造に変化が起こる場合、昇温しながらXRD測定を行うことが有効です。高温XRD測定を行うことで、硫酸銅五水和物の熱分解生成物の同定を行った事例を紹介します。測定の結果、熱分解が起こる温度で回折ピークが変化し、結晶構造が変化する様子を明瞭に確認できました。 MSTでは昇温しながらOut-of-plane XRD測定・In-plane XRD測定を行うこと...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】SNDMおよびSMMによる拡散層評価

SiCデバイスの拡散層のp/n極性とキャリア濃度分布を評価できます

近年、高耐圧デバイスの材料としてSiCが注目されています。Trench MOSFET構造は素子の高集積化が可能であり、SiCデバイスへの応用展開も進められています。一方、SiCデバイスのドーパント活性化率には課題があり、出来栄え評価が重要となります。今回、SiC Trench MOSFETに関して、SNDM（走査型非線形誘電率顕微鏡）にてキャリア極性判定をSMM（走査型マイクロ波顕微鏡法）にてキ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】Si基板へのAl,Gaの拡散評価

SSDP-SIMSによる高濃度層の影響を避けた測定

コスト低減の観点から、GaNを材料としたパワーデバイスの基板には高抵抗Si基板の活用が期待されています。しかしながら、高温で成膜する際にAl,GaがSi基板表面に拡散してしまうと、低抵抗層が形成されリークの原因と言われております。そこで、Si基板中へのAl,Gaの拡散の有無を評価するため、SIMS分析を行った事例をご紹介します。微量の拡散を正確に評価するため、Si基板側からGaN層に向けて...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】Ramanによる金属部材上の異物分析

微小領域を狙った測定が可能

製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。異物を適切に分析・評価することで、発生原因を究明し、不具合を改善することができます。本資料では、金属部材上に付着した異物の成分をRaman分析により評価した結果をご紹介します。 Ramanは約1μmの微小領域の測定が可能であり、狙った箇所の分子構造や結晶構造に関する情報を得られることから、まばらに存在...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】金属ワイヤー中の不純物評価

SEMと同等の視野で大気成分などの不純物の面内分布を可視化

SIMS分析はウエハや基板以外にも様々な形状の試料に適用可能です。本事例では、ワイヤー中の不純物分布を評価した事例をご紹介します。ワイヤー側面から深さ方向に不純物分布を評価した結果（図2)H、O、F、S、Clなどの不純物プロファイルには深さに応じて強弱があり、ワイヤー中に局在していることが示唆されます。ワイヤー断面の元素マッピングを行った結果（図3）ワイヤー中に不純物が局在している様子を...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】熱履歴を考慮した異物の成分同定

熱履歴を揃えた標準試料の活用提案

ポリプロピレン（PP）などの高分子材料は、大気中で加熱されると大気中の酸素や水分と反応し、分子構造が変化します。そのため、異物や付着物が高分子材料の可能性がある場合、測定サンプルと同じ環境で処理した標準物質を比較データとして用いる必要があります。熱処理（200℃/30分）によってPP標準物質がどのように変化するかを調べるため、FT-IR及びTOFSIMS測定を行いました。...詳しいデータは...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】角度分解XPS（ARXPS）による極薄膜組成分布評価

基板上の極薄膜についてデプスプロファイルを評価可能です

角度分解XPS（ARXPS）はX線照射によって放出される光電子を取出角ごとに検出し、それぞれ検出深さの異なるスペクトルを用いてサンプル表面極近傍のデプスプロファイルを評価する手法です。従来のArイオンスパッタを用いた方法と比較すると、深さ方向分解能が向上し、かつ選択スパッタやミキシングによる組成変化が無いといったメリットがあり、基板上の極薄膜（数nm程度）のデプスプロファイル評価に有効です。本...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】α-アルミナ（α-Al2O3）のTDS分析

セラミックスの昇温脱離ガス分析

熱的に安定なα-アルミナは耐熱材料、半導体パッケージ、半導体製造装置の部品など、幅広い用途で利用されており、中でも緻密質のα-アルミナは真空装置の部材としても用いられます。しかしこのような部材が昇温された際に発生するガスは製品や装置に悪影響を及ぼすことがあるため、部材からの脱ガスについて把握しておくことが重要です。今回、多孔質と緻密質のα-アルミナについて、TDS分析（昇温脱離ガス...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】AESによるボンディング界面の元素分析

加工を併用することで界面の元素分析が可能

AES分析は最表面（～深さ数nm）の組成情報や元素分布を得る手法ですが、断面加工を併用することで、層構造内や構造界面でも同様の情報を得ることができます。合金層や元素拡散・偏析等の評価が可能であるため、デバイスの故障解析や不具合調査等に有効です。以下にワイヤボンディングの接合部界面近傍の状態を評価するため、IP加工にて断面を出し、AES分析により評価した事例をご紹介します。...詳しいデータはカ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】炭素材料のラマンマッピング

試料面内における炭素の結晶状態分布を評価可能です

工業部品や医薬器具など幅広く使用されている炭素材料は構造・結晶性によって異なる性質を持つため、その状態を評価することが重要です。本資料では、高感度・高空間分解能のRaman（ラマン分光法）を用いた評価事例をご紹介します。炭素材料であるグラファイトの結晶状態分布を、マッピングにより可視化しました。欠陥量の多い・少ないを視覚的に捉えることができています。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【MFM】磁気力顕微鏡法

MFMは、磁性膜でコートされたプローブを用いて、サンプル表面近傍に生じ…

・サンプルの磁気特性の情報を定性的に取得可能・漏洩磁場による引力・斥力をイメージング可能・漏洩磁場の勾配の大きさに比例した磁気力の信号を得られるが、定量評価は不可・AFM像の取得も同時に取得可能...詳しいデータはカタログをご覧ください...

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【分析事例】FT-IRによる樹脂の硬化反応評価(3)

官能基の変化を捉えることで樹脂の硬化度を評価することが可能です

耐薬品性や電気絶縁性などに優れている樹脂は、様々な電子部品の絶縁体、コーティング剤、接着剤として利用されています。FT-IR分析は、樹脂の硬化度等の不良原因を調査することが可能で、製品開発に有効です。一例として、UV硬化樹脂（紫外線硬化樹脂）の硬化度を評価した事例をご紹介します。接着剤における紫外線照射時間の検討や、製品に剥離が発生した際の硬化状態の評価に有効です。...詳しいデータはカタ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】劣化の激しい有機材料の状態評価

雰囲気制御下でのサンプリングで材料の正確な評価が可能です

有機ELは自発光原理による高輝度、高精細カラー、薄型化等の利点があり、次世代デバイスの一つとして期待されています。特性向上、長寿命化、信頼性向上等には材料の正確な解析・評価が重要ですが、非常に活性な材料が使用されているため取り扱いには注意が必要です。大気暴露したサンプルと高純度アルゴン雰囲気下で取り扱ったサンプルの比較から、大気暴露で見られる酸化（分子イオン+O,+OH等）が高純度アルゴン雰囲気中...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】XPSによるDLCの評価

C1s波形解析を使用したsp2/(sp2+sp3)比の評価

高硬度・高耐摩耗性等の特長から、幅広い分野で活用されてるDLC（ダイヤモンドライクカーボン）膜は、グラファイトとダイヤモンドの中間に位置した材料であり、膜中のsp2（グラファイト構造）とsp3（ダイヤモンド構造）を分離して求められるsp2/(sp2+sp3)比は、膜の特性を決定する重要な要因の一つとなります。このsp2/(sp2+sp3)比について、XPSのC1sスペクトルを波形解析することで...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】Li二次電池負極の充放電サイクル試験後の劣化評価

電池セルの作製から充放電サイクル試験から解体、劣化成分量の調査まで

二次電池の劣化のメカニズムを調べる際に、電極表面の付着物を解析することが重要となっています。MSTではサンプルを雰囲気制御下でTOF-SIMS測定を行いますので、電極最表面の化学状態を大気暴露による変質無く評価することが可能です。また、充放電サイクル試験から電極表面の測定まで一貫して行うことで、充放電の状態と電極表面の付着物の状態の相関を調べることができます。...詳しいデータはカタログをご覧...

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【分析事例】SiC基板におけるSSDP-SIMS分析

SiC基板側からドーパント濃度プロファイルを取得可能

SiCパワーMOS FET（図１）において、ゲートパッド部下のSiC中にてドーパント元素であるAlの濃度分布を素子表面側から及び裏面側からSIMSで評価しました（図２）。分析を進める方向に関係なく深さ約0.5μm以降の分布もよく一致することから、Alの濃度分布の広がりは測定起因でなく実際の元素分布を反映しているものと考えられます。 SiCなどの加工の難しい硬質基板でも、SSDP-SIMS分析...

