ステンレス製バフ研磨装置　～機械腐食を軽減し長期安定稼働を実現～

PRステンレス材質のスタンドやベースを使用することで機械腐食を軽減し長期安…

弊社のバフ研磨装置、砥石研磨装置は、主に伸銅（条）業界においてご使用いただいております。 焼鈍後の酸化スケール除去、出荷前の仕上工程等で役立ちます。 ◆長期間の使用で機械周りの錆や腐食が気になる！ 　 洗浄ブース構造で観音扉、飛散防止カバー等によりブース外への水飛散対策をし、 　 更には高剛性スタンドやベースをステンレス製にする事で設置場所の雰囲気による腐食も防ぐので安心して長期間お使いいただけ...

メーカー・取り扱い企業： 生田産機工業株式会社

ロールtoロールレーザー加工機『MX』／レーザー切断機『BX』

PR生地の表面に様々なデザインが施せるロールtoロール加工機や、レーザーマ…

当社は、OT-LAS社製のレーザー加工機を取り扱っています。 その中から、高出力・高ピークパワーが求められるような場面で活躍する El.En.社のCO2レーザーを搭載した2製品をご紹介いたします。 『MX（ロールtoロールレーザー加工機）』 ポリエステル、マイクロファイバー、シルク、ジーンズ、 コットン、ビスコース繊維など様々な種類の布地を ロールtoロールで連続的に加工できる...

メーカー・取り扱い企業： カンタム・ウシカタ株式会社

サーボモータ　パワーユニット＆キャパシタ

お客様の機械の運転方法に応じて、全体システム設計・提案を行います！

サーボモータおよびサーボアンプの開発・製造・販売を行っている 高性能駆動装置開発では、各種出力（容量）のパワーユニット、 キャパシタを取り揃えております。 お客様の機械の運転方法に応じて、運動エネルギーの回生を含めた 全体システム設計・提案を行います。 【ラ...

メーカー・取り扱い企業： 高性能駆動装置開発株式会社

流体研磨装置

・媒体に砥粒を混ぜ、吐出する事で水管内壁を”研磨“します。 ・複雑な…

砥粒入り媒体を高圧(ワーク側装置安全弁2.5Mpaまで）で繰り返し往復させることで、水管内壁を“研磨”する装置です。 流体研磨装置 KMM ・動力 ：油圧ポンプ ・電圧　　　　　：AC200　50/60Hz 3相 ・皮...

メーカー・取り扱い企業： 三菱商事テクノス株式会社 本社

【ＯＤＭ・ＥＭＳ受託】無線機器、電子機器、装置の設計・製造・修理

有線機器の無線化、改版設計、試作など、お気軽にご相談ください。確かな経…

新日本電子は、東京都町田市の無線関連機器メーカーです。 当社では、創業以来３６年培った無線技術をコアに 無線応用機器をはじめ、各種電子機器・装置の設計・製造・修理を承っております。 【特長】 ■試作のみや、少量・単発の生産にも柔軟に対応 ■はんだ付けや電子機器組立ての資格保有者による、高品質なものづくり ■既存有線機器の無線化設...

メーカー・取り扱い企業： 新日本電子株式会社 本社

【お客様の声】X社様

キャッピングに起因するクレームは現時点では皆無に！お客様の声をご紹介し…

査の精度を上げつつ、効率化を提案させて頂いた事例について、 X社様にインタビューを行いました。 当事例の第一目標は、オーバルキャップ外観検査を含めたトータルでの キャッピングと検査ができる装置を目指しました。 「高速機に於いては高速化が図れたため､既存機に対して50％の向上と なったことは生産数に表れています｡また､品質面ではキャッピングに 起因するクレームは現時点では皆無とな...

