法規制に非該当でも高性能な洗浄剤『ＡＭＯＬＥＡ ＡＳ-３００』

PR『ＡＭＯＬＥＡ（アモレア）』は乾燥工程が短縮でき、不燃性で作業環境濃度…

「地球」を考える「化学」の時代。ＡＧＣが提案する新製品！フッ素系溶剤『ＡＭＯＬＥＡ（アモレア）ＡＳ-３００』は、各種法規制や環境規制に非該当、安全で使いやすい不燃のフッ素系洗浄剤です。 【特長】 ■環境対応…地球温暖化係数（ＧＷＰ）１未満で、地球環境に配慮した洗浄剤です。 ■洗浄力…ＫＢ値４８の優れた洗浄力で、精密・金属部品の脱脂洗浄に使用可能。可燃性溶剤や臭素系、塩素系溶剤の代替として...

メーカー・取り扱い企業： ＡＧＣ株式会社 化学品カンパニー

デジタル孔版印刷機　『DSMプリンター02』

PR段ボール印刷を効率化！折り畳んだ段ボールに印刷。孔版印刷の原理で高精細…

『DSMプリンター02』は、折り畳んだままの 段ボールに簡単に印刷できる段ボール用印刷機です。 孔版印刷（ガリ版印刷）の原理を応用し、製版からプリントまで わずか約2分で完了。版は特殊感熱紙を使用し、1回の製版で 200枚程度のプリントが可能で、版換えも全自動です。 水性インクでありながら、黒が灰色にならず、 くっきりとした黒を実現しています。 【特長】 ■折り畳んだ段...

メーカー・取り扱い企業： 篠田商事株式会社

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 酸・アルカリなどのガスを適切に処理。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

セミオートレジストコーター

レジストコート剤の粘度に応じた好適加速度選択が可能！メンテ性にも気配り…

当社で取扱う小型レジストコータのご紹介です。 ガラス基板にレジストコート材をスピンナーにより塗布処理。 チャンバー内気流制御、メンテ性にも気配りをしており、 レジストコート剤の粘度に応じた、好適加速度選択が可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、スピン洗浄装置、スピンコーター、半導体製造装置、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

研究開発用装置　成膜装置･グローブボックス

有機ELデバイス開発などに適した研究開発用装置を紹介します。

当社では、大気にさらすことなく連続処理が可能な 『研究開発用装置　成膜装置･グローブボックス』を設計・製造・販売しております GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、 基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。 KOREA KIYON製 不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で 水分、酸素量が1ppm以下に保たれる...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

【ブラスト工法】負圧吸引式ブラスト

“トルネード吸引”という新発想が､ブラスト加工の常識を根底から覆します…

『負圧吸引式ブラスト』は、開放端側からエア吸引を行い、他端より研磨材を 乱流吸引させて、製品内部の研掃を行うブラスト工法です。 負圧吸引により、ワーク全てに等速で砥粒が衝突。安定した旋回流を発生させ、 遠心力にて内面を確実に捉え研磨します。 手間のかかる従来技術の代替処理として、重要でありながら人材不足になりやすい 分野の自動化・ファクトリーオートメーションを担う、粉じんの出ない...

メーカー・取り扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング…

● 大気圧作動であるため真空システムが不要 ● コンパクト設計 ● 操作が簡単、メンテナンスが容易 ● 低コスト...UV-1は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

水素プラズマクリーニング装置（イオンクリーニングタイプ）

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効…

多用途に実績豊富なプラズマクリーニング装置に新タイプ登場。 従来のプラズマによる表面洗浄機能に加え、水素プラズマによる還元洗浄機能を実現。 今まで以上に表面酸化層の除去能力が向上し、クリーニング後の基板の親水性も大きく向上。 従来と同じプラズマクリーニングにも当然対応。さらに従来のＡｒプラズマクリーニングとの複合クリーニングやＯ２（酸素）クリーニングとの2段階ステップクリーニングなど新たなク...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

エッチング装置　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄

ソフトエッチング・小径穴洗浄ラインは、理想的なノズル配置により技群の面精度を実現したエッチング装置です。直進性の高いスリットで小径孔を洗浄し、高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施します。板厚50μmのワークも搬送可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○理想的なノズル配置により技群の面精度を実現 ○直進性の高いスリットで小径孔を洗浄 ○高精度エ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