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【分析事例】SiN膜中の金属汚染評価

ICP-MSによる高感度分析

Siウエハ上のSiN膜（Si3N4）を溶解した溶液中には、着目している不純物金属元素以外に膜由来のSiマトリックスが含まれています。そのため、溶解した溶液そのものでは精度よく高感度分析ができません。そこで、Siウエハ上のSiN膜を溶解後、別途処理を施すことでSiマトリックスの影響なくSiN膜中不純物金属元素の分析を可能としました。市販品のSiN膜付きSiウエハを用いてICP-MSによる高感度分...

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【分析事例】XPSによるμmオーダーの深さ方向分析

数μmの深さまで深さ方向分析を行います

XPSは表面敏感な手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能です。 XPSでは深さ方向の組成分布に加えて結合状態の評価も可能なため、装置部材表面の変色の原因調査などに適しています。本資料ではターボ分子ポンプの羽の変色部について、XPSで評価した事例を紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

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【分析事例】溶液中の金属量調査

純水やウエハ洗浄液等、様々な溶液の高感度分析が可能です

ウエハ洗浄工程で使用した洗浄液中の金属量や、装置や建屋に併設された配管内を通る純水中の金属量など、ICP-MSは溶液中の金属量を高感度に分析することができます。また、溶液の種類も純水・酸・アルカリ等、各種対応でき、分析する金属元素の濃度領域はpptオーダーから主成分レベルまで幅広く対応することが可能です。本資料では市販されている各溶液に含まれる金属量を調査した事例をご紹介します。...詳しいデータ...

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【分析事例】有機EL素子積層膜の膜密度・膜厚測定

X線反射率測定（XRR）で膜厚・密度の分析が非破壊で可能です

有機ELディスプレイは自発光原理による高輝度、高精細カラー、薄型化等の利点を活かし、実用化が進みつつあります。有機ELデバイスは有機膜を積層させて作製しますが、有機膜積層状態での有機膜分析を行うことは困難でした。今回、XRR法を用いることによって、積層状態のまま、有機膜の膜厚測定および密度測定を行うことが可能となりました。結晶質、非晶質を問わず、積層膜の膜厚および密度の分析が可能です。...詳...

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【分析事例】ポリカーボネートの劣化層の評価

GCIB（Arクラスター）を用いることで劣化層の膜厚を評価することが可…

ポリカーボネート（PC）は熱可塑性プラスチックの一種であり、優れた透明性・耐衝撃性・耐熱性などの特長をもち、太陽電池パネル・メガネレンズ･CD・車載部品・医療機器の材料として、幅広く活用されております。今回、スパッタイオンビームにGCIB（Arクラスター）を用いてTOF-SIMS分析を行い、PC表面の劣化層の評価を行いました。 ※GCIB：Gas Cluster Ion Beam...詳しいデー...

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【分析事例】TDSによるグラフェンの脱ガス分析

炭素材料中の官能基や不純物などに起因する脱ガスについて評価可能です

グラフェンの電子放出素子への応用や、カーボンナノチューブへの水素貯蔵など、炭素材料は真空中での用途が増えてきています。そのため真空中での炭素材料からの脱ガスを評価することは、今後の炭素材料の応用の上で重要なポイントとなります。本事例では真空中において試料からの脱ガスが評価できるTDS（昇温脱離ガス分析法）でグラフェンからの脱ガス分析を実施した事例を紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧...

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【分析事例】XPS・AESによる深さ方向分析の比較

XPS：X線光電子分光法　AES：オージェ電子分光法

XPSとAESは表面敏感な分析手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能となります。深さ方向分析を行うにあたり、測定したい領域やサンプルの材質に応じてXPSとAESを適切に使い分けることが、目的に沿った分析を行う上で重要です。 XPSとAESの深さ方向分析の特徴について、SUS不動態膜の分析を例として比較します。...詳しいデータは...

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【分析事例】XPSによるGaN膜の組成・結合状態評価

目的に合わせた測定条件で評価を行います

LEDやパワーデバイスに用いられるGaN膜について、XPSを用いて組成・結合状態を評価した例を紹介します。成膜条件や表面処理等により、組成や結合状態がどのように変わるのかを把握しておくことは、プロセス管理等に有効です。評価の際は、目的に応じて使用するX線を適切に選択することが重要です。着目ごとの測定条件を併せてご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

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【分析事例】ソフトマテリアルの断面観察と元素分析

クライオSEM観察-EDX分析で溶液試料の構造を直接評価

熱に弱い有機材料や液体試料の内部構造を観察・分析するには、加工や電子線照射による温度上昇を抑え、試料本来の構造を保ったまま一連の分析を行う必要があります。本事例では化粧品を評価サンプルとし、冷却環境を維持したまま断面FIB加工・SEM観察・EDX分析までの構造分析を行った事例をご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

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