『紫外線洗浄・改質ガイド』※仕組、評価方法、アプリケーション例も

PR電子部品製造等における洗浄工程の改善ヒントに！初心者にもわかりやすく解…

「紫外線による洗浄・改質技術」は、電子部品、半導体、光学製品などの 製造プロセスで幅広く活用され、ガラス、樹脂、金属などの各種素材に 密着度や親水性の向上、濡れ性改善などの様々な効果を生み出す技術です。 【紫外線洗浄改質の特徴】 ・大気中での処理が可能なドライプロセス ・製品表面へのダメージが極めて少ない（材料・条件による） ・様々な形状や大きさの製品に対応可能 『紫外線洗浄...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

法規制に非該当でも高性能な洗浄剤『ＡＭＯＬＥＡ ＡＳ-３００』

PR『ＡＭＯＬＥＡ（アモレア）』は乾燥工程が短縮でき、不燃性で作業環境濃度…

「地球」を考える「化学」の時代。ＡＧＣが提案する新製品！フッ素系溶剤『ＡＭＯＬＥＡ（アモレア）ＡＳ-３００』は、各種法規制や環境規制に非該当、安全で使いやすい不燃のフッ素系洗浄剤です。 【特長】 ■環境対応…地球温暖化係数（ＧＷＰ）１未満で、地球環境に配慮した洗浄剤です。 ■洗浄力…ＫＢ値４８の優れた洗浄力で、精密・金属部品の脱脂洗浄に使用可能。可燃性溶剤や臭素系、塩素系溶剤の代替として...

メーカー・取り扱い企業： ＡＧＣ株式会社 化学品カンパニー

製作実績／半導体製造装置 関連部品

最短半日見積り／金属部品から樹脂製品まで、半導体製造装置に関わる部品を…

（1）精密整列パレット（SUS430） ステンレス材を指定された為、バリが出やすかったのですが、 加工方法と刃物の選定で最小限に留め、仕上げ処置で規定通りにバリをゼロに仕上げました。 （2）ウェハー保管用ケース（４弗化テフロン／PTFE） 歪みも公差ズレも無く、しっかりとウェハーを整列させ、 尚且つ傷付ける事も無い完璧な仕上がりです。 （3）真空チャック用先端部（A5052） 傷、打痕不可で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。 処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、2"□～5"□基板又はφ2"～φ5"基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

エッチング装置（1）

搬送速度は5.0m／min、材料幅は310mmまで対応！金属箔（ALな…

当装置は、金属箔（ALなど）の表面をエッチングする装置です。 搬送速度は5.0m／min、材料幅は310mmまで対応。 装置は、巻出～エッチング処理～洗浄～乾燥～巻取の構成と なっております。 薄物で非常に脆弱な機材を当社の低テンション搬送技術により、 キズ・シワなく搬送し連続処理を行います。 【仕様】 ■Lane構成：1Lane ■材料厚み：20μm～ ■加工面：片...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計（従来機から約40％コンパクト化） レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用するこ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

【提供技術】バフ研磨

ほとんどを試行錯誤で内作！設計、製作、機械加工、溶接、電解、洗浄の工程…

バフ研磨は、様々な装置の金属加工品などの表面処理で利用 れるため、高い技術力が求められています。 当社では、昭和23年創業以来バフ研磨一筋に、研磨治具、回転機、 シャフト類、回転工具のほとんどを試行錯誤で内作。 これにより研磨出来ない箇所を極力なくし、コンタミのない洗浄性 の良い製品の製作と金属の素材を美しく・滑らかに仕上げることに 重点を置いています。 設計、製作、機械...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社酒井ステンレス 京浜島第一工場

【潤滑剤・めっきを使用せずに焼付固着を防止】SDCクリーンボルト

独自の技術であるSDCプラズマ表面硬化処理により、潤滑剤・めっきを使用…

不純物を極力嫌う半導体製造装置やクリーンルーム内、食品・飲料関係、医薬品・化粧品関係の製造装置や配管部では、ボルト・ナットに潤滑剤やめっき・コーティングなどの焼付き防止対策が使用できないことがあります。一般のステンレス鋼製ボルト・ナットはアウトガス発生の恐れもあり、化学研磨されたものも使用されますが、締付け時に焼付き固着を起こしやすいという問題が発生します。そこで弊社は自社技術の「ＳＤＣプラズマ表...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＣ田中

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型

φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付

MSC-300型は、φ2"～φ6"基板対応のディスペンサー付卓上型マニュアル式スピンコーターです。ディスペンスアームを2本備え自動で塗布できます。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ディスペンサー付 ○φ2"～φ6"基板対応 ○卓上型マニュアル式 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-500型

300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式！

MSC-500型は、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式スピンコーターです。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式 【仕様】 ○外形寸法：W550×D550×H358 ○モーター：750...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ナノインコーター(離型剤塗布装置)　NIC-1106

4inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)

本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。...【主仕様】 1.ストローク 140mm 2.対象サイズ 4inch 3.対象材質 ウエハー 4.ディップ速度 0....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

半導体製造装置　自動レジスト剥離装置

【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれて…

本機はレジスト剥離装置になります。 ローダーにセットされたカセットをロボットが自動的に搬送し、各処理工程を経た後、温風ブロー/スピンドライヤーで乾燥し、アンローダーに払い出す装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○レジスト剥離装置 ○ローダーにセットされたカセットをロボットが自動的に搬送 ○各処理工程を経由 ○温風ブロー/スピンドライヤーで乾燥 ○アンローダーに払い...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

エッチング装置　半自動ウエハーエッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エ…

本機はウエハーの洗浄、エッチング処理を行う装置です。 カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ウエハーの洗浄、エッチング処理を実行 ○カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチング ○製造からアフターフォロー、カスタマイズもお任せ下さい ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

超音波の非線形スイープ発振制御技術

オリジナル超音波システムの開発技術

超音波システム研究所（所在地：東京都八王子市）は、 表面弾性波の非線形振動現象を利用した 新しい超音波の非線形スイープ発振制御技術を開発しました。 複雑な振動状態について、 　１）線形現象と非線形現象 　２）相互作用と各種部材の音響特性 　３）音と超音波と表面弾性波 　４）低周波と高周波（高調波と低調波） 　５）発振波形と出力バランス 　６）発振制御と共振現象 　・・・ ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...スイングアームの仕様は、ケミカル、ブラシ、2流体ジェット、メガソニック等の各種処理アイテムの中から各チャンバー2系統お選び頂けます。本体両側面に薬液供給タンク又は廃...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

大容量真空プラズマ装置：YHS-MS

大きなサンプル・大量のサンプルの表面改質・洗浄にお使い頂けます♪

樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決！ 本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力調整が設置されており様々な条件で照射が可能です♪ 電極（棚）サイズは400mmです。...プラズマ装置国産メーカー『魁半導体』 20...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜ保護が必要なのか？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

可変速モーター、パソコン、電磁開閉器、高圧放電ランプ、 マグネット・スイッチ付きモーターなどが瞬時電圧低下の影響を受けて 動作に支障をきたす可能性があります。 シリコンメーカ様では研磨、エッチング、洗浄工程等で影響を受ける 可能性があり、デバイスメーカ様ではCVD、スパッタ、フォトリソ、 エッチング、イオン注入、拡散、洗浄工程での影響が想定されます。 このため半導体の製造設備に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー