高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

超低湿度用防湿庫『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』

PR新型デジコンと高精度湿度センサー採用！ドライユニット内の特殊乾燥剤は半…

『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』は、新型デジコンにより庫内の湿度を 正確にコントロールできる超低湿度用防湿庫です。 高精度湿度センサーの採用により正確に表示することが難しかった5％RH以下の 湿度を正確に表示。超高速除湿のHYP・DUSに湿度設定と自動省エネの機能が 付いて高性能化しました。 使い易い全面ワイドドア（マグネットパッキン式）で、中央支柱がないので、 横長のもの...

メーカー・取り扱い企業： トーリ・ハン株式会社

高分解能　静電容量センサ

高分解能　静電容量センサ

標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応！測定する材質を選びません！非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています！！...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社

フラットパネル露光装置＜超大型縦型露光＞

大型パネルのマスクの撓みを大幅に削減！！

<特徴> 大型パネルのマスクの撓みを最小限に抑えたマスク縦型の露光装置です。 多面取、大型パネルをXステップで露光。高い継ぎ精度で露光します。 マスクとパネルの精密温度制御を行い、トータルピッチを抑えた装置になっています。 ...<仕様> 適用サイズ ：150インチ対応Xステップ露光 ：50インチ12面Xステップ ：42インチ8面1括 方式 ：マスク縦型 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

【材質A5052（a5052）　極微小径穴　φ5μ　連続穴開け】

極微小径穴加工技術

宙産業関連などでこの技術が応用されています。 Φ8μ以上φ30μ以下の極微小径穴加工では、10倍以上のアスペクト比も可能です。 なお、弊社では、φ30μ以下の穴加工を極微小径穴加工技術、φ30μ超φ100μ以下の穴加工を微小径穴加工技術、φ100μ超の穴加工を小径穴加工技術と区別しております。 極微小径穴加工・鏡面切削加工など アルミの加工でお悩みの方は ぜひ、一度中田製作所にご相...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中田製作所

⾼精度花崗岩真空吸着プラットフォーム

気道の負圧を個別また同時ににON/OFF切り替えることができます

プライヤーであり、さまざまな産業やニーズに適した花崗岩材料を提供 ■⼤規模・特殊加⼯ ・豊富な花崗岩の在庫を有し、コンポーネントコラム、表⾯パネル、機械ベースを中⼼に 　様々な加⼯を実現 ■超精密加⼯ ・恒温室、恒温ブース、豊富な測定機器を備え、サブミクロン単位の超⾼精度製品の⽣産が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ND GROUP 日本支社

株式会社山岡製作所【製造部　受託生産課】

フォークリフトや超純水製造装置（オルガノ）保有！設計を含む、総合請負対…

バッテリー式）⇒能力：3.0t　※宇治田原工場 ■KOLEC [通称：コレックリフター] ⇒能力：600kg　※宇治田原3棟CRのみ ■ボール盤・グラインダー ■排気ブロアー・真空ポンプ ■超純水製造装置（オルガノ）：1台 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山岡製作所

レーザー加工機　『カスタマイズ可』『サンプル加工無償実施』

お客様の要望に合わせたレーザー発振器を選択し、さまざまなレーザー加工用…

【レーザ加工事例】 ◎取扱レーザー　波長：IR、SHG、THG、FHG　パルス幅：ナノ秒・ピコ秒・フェムト秒(超短パルスレーザ)　 ◎対象材料　Al2O3(アルミナセラミックス、窒化アルミ)、Si(シリコン)、SiC(炭化珪素)、 LT(リチウムタンタレイト)/LN(リチウムナイオベイト)、GaN(窒...

メーカー・取り扱い企業： 西進商事株式会社

マイクロ波ラジカル源　EMRS-211Q

マイクロ波ラジカル源　EMRS-211Q

石英放電管タイプでチャンバー外付型の 有磁場型マイクロ波励起ラジカル源 【特徴】 ○プラズマ室は石英ガラス製で放電を目視確認可能 ○完全金属シール構造により、MBE装置など 　各種超高真空装置に使用可能 ○ラジカル源用途以外に加速用高圧電源（オプション）の 　使用によりイオン加速が可能 ○各種活性ガスの導入が可能 ○マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されるため 　面...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

マイクロ　エアモーター

超小型エアー駆動モーター

超小型・軽量であるにもかかわらず、高精度・高出力で信頼性のおける動力源として、設計開発されたマイクロ・エアモータ＆ドリルは、全世界の様々な産業に向けて２５年以上に渡り開発・生産を行い、何十万もの実績がその信頼性を実証しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 明友エアマチック株式会社

スライシング・ダイシングマシーン『SCM－１シリーズ』

高剛性・高精度・超コンパクトなスライシング・ダイシングマシーン

株式会社エス・シー・エムのスライシング・ダイシングマシーン『SCM－１シリーズ』のご紹介です。 【特徴】 ■高剛性 ■高精度 ■超コンパクト ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エス・シー・エム

後工程の半導体製造装置に「本当に適した部品」を使用できてますか？

「チップの引っ掛けキズやひび割れ」「作業時にチップの持ち帰り問題」など…

原因や解決策 ■ひび割れ（マイクロクラック）の原因や解決策 ■ディスペンサーの目詰まりによるトラブルと解決策... ■ボンディングエラー（接着不良）の原因や解決策... ■造型解像度2μmの超精密3Dプリントモデル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

『表面活性化接合タイプ常温接合装置　量産機』

ウェハーやバルクを熱を加えず接合！

当製品は、超高真空(10^-6Pa台)下で、Arビームにより接合面を活性化し、 常温・無加圧でウェハーやバルクを接合する量産機ベースの装置です。 非加熱で接合するため、生産工程の短縮・効率化に寄与します...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ムサシノエンジニアリング

非接触ロボットハンド

非接触ロボットハンド

ルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

シリコンウェハ用圧力分布測定システム

歩留まりアップを圧力管理からサポート！

◆シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。 ◆バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。 ◆センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。 ◆測定データは２次元・３次元の画面で表示可能です。また、取り込んだデータは再生が可能で、解析の機能も充実しています（パソコンの使用...

メーカー・取り扱い企業： 蒲田工業株式会社

コネクトフレックスシート

コネクトフレックスシート

ConectFlexのシートコンタクトは0.3mm以下の極めて短いシグナルパスにより、超抵インダクタンスと低キャパシタンス、低抵抗のコンタクトを実現可能にします。デバイスとテスト装置間のインターポーザーとして、理想的な信号をロスなく伝える特許製品です。GHz帯の高周波や、高電流のテスト...

メーカー・取り扱い企業： ゼネラル物産株式会社

バルブ部門

半導体製造や貯蔵設備など！厳しい環境の中で高度の品質が要求される設備の…

西谷商事株式会社の『バルブ部門』をご紹介します。 超低温の液体窒素、液体酸素を扱う宇宙開発関連設備や エレクトロニクスの半導体製造、液化天然ガスの貯蔵設備などに対応。 いずれも厳しい環境の中で高度の品質が要求される設備のバルブを扱っております...

メーカー・取り扱い企業： 西谷商事株式会社