エッチング装置　スプレー式ウエハーエッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾…

スプレー式ウエハーエッチング装置は、一連の洗浄・エッチング処理を行い、その後、純水処理・乾燥までを処理する装置です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○一連の洗浄・エッチング処理実行 ○その後、純水処理・乾燥までを処理 ○製造からアフターフォロー、カスタマイズもお任せ下さい ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

洗浄装置　小型簡易枚葉式洗浄装置

低価格、しかも高性能なWet処理装置のことなら、弊社にお任せください。

株式会社ＭＴＫより、LED・半導体・MEMS製造用『Wet処理装置』のご案内です。...【特徴】 ○高プロセス性能（パーティクル数など） ○低価格 ○オゾン水、水素水などの機能水にも対応。 ○2流体ジェットなど物理洗浄にも対応。 ○2インチなど小口径にも対応します。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＭＴＫ

【国産】真空プラズマ装置(49万)大気圧プラズマ装置(34万)

表面改質・洗浄に優れた低温電荷ダメージ無し！真空・大気圧プラズマを安価…

詳しくはカタログをダウンロード下さい。 『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます！ 【実用例】 ・異材料の接着力を強化　　有機薄膜の除去　　ガラスの洗浄 ・フィルムの接着強化　　　電子部品の洗浄　　薄膜の密着強化 ・各種塗工の濡れ性U...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します

ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます ■キャリアレス搬送...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

半導体製造装置　マスク自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションに…

本機はローダーに収納されたマスクを自動的に搬送し、各処理槽を経てアンローダーに収納する装置です。 バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ローダーに収納されたマスクを自動的に搬送 ○各処理槽を経てアンローダーに収納 ○バッチタイプ、スクラブ洗浄等、多彩なオプションにて対応 ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

超臨界流体洗浄・乾燥装置

微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥を行うことが可能

従来の「液化二酸化炭素で置換する工程」を「超臨界二酸化炭素で置換する工程」に置き換えたことにより… ●ポンプにより圧送される液化二酸化炭素を予備加熱することで粘性の低い超臨界流体としてチャンバーに導入するため、ナノレベルの微細構造物に対してもダメージの少ない洗浄・乾燥が行えます。 ●チャンバーの冷却、加温という温度サイクルがなく一定温度での洗浄・乾燥が行えるめ、処理時間の短縮が可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レクザム 香川工場

エッチング装置　ウエハ洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理す…

本機は手動でカセットの入ったバスケットをハンガーに取付、処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置になります。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○手動でカセットの入ったバスケットをハンガーに取付 ○処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置 ○製造からアフターフォロー、カスタマイズもお任せ下さい ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

真空容器事例「小型実験用チャンバー」

真空容器事例「小型実験用チャンバー」

真空容器製作事例 《フレキシブルな受注範囲》 チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含む ユニットとしての対応が可能 《幅広い製作範囲》 材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他) 《グレードに応じた表面処理》 1、酸洗浄：低コスト 2、電解研磨：SMC洗浄、サスピカ、アルピカの高グレード対応可能 3、バフ研磨、各種めっき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

小型回転式真空プラズマ装置 『MUG-80』

一括処理で時間短縮&コスト削減！　少量の粉体・微小な部材の表面改質に！

ご要望の多かった、回転式卓上プラズマ装置の小型版がついに登場！ 『粉体や固体全面』など様々な材料の『親水化』『洗浄』『密着強化』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂ける回転式真空プラズマ装置！ 通常のプラズマ装置はサンプルとプラズマが触れていない底面などの接触部分は処理できず裏返す工程が必要となっていました。 本製品はチャンバーが回転する事によりサンプル全...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

オプションでオゾン水（20ppm）やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。 その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。...Ｒ＆Ｄ用途に最適な コンパクトなスピン洗浄装置です。 チャックテーブルの交換により 多種多様な基板を洗浄できます。 ＜主な仕様＞ 対応ワークサイズ ウエハ　φ8インチ（MAX） マスク　6...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

バッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）

微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応　省…

高密度プラズマ（SWP）による強還元性H2ラジカルによりフラックスフリーのバンプリフローを実現。 フラックスの塗布・洗浄工程を削減。リフロー前後のウェット工程を削減。ウェット装置のスペース・処理・ユーティリティーを削減する省エネ・省スペース・クリーンプロセス。 ３００ｍｍウェハ対応の処理ステージによる最先端量産プロセスをバッチタイプのハードで小径基板のニッチデバイスに対応 短タクトのバッチ処...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

精密洗浄

超純水（18MΩ・cm）での精密洗浄により、お客様の製品の品質向上及び…

難分解性の有機物や、カルシウム・カリウム・ナトリウム・塩素など、分子レベルの汚れを除去致します。 【用途】 ・半導体関連部品 ・有機EL装置関連部品 ・医薬品関連部品　など...【精密洗浄工程】 脱脂洗浄（60℃） →市水洗浄→純水洗浄→超純水洗浄→超純水超音波洗浄（60℃） ※『電解研磨』『不動態化』などの処理を追加することも勿論可能です 電気抵抗率（比抵抗）：18MΩ・c...

メーカー・取り扱い企業： 東陽理化学株式会社

熱はく離シート 「リバアルファ」

加熱することで用意にはく離が可能になる粘着シート。しっかり固定しても熱…

Nittoの熱はく離シート「リバアルファ」は、常温では粘着力があり、加熱するだけで簡単にはがすことができるユニークな粘着シートです。 電子部品の各種製造工程で自動化・省人化に大きく貢献しています。 ■熱はく離とは 各種部品やデバイスの加工時には強固に接着し、加熱処理後は接着力がなくなり自然にはく離できることが望まれるプロセスをターゲットとして開発されました。常温では通常の粘着シートと同じ...

メーカー・取り扱い企業： 日東エルマテリアル株式会社

【総合カタログ】フラックスレスリフロー装置　ＲＦシリーズ

ウエハ上のはんだ成形から半導体チップのはんだ付け、さらにはパワーデバイ…

「フラックスレスリフロー装置　ＲＦシリーズ」は、フラックスを使用せず 減圧下でリフローを行うことができます。 従来のフラックスを用いたリフロープロセスに比べフラックスの塗布、 洗浄工程が不要になり約50％コストを削減でき、装置設置スペースも 1/3程度にすることが可能です。 また、フラックス洗浄時に発生していたCO2を約30％削減し、 環境負荷の低減に貢献できます。 また、真空プロセ...

メーカー・取り扱い企業： アユミ工業株式会社

ＬＣＤ基板高圧洗浄装置

ＬＣＤ基板高圧洗浄装置

高精度クリーンエアーナイフシステムの採用により、水滴残りやしみの無い最適の液切り状態を実現しました。さまざまな洗浄ツールの組み合わせが可能です。...ミクロンレベル微小液滴の高速噴射により薬液処理後のリンスなどに効率良く高い洗浄効果が得られ、ライン長の短縮が図れます。その他洗浄ツールも搭載可能（超音波ディップ、メガシャワー、アルカリ、酸、機能水洗浄）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off

短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…

研究開発用途で活躍するマニュアルリフトオフ装置をご紹介します！ アセトンや専用剥離液で一晩浸漬した後に超音波やスプレーでリフトオフをするような長時間工程を短くできます。 当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高剥離力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 さらに、弊社独自の温調膨潤と高圧ジェットの組み合わせで処理時間を24時間→3minに減らした事...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スピン洗浄装置　スプレー現像装置

【デモ機貸し出し可能！】一度に数枚のワークを処理できます

本機はスピン式のスプレー現像装置で、自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、乾燥を行います。 一度に数枚のワークを処理できます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○スピン式のスプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、乾燥を実行 ○一度に数枚のワークを処理可能 ○現像液は予めタンクで電子冷熱機により恒温に保たれポンプで循...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

半導体関連装置　バッチ式洗浄装置

5,6インチ共用カセットレス処理

架台のユニット化により、現場での復帰作業の効率化を実現。装置コンフィング等の大掛かりな改造も短時間での現場工事が可能。...【特徴】 ○オートハンドラーによる枚数ロット同時処理 ○各槽温度コントロール機能付 ○鏡面反転機構 ○ハーフピッチ処理対応 ○ファイナル槽に比抵抗値モニタリング ●詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： セファテクノロジー株式会社 京都事業所