メーカー・取り扱い企業： 名古屋精工株式会社

ALD（原子層堆積）装置

2重構造チャンバによるメンテナンス負荷低減と内容積のコンパクト化を実現…

ワッティーが提供する実験・研究開発向け装置 2inch～8inchモデルまでの装置をご用意し、ユーザーニーズにお応え いたします。 また各種付帯設備をオプションでご用意しており、お客様の導入時の 設備導入負担を軽減します。 安全仕...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

【設備紹介】茨城県　大型組立工場（第2工場）

【20tクレーン完備】大型製缶・組立に対応！大型産業用装置の一貫生産

当社は、2019年2月に取得した20tクレーン完備の第二工場で、 これまでよりさらに大型・重量製品に対応可能になりました。 強度、耐圧、耐荷重計算を要する装置をはじめ、特殊な環境 （放射能、薬剤、高温）で使用する装置など、安全性・信頼性が 必要とされる分野での設計・製造から各種検査、品質管理まで 豊富な実績があります。 お気軽にご相談ください...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンメック 本社工場

【設備紹介】5面加工　大型門形マシニングセンタ

大手電機メーカー、薬剤メーカーなどへの実績有！大型の製品のご依頼に対応…

この度、オークマ社製　5面加工門形マシニングセンタを導入致しました。 20tクレーン完備の第二工場にて、これまで以上に大型の製品のご依頼に 対応が可能。 繰り返し動作を行う装置をはじめ、強度、耐圧、耐荷重計算を要する装置、 安全性が求められる環境で使用する装置などの設計・製造を得意としています。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【設備概要】 ■型式：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンメック 本社工場

マシニング・フライス加工は当社にお任せください。

最短半日見積り／マシニング・フライス加工は最も得意とする加工で、様々な…

軸制御マシニングセンタ、横型マシニングセンタ NCフライス盤、汎用フライス盤　複合旋盤など、多種多様なマシニング加工／フライス加工に対応！ 「こんな加工も承れます！」 ・特殊形状加工品 ・簡易生産装置のベースプレートの加工 ・艶消し黒アルマイト、白アルマイト仕上げ ・A5052材アルミ肉抜きの為、切削加工を施し軽量化 ・小型～大型（2000mm前後）の切削加工品も承れます ・ブラケット、ベース、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

電子機器製造装置の大物アルミ部品

電子回路検査装置や半導体製造装置のアルミ部品で比較的サイズの大きい物（…

電子回路検査装置の1000ミリを超えるアルミのフレームで10ミクロンの平面度、かつ研磨仕様の面粗度を切削で実現しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＳＳ西川機械

FA・省力化機器装置　設計・製作サービス

お客様のニーズに対応する、世界でひとつの自動化省力化機器装置の実現

当社では、FA・省力化機器装置の設計・製作を行っております。 当社は社内に「設計」「部品加工」「組立」「電装組立」部門を持って いますので、一貫作業で製作することができます。 また、大量生産ではなく、お客様の仕様に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユーシン

装置製作サービス

設計した機械装置の製作もお任せください！

設計した機械装置を製作致します。 【機械＋制御＋装置】 産業用ロボット、半導体製造装置、各種自動化装置など さまざまな分野での開発経験と豊富な知識を駆使し、 協力会社と連携して機械装置の製作もお請け致し...

メーカー・取り扱い企業： リソー株式会社

半導体実装の開発・試作環境ー設備/装置

開発試作、評価解析環境に必要な各種装置を取り揃えています！

【主な装置一覧】 ○開発・試作 ・ワイヤ･バンプボンダ ・フリップチップボンダ ・ディスペンサ装置 ・電子天秤 ・ＵＶ照射装置 ・硬化炉 ○評価・解析 ・マイクロフォーカスＸ線透過装置 ...

メーカー・取り扱い企業： マイクロモジュールテクノロジー株式会社

【メカトロニクス技術】製造装置・検査装置の製作

お客様の要望を受け、試作、実験を行いながらオリジナルの装置を製作します…

カトロニクス技術を駆使し、様々なニーズに 対応しています。 サーボモータ・カメラ・精密加工品等を組み合わせた治具とマイコン制御や パソコンソフトを結びつけることにより、スピード・トルク検査装置などの 特性検査装置、製造装置を製作することができます。 PC、PLC、マイコン基板等で要求仕様を満たしたシステムを提案します。 【特長】 ■3D CADによる設計 ■装置開発 ...

