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PR【洗浄でお困りの方必見】金属部品の脱脂・洗浄工程における品質不良の低減…
洗浄の基礎知識が学べる小冊子『もう失敗しない洗浄機選定』を無料でダウンロード頂けます。 洗浄機選定や洗浄工程でお困りの方に役立つ資料です。 洗浄とはという基本的なところから、洗浄剤の種類、洗浄方法などを掲載しています。洗浄についての技術相談も承っております。 ご希望の方はお問合せからお願いします。 【掲載内容】 ■洗浄とは? ■洗浄剤の種類と選定方法は? ■洗浄機での洗浄方法...
メーカー・取り扱い企業: 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材 販売及び受託加工
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法規制に非該当でも高性能な洗浄剤『AMOLEA AS-300』
PR『AMOLEA(アモレア)』は乾燥工程が短縮でき、不燃性で作業環境濃度…
「地球」を考える「化学」の時代。AGCが提案する新製品!フッ素系溶剤『AMOLEA(アモレア)AS-300』は、各種法規制や環境規制に非該当、安全で使いやすい不燃のフッ素系洗浄剤です。 【特長】 ■環境対応…地球温暖化係数(GWP)1未満で、地球環境に配慮した洗浄剤です。 ■洗浄力…KB値48の優れた洗浄力で、精密・金属部品の脱脂洗浄に使用可能。可燃性溶剤や臭素系、塩素系溶剤の代替として...
メーカー・取り扱い企業: AGC株式会社 化学品カンパニー
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シングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…
『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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高圧パルスジェット DP-Gun マスク・ガラス・ウェハー洗浄に
同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰…
使用する水の量が少なく水膜のできにくい 既存装置にも後付可能な洗浄ノズルユニット 最大30Hzで駆動する洗浄ノズル 5〜10MPaの高圧水を発生させるポンプ コントロールユニットの組合せ 従来の連続スプレーは、自ら作った水膜の上からスプレーで圧力を加えており、洗浄力を上げる=圧力を上げる=流量が増え水膜も厚くなる、という傾向がありますが、DP-Gunは間欠スプレーのため、同じ圧力(=衝撃)でも...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄!手作業よりも安定した洗浄…
多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種ボックスの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。 【特長】 ■フープ等の複雑な形状に合わせて洗浄 ■洗浄工程を自動化し、洗浄効果が安定 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…
ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ : シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 :φ2”~φ4” 厚みについては応相...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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Siナゲット洗浄装置 専用バスケットで自動搬送 化学研磨・酸切・高品位…
本装置は、Siナゲットの洗浄を目的とした装置です。ワーク(Siナゲット)の入ったコンテナは本装置で専用の洗浄バスケットに移し替えられ、洗浄設備内に自動搬送されます。 その後、バスケットは化学研磨・酸切・高品位水洗の処理を通しワークは洗浄されます。このとき、洗浄バスケットを揺動して洗浄効率を向上しています。 洗浄後は乾燥専用バスケットに移され、150℃の温風で予備乾燥されます。 ...<主な仕...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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HDD用モーター部品(HUB・ケース等)の脱脂洗浄装置 構成例:洗剤+…
本装置はHDD用モーター部品(HUB・ケース等)を脱脂洗浄する装置です。 構成:洗剤+US(脱脂洗浄)→純水リンス+US→温風乾燥→真空乾燥 用途に合わせ製作致します...<主な仕様> 1.被洗浄物 : HDD用モーター部品(HUB・ケース等) 2.処理方法 : 専用バスケットによるDip処理 3.処理速度 : 2.5min(2kg×4バスケット) 4.パスライン : FL+...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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ファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用 / 50枚を一括処理 / …
<装置概要> 本装置はファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用する装置です。特徴は25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一括処理します。19nμm/5個の高清浄度を達成しています。...<主な仕様> 1.被洗浄物 : 300mm 厚み 0.75t 2.処理方法 : カセットレスによるDip処理 3.処理速度 : 50枚/5min(可変) 4.装置内清...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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スラリー不使用 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨から洗浄まで行…
■装置概要 スラリーを使用せずに、濾過水・純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う研磨装置 ■用途例 鏡面仕上げ加工・鏡面仕上げ加工・端面異物洗浄 ■対象物 ・薄い材料150~200μに好適 ・各種ウェハ:化合物、酸化物、ガラス、石英、シリコン、セラミック 対応 実機での評価・確認後に装置採用のご検討をお願いします。 オリフラ対応(Vノッチは出来ませ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ : シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 :φ2”~φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ : シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 :φ2”~φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ : シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 :φ2”~φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄!手作業よりも安定した洗浄…
多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種キャリア(カセット)の洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能出です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...キャリア・カセット等の複雑な形状に合わせて洗浄を行うことで、最適な洗浄結果が得られます。手作業で行われていた洗浄工程を自動化することにより、洗浄効...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄!手作業よりも安定した洗浄…
多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種ボックスの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...ボックス等の複雑な形状に合わせて洗浄を行うことで、最適な洗浄結果が得られます。手作業で行われていた洗浄工程を自動化することにより、洗浄効果が安定します。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄!手作業よりも安定した洗浄…
多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種FOSBの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...FOSB等の複雑な形状に合わせて洗浄を行うことで、最適な洗浄結果が得られます。手作業で行われていた洗浄工程を自動化することにより、洗浄効果が安定します。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置!独自機構の表…
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ : シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 :φ2”~φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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各種マスクやガラス、ウェハー研磨後の洗浄に!1秒間に30回のノズル開閉…
使用する水の量が少なく水膜のできにくい 既存装置にも後付可能な洗浄ノズルユニット 最大30Hzで駆動する洗浄ノズル 5〜10MPaの高圧水を発生させるポンプ コントロールユニットの組合せ 従来の連続スプレーは、自ら作った水膜の上からスプレーで圧力を加えており、洗浄力を上げる=圧力を上げる=流量が増え水膜も厚くなる、という傾向がありますが、DP-Gunは間欠スプレーのため、同じ圧力(=衝撃)でも...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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