大容量・小型　ステンレス製電磁弁

安価で高品質の2・3・4WAY電磁弁

ート材質をニーズに合せて提供できる 　 （材質：テフロン、バイトン、パーフロロエラストマー、シリコン等） ■耐腐食性、シール性に優れている ■スチーム等の高温仕様には、Hコイルを採用し、内部洗浄処理等で対応可能 ■詳細は最下部のアンケートからお問い合わせ下さい■...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンマシナリー株式会社

スピン洗浄装置　スプレー現像装置 SD-8004型

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！

SD-8004型は、4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

キャリア＆キャリア収納BOX洗浄装置

キャリア＆キャリア収納BOX洗浄装置

キャリアやキャリアを収納するBOX等を 洗浄する装置です。 ...ウエハー処理用キャリア、搬送用キャリア、キャリア収納BOXの洗浄に対応。 キャリアサイズ、収納個数等、仕様に応じ製作致します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エムテクノロジー 京都本社

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度の...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

連続電気再生式イオン交換スタックE-Cell

酸/アルカリによる再生処理が不要で、環境に優しい純水製造を実現する。

E-CellはGE Water & Process Technologies社の連続電気再生式イオン交換EDIスタックです。RO処理で残留しているイオン性不純物を除去し、超純水に求められる絶対的なスペックを実現します。E-Cellはイオン交換樹脂のように酸/アルカリによる再生処理が不要で、強酸/強アルカリの廃棄物を無くし、環境に優しい純水製造を実現します。全てのE-Cellスタックは、CEマーク、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンコー

表面処理に最適！真空・大気圧プラズマ製品総合カタログプレゼント！

接着強化・濡れ性向上・洗浄効果有り、薄膜形成や各種接合・塗装・メッキの…

国産プラズマ装置メーカー『魁半導体』。プラズマは、薄膜形成や各種接合・塗装・メッキの前処理などの表面処理、その他、バイオ、医療分野に最適です。PEN型大気圧プラズマ、大気圧プラズマシリーズ、卓上真空プラズマ装置、粉体プラズマなどをラインナップしております。株式会社魁半導体は国内でも少ない国産プラズマ装置メーカーで、”ニーズの発掘によって、シーズを提供する”を理念に日夜努力しております。難しい注文を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

半導体関連装置 「ウェット式エッチング装置」

ドラフト構造でクリーンルーム仕様！エッチング処理やレジスト除去する装置

「ウェット式エッチング装置」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。 発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能。 使用不可となった薬液（フッ酸、 塩化鉄）と、有機溶剤（アセトン）は付設の専用タンクへ一括排出します。 クリーンルームでも使用できるドラフト構造です。 【...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社

応用例付きプラズマ技術資料　無償ダウンロード！

基板、樹脂、粉体、医療、半導体…。あらゆる分野で使えるプラズマ技術の応…

当社の「プラズマ表面処理技術」をまとめた技術資料を無償配布中です。 プリント基板、フィルム、樹脂、粉体、医療、半導体後工程といった 分野を問わず活用できるプラズマ装置。 剥離、有機物除去、表面改質・洗浄など幅広い分野に活用できる技術を 用途例と合わせて解説しています。 【応用例の概要】 ■フッ素系樹脂への親水化処理 ■プリント基板のデスミア処理 ■金属ナノインクへの低温...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

株式会社エイブルジャパン　取扱製品 総合カタログ

フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。

株式会社エイブルジャパン　取扱製品 総合カタログでは、中央に搬送ロボットを設置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプの「マスク洗浄装置（自動タイプ）」や、投入された基板に自動で塗布～乾燥まで行う装置「オートスピンコーター」、ウェハーの洗浄を行う装置「スピンクリーナー」、カセット内の基板受渡しを行う装置「LD／ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、多数掲載しています。 【掲...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイブルジャパン

ペン型大気圧プラズマ装置P500-SM

【国産】超小型、微細な加工やラボ用途に適した、ペン型タイプの大気圧プラ…

洗浄・表面改質・親水化・接着強化に優れた、ペン型タイプの大気圧プラズマ装置の販売・レンタル・受託をおこなっております。 【特徴】 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によってはサンプル表面を40℃程度に。) ■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。 ■窒素のみを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