メーカー・取り扱い企業： 山陽電研株式会社

【OEM製作実績／オノモリ】アニール炉

アニール炉のOEM製作実績

会社設立以来、繊維機械メーカーとして、精練機、連続減量加工機、染色機など、さまざまな装置を開発・製作してきました。 近年は繊維機械で培った、染色・洗浄・乾燥・塗工などのコア技術と、高圧容器・真空容器・撹拌槽などの製造技術を用い、多品種少量生産のモノづくりを行っています。 今後も提案型企...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オノモリ

株式会社サンメック　設備紹介

プラント業界向け製品の加工・塗装・組立に対応！当社が保有する20tクレ…

当社が誇る、大型製缶組立工場では20tクレーンを保有しております。 こちらは、プラント業界向け製品の加工・塗装・組立に対応。 当社では、メーカー様で使用される搬送用装置や検査装置 省力化装置の設計製造も行っております。お気軽にご相談ください。 【工場情報】 ■本工場：860m2 ■ステンレス専用工場：200m2 ■塗装工場：200m2 ■材料切断工...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンメック 本社工場

【付着テスト受付中】『均一塗膜形成装置』

パイルなど微細物を静電気で帯電させて、接着剤を塗布した基材に一瞬で付着…

『均一塗膜形成装置』は、パイルやガラスビーズなどを静電気で帯電させて 接着剤を塗布した紙や布に付着させる装置。 小型高電圧電源「GTシリーズ」と組み合わせて使用します。 接着剤塗布済みの基材を上の電極板に、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グリーンテクノ

溶接装置、溶接システムのことならお任せ　自動溶接装置

テレビモニタ遠隔制御溶接装置～CNC制御全自動溶接装置まで設計製作！好…

当社では、ユーザーニーズに好適な溶接装置、溶接システムを実現するため、 さまざまな角度から自動化、省力化に取り組み、簡易自動機より テレビモニタ遠隔制御溶接装置、CNC制御全自動溶接装置まで 設計製作しています。 【溶接方法】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソーキエンジニアリング

試験装置・実験装置　設計/製作

設計製造販売から制御盤・電源盤等を含む操作系やソフトウエアの構築など、…

当社では、『試験装置・実験装置　設計/製作』を行っております。 設計製造販売から制御盤・電源盤等を含む操作系やソフトウエアの構築など 様々な面でサポートいたします。 社内試験設備・センサー・計測器等を利用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社小山ガレージ

自動車関連製造装置『レーザー溶接装置』

設計から組立まで一貫した生産体制！お客様のニーズを的確に捉え、製品価値…

石井工作研究所では、『レーザー溶接装置』をはじめとした自動車関連製造装置、交通機器関連装置の設計・生産を行っています。 【製造装置紹介】 ■レーザー溶接装置 排気温度測定用センサーのサーミスタ組付け装置です。 レーザー溶接に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社石井工作研究所

自動化装置設計・図面化

お客様独自の製造ノウハウ・現場の課題などを十分に調査し様々なアイデアを…

効率化・品質向上させるためのさまざまなアイデアをご提案します。 ワークの整列・パレット投入などのラインの効率化や、各種機器の導入 サポートや試作機等の図面化にも対応可能。 また、自動化装置や付属設備の製作のほか、設計・図面作成も承ります。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【対応例】 ■ワークの整列・パレット投入などのラインの効率化 ■各種機器の導入サポートや試...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ティーエイチエー

小型装置｜開発装置｜試験装置のご相談は製造実績40年の当社まで！

小型装置のカスタム設計・製作に対応しています！お客様のご使用用途、ご要…

当社では、装置の大小を問わず、各企業様の開発部門向けや大学の研究室向けなど、様々な開発機や実験機などの小型装置の設計・製作を承っております。 "特注仕様の洗浄装置が欲しい""既製品以外のサイズで製作してほし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NSC エンジニアリング本部

検査装置『製品厚さ検出装置』

製本機械、及び周辺の検査装置のことなら前野工業まで！

『製品厚さ検出装置』は、封緘後の厚みを検出する装置です。 個人情報保護シールの有無、及び位置ズレも検出し 不良は強制排出します。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■個人情報保護...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社前野工業

装置・自動機の新規設計・製作サービス

リールtoリールライン装置や巻出・巻取ユニットは当社にお任せください

当社の装置製造部門では、各種装置・自動機の新規設計・製作・施工・ 販売・システム設備等の研究開発を承っております。 半導体業界・リールtoリールライン装置・フープメッキ装置・ 印刷関連機器・食品関連...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エリアデザイン

製造搬送装置・検査装置　開発サービス

半導体製造における作業時間の短縮、省力化、省スペース化を実現

当社では、各種製造搬送装置・検査装置の開発・製造を承っております。 当社の製品は、すべて日本の自社工場で製造。各製品は、日本国内はもとより 世界(アメリカ、ヨーロッパ、アジア)でも導入されており、製造ラインに 合わ...

メーカー・取り扱い企業： サントテクノロジー株式会社

受託製造サービス『精密機器・検査装置・半導体製造装置関連』

お客様の製造パートナーとしてワンストップ(一貫生産体制)で対応します！

弊社は、精密機器や各種装置の受託製造請負業務を行い、製品の設計、 調達、組立、調整、検査、客先設置まで一連の業務を強力にサポート 致します。請負範囲の一部やユニットなどでも請け負う事が可能です。 機械加工部品、板金...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大浩

流体制御装置の製作例『小形冷却水循環装置』

効率・コスト・安全性など、ニーズに合わせた機能・構成をご提案。小ロット…

水・温水・蒸気用から燃料・油圧用まで流体制御で豊富に実績を持つ当社では、 電磁弁・電動弁の製造及び販売のほか、モジュール化や機器製作にも対応しています。 例えば、『小形冷却水循環装置』の製作では、冷凍・空調分野で培った 制御技術を元に、お客様からの要望に応えたカスタマイズに対応。 必要な機能のみ組込むことで、機能性とコストを両立しました。 【要望例】 ◎コストの最適...

メーカー・取り扱い企業： 日電工業株式会社

【加工機紹介】加工機 －パイプ・形鋼用ファイバーレーザー加工機

パイプ・形鋼用ファイバーレーザー加工機を動画で紹介

【製品事例】 ○分析装置 構造部品 ○洗浄装置 電気系筐体 ○製造装置 筐体部品 ○製造装置 コントロールユニットカバー ○分析装置 カバー ○測定装置 筐体 ○分析装置 筐体部品 ○半導体製造装置 機能部品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ツボタテクニカ

舷梯装置

安全性・経済性に優れ、格納時の省スペース化を実現！ 操作も簡単な舷梯装…

共立機械製作所で取り扱う『舷梯装置』をご紹介します。 1本のワイヤーロープで舷梯を起倒するワイヤリングタイプで 舷梯がねじれずに格納される「垂直格納型舷梯装置」をはじめ、 特に格納スペースの狭い場合に使用するように設計され...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社共立機械製作所

【機械 ・装置 ・設備 のQ&A集】オーダーメイド装置の相談室！

「どんな装置が製作できるの」「仕様書がなくても製作できるの」等オーダー…

当資料は、日東公進株式会社が取り扱う、オーダーメイド装置に関するQ&Aを掲載しています。"どんな装置が製作できるの？"をはじめ、"納期はどれぐらいかかる？""アフターフォローはしてくれる？"など様々な疑問にお答え。 省人化・省力化を自動化装置の導入でご検...

メーカー・取り扱い企業： 日東公進株式会社

板金　精密板金　打ち出し板金　加工

精密板金・打ち出し板金　加工

ならびに運転室内部品や 計器盤の製造に関して全国有数の実績と経験を有している 山下工業所社『精密板金・打ち出し板金　板曲げ　加工 』のご案内です。 ■□■営業品目■□■ ■精密板金 ・半導体製造装置に組み込まれる大小様々な 　薄板板金部品を製造、単品・少ロット、短納期などの要請に対応 ■打ち出し板金 製造・生産プロセス部門　ものづくり日本大賞・特別賞受賞！ 「ハンマー一本で新幹線の「顔」を作...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山下工業所

【XYZ駆動装置導入事例】標準外ストローク品の製作

ワーク形状、サイズに合わせて装置のストロークを柔軟に設計可能！

ー様毎にワークが異なり、多種多様なニーズにお応えするため、 標準ストローク以外にも柔軟に設計、製作する必要がありました。 そこで、設計の小回りの良さと柔軟性で、ユーザー様に合わせた 仕様の装置を製作。 多種多様なワークに対応することにより、ユーザー様の生産能力向上や 信頼性向上に寄与します。 【事例】 ■課題 ・多種多様なニーズにお応えするため、標準ストローク以外にも ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シバ・エム・イー

機械装置の受託設計開発

一般産業機械装置や鉄鋼機械装置、化学機械装置に実績があります

等の 図面作成も可能。既存の手書き図面のCADデータ化や新規図面の CAD清書等、CADデータ入力、3D-CADによるモデル作成の お手伝いも承っております。 【実績】 ■一般産業機械装置 ■鉄鋼機械装置 ■科学機械装置 ■超純水プラント ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 共和技術工業株式会社

自動化装置　設計サービス

生産ラインを自動化します

当社では、各種自動化装置の設計及び製作を承っております。 自動組み立てで培われた豊富な経験をベースに、お客様の実情にあわせた、 「ワークハンドリング」と「工程間搬送」の自動化設備を提供。 また、そのほかにも外...

メーカー・取り扱い企業： ツカサ機工株式会社

＜医薬/化粧品/繊維業界必見＞ナノファイバー装置 見学ツアー

【世界を拓くナノファイバー】 電界紡糸（エレクトロスピニング）装置の…

当社の研究施設（ラボ）では、エレクトロスピニング（電界紡糸）装置の見学を承っております。 『ナノファイバーとは？』 『電界紡糸とは？』 どんな疑問にも経験豊富なスタッフがお答えします。 最先端の電界紡糸（エレクトロスピニング）装置を、実際に見て触...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メック ナノファイバー事業

【加工機紹介】溶接加工機 －ファイバーレーザー溶接機（大型対応）

大型製品加工対応のファイバーレーザ溶接機による加工を動画で紹介

【製品事例】 ○分析装置 構造部品 ○洗浄装置 電気系筐体 ○製造装置 筐体部品 ○製造装置 コントロールユニットカバー ○分析装置 カバー ○測定装置 筐体 ○分析装置 筐体部品 ○半導体製造装置 機能部品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ツボタテクニカ

自動貼り合わせ装置（自社開発）

オンラインで異素材を連続貼り合わせできる装置を独自開発致しました。

オンラインで異素材を連続貼り合わせできる装置を独自開発致しました。 １ショット／秒（最速）、精度±0.1ｍｍ（MIN）での貼り付けが可能です。 【用途】 携帯電話のメインLCDパネル固定テープと防塵クッションの貼り合わせなどに使用して...