小型マルチスピンプロセッサー　エッチング・洗浄・現像

スキャン時には周速制御による均一性向上も可能！従来より多数の御使用を戴…

現像、エッチング、リンス、乾燥と一連のパターニング処理を 従来型のSpinにて行う装置のご紹介です。 基板品種により現像､エッチングの処理時スプレー又はパドルの レシピ選択ができ、スキャン時には周速制御による均一性向上も可能。 本機は低コストで、従来より多数の御使用を戴き実績も豊富ですが、 循環再利用のプロセスには2チャンバーでの対応が必要となります。 廃液・排水、排気のき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

ITOガラスエッチング剥離装置

簡易な槽内洗浄が可能！装置内の数か所に基板蛇行修正機構を取り入れていま…

『ITOガラスエッチング剥離装置』は、ガラス基材表面のITO（透明導電性膜）を エッチングする製品です。 駆動部の簡易洗浄ノズル管により、駆動ギアの結晶防止機能を持たせており、 薬液槽内にも洗浄スプレーを設けることで簡易な槽内洗浄が可能。 メンテナンス性が向上します。 また、装置内の数か所に基板蛇行修正機構を取り入れることで、 搬送性能を高めています。 【特長】 ■ガラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーア電子

有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

有機EL成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。...【特徴】 ・3軸ロボット機構にて、マスク及び試料搬...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式…

卓上型マニュアルスピンコーターは、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です。 条件設定は操作パネルのタッチパネルで行います。 各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式 ○条件設定は操作パネルのタッチパネルで実行 ○各処理モード中はタッチパネル上に各モード表示 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

半導体製造装置用部品　機械加工サービス

半導体製造装置関連部品で国内外に実績あり

当社では、半導体製造装置用部品の機械加工を行っています。 表面処理や精密洗浄を手掛ける協力企業とのネットワークを構築しており、 材料購入から表面処理、精密洗浄まで請け負う体制を整えております。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■昨今需要のある半導体事業 ■国内外に実績がある ■大手との取引実績 ■更なる営業展開を計画 ※詳しくはPDFをダウ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社星ビジネスサポート

レアメタルの加工サービス

タングステン・モリブデン・タンタル等の加工を、試作から量産まで対応

　タングステン・モリブデン・タンタル・チタン・ニッケル・ステンレス・アルミ等、試作品から量産品まで幅広く各種加工を行っております。 　また、加工後の脱脂洗浄・ブラスト・電解研磨・熱処理・メッキ加工等、ご要望に応じた処理まで対応致します。...　タングステン・モリブデン・タンタル・チタン・ニッケル・ステンレス・アルミ等、試作品から量産品まで幅広く各種加工を行っております。 　また、加工後...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クラフト

磁気研磨機『プリティック』

金属部品から硬質プラスチックまで可能！微細・微小バリ除去と精密研磨がで…

『プリティック』は、バリ取りエッジ仕上げ加工に好適な磁気研磨機です。 金属部品から硬質プラスチックまで可能。 複雑な形状や精度の高いものでも研磨いたします。 磁性体メディアの高速回転から生ずるエネルギーで、微細・微小バリ除去と 超精密研磨が変形なく仕上がります。 【特長】 ■卓越したバリ除去 ■磨き仕上げに ■安全性 ■低コスト ■洗浄仕上げ ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： 東和機械株式会社

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

BATCHSPRAY Acid/Clean Autoload

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

この3チャンバーシステムは、特許取得済みのリテイナーコーム処理システムを使用することで、あらゆるタイプのウェットエッチングプロセスと洗浄アプリケーションに対応しています。酸/洗浄の組み合わせにより、高いプロセスの柔軟性と高いスループットを達成できます。過酸化物や硫酸の代わりにSicOzoneを使用して洗浄やレジストストリッピングのようなサステナブルなプロセスを行うことで、化学物質や脱イオン水の消費...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社

薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

大村技研の『フォトリソグラフィープロセス装置』は、薄膜電子部品工程 における一連のプロセスを高精度高信頼性で提供するシステムです。 洗浄・コーター・現像・剥離・エッチングなどの生産設備および 研究開発向けの設備を提供します。 「全自動スピンエッチング装置」は、ウエハを1枚ずつ取り出し、 自転させながら薬液を吹き付け、エッチングから乾燥までを 自動処理する装置です。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社