メーカー・取り扱い企業： ショウワ株式会社

鋳造機・鋳造機周辺装置　設計サービス

鋳造機及び各種機械の設計・製造・販売はお任せください！

ホイール用、砂型Mg用 ■重力式鋳造機 　・傾斜式小型鋳造機 　・傾斜式中型鋳造機 　・傾斜式大型鋳造機 　・PISTON用鋳造機 ■その他鋳造機 　・砂型用差圧鋳造機 ■鋳造機周辺装置 　・自動刻印装置 　・インサート高周波加熱装置 　・金型冷却装置 　・水冷圧送装置 　・ロボットハンド 　・脱ガス装置 　・安全フェンス ■各種装置 　・切断装置 　・シャフト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノ

【加工機紹介】溶接加工機 －複合溶接ロボットシステム

複合溶接ロボットシステムによる加工を動画で紹介

【製品事例】 ○分析装置 構造部品 ○洗浄装置 電気系筐体 ○製造装置 筐体部品 ○製造装置 コントロールユニットカバー ○分析装置 カバー ○測定装置 筐体 ○分析装置 筐体部品 ○半導体製造装置 機能部品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ツボタテクニカ

発泡射出成形・ＳＦ成形

大型で厚肉な成形品を作りたいなら発泡射出成形・ＳＦ成形がお勧め。発泡成…

雑な形状の成形が可能。 ■厚肉なのに軽量化が図れる。 ■一般の成形品よりヒケ・反り・ひずみを少なくできます。 ■多くの熱可塑性樹脂を使用できます。 【製品実例】 ■ＡＴＭカバー。 ■分析装置のベース。（金属からの置き換え） ■分析装置のトップカバー。（構成部品を一体化） ■板金カバーからのコストダウンと軽量化。 ■ダイカスト製品からのコストダウンと軽量化。...

メーカー・取り扱い企業： 第一商工株式会社

【加工機紹介】溶接加工機 －ファイバーレーザー溶接機

ファイバーレーザ溶接機による加工を動画で紹介

【製品事例】 ○分析装置 構造部品 ○洗浄装置 電気系筐体 ○製造装置 筐体部品 ○製造装置 コントロールユニットカバー ○分析装置 カバー ○測定装置 筐体 ○分析装置 筐体部品 ○半導体製造装置 機能部品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ツボタテクニカ

【加工機紹介】複合加工機 －ファイバーレーザー複合機

ファイバーレーザー複合機による加工を動画で紹介

【製品事例】 ○分析装置 構造部品 ○洗浄装置 電気系筐体 ○製造装置 筐体部品 ○製造装置 コントロールユニットカバー ○分析装置 カバー ○測定装置 筐体 ○分析装置 筐体部品 ○半導体製造装置 機能部品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ツボタテクニカ

油圧装置　製作サービス

油圧・流体に関わる装置の設計から製作・運転試験まで対応可能！

当社では、航海用・工作機械用の油圧装置からフィルター装置まで 幅広く油圧・流体に関わる装置を手掛けております。 設計から製作・運転試験まで対応致します。 また、装置のOEM生産もお任せください。 【油圧装置】 ■航海用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社酒井製作所

繊維・産業資材・電子・環境関連機械の自動化・省力化【製作実績集】

ラインスピード向上・省人化・アフターメンテナンスなど、カスタム実績の一…

み弊社にお任せ下さい。繊維・産業資材・電子機器・環境関連機械などの設計から製作まで現場に合わせた設計でトータルでサポートします！ 製作実績（一部抜粋） ◆脱水率15～20％を実現した真空脱水装置 ◆アフターメンテナンス含むテンター熱処理機 ◆長さ：4～50m、幅4mの大型搬送装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンワマシナリー

スクリューの修復溶接 (減容固化装置)

減容固化装置 スクリューへの超硬分散の溶接加工

部品の修理、再生、延命、メンテナンスに心がけ予防医療の様に部品の高品質化、耐磨耗、耐熱、防触等の機械の高度化を目的とする研究開発を行っている光栄テクノシステム社『減容固化装置 スクリューの修復溶接』のご案内です。 廃棄物選別プラント内の減容固化する装置に組み込まれているスクリューです。 廃棄物はこの装置でスクリューにより粉砕され、摩擦熱によって軟化、圧縮・固化し...

メーカー・取り扱い企業： 光栄テクノシステム株式会社

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。 半導体の微細化は急速に進んで...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー