セラミックス製　超精密測定器具【各種器具・冶具カスタマイズ可能】

PR製造現場の基準を決定する超精密測定器具！高硬度のセラミックス製なので経…

セラミックス製の超精密測定器具は『剛性に優れたわみにくい』『硬く、耐摩耗性に優れる』『温度による寸法が少ない』『耐食性に優れ、化学薬品に強い』『軽量』などのセラミックスの特性を活かし、直角度、平行度などをμ単位で超精密加工した直定規、四直角マスター、三次元セラマスターをお届けします。 各種冶具をはじめ、お客様の測定現場に合わせたカスタマイズも受け賜ります。 ※詳しくはお問い合わせいただくか...

メーカー・取り扱い企業： 新東Vセラックス株式会社

最大1000℃まで耐熱！約15年間使える耐熱工業用ラベル

PR耐熱、耐薬品、耐久性とともに優れた耐衝撃性があり、自在にサイズと形状が…

セララベルＳＬは、ステンレス基板にセラミックスでバーコードパターンなどを焼成した高い耐熱性を持ったラベルです。 【特長】 ◆高い耐熱性（セララベル-300の場合、 最大1400℃まで） ◆セラミックのラベルにもかかわらず、約90度まで折り曲げても割れにくい。 ◆約15年相当の長期耐久性にも対応（生産現場に適しております） ◆耐薬品性も良好。（ただし、高温高濃度アルカリを除く） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シグマックス

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU

超高真空仕様ターボ分子ポンプ

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

●超小型チューブポンプ『WPM1/WPM2』【小型・高性能】

超小型チューブポンプ『WPM1/WPM2』はモータやチューブの組み合わ…

超小型のチューブポンプなので、産業機器、各種分析器、医療・美容機器など幅広い用途に使用可能です。信頼性も高く、世界中のお客様への導入実績もあります。装置の小型化はもちろん、モータやチューブの組み合わせと高性能なスペックで様々なニーズに対応します！ 【特長】 ■モータバリエーション （DC12/24、ブラシ、ブラシレス、ステッピング） ■超小型・軽量・低騒音 ■耐熱・耐薬品性（スーパーエンプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社CSP（シーエスピー）

【小型・大流量・静音】Disc Pump(マイクロポンプ)

超小型・軽量であるにも関わらず大流量で比類なき静粛性・無脈動を備えた高…

当社のマイクロポンプは比類なき空気圧制御により、貴社の革新的な製品開発に貢献いたします。 【製品の特長】 ・使用流体: エア ・脈動/振動のない動作 ・騒音レベル <10 dB ・超高速ミリ秒応答 ・軽量：5g ・コンパクトサイズ：直径29mm×厚み11mm ・圧力/流量精度: 0.1%未満 ・無限のターンダウン比 ・動作温度範囲：5℃～40℃ ・圧力動作範囲：真空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジュピターコーポレーション 本社

チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極め…

を真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能。 また、小型軽量で取付場所を選びません。 【特長】 ■オイルフリーの超高真空 ■経済的 ■コンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』

無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心…

『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作る...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『コンビネーションポンプ』

排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水…

『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

油拡散真空ポンプ

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポ…

【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が容易に行える ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

イオンポンプ融合型超真空用ゲッターポンプ「NexTorr(R)」

全てのガスを効率的に排気する　超軽量タイプのUHV対応ゲッターポンプ

NEXTorrポンプは、NEGとイオンポンプの技術を相補的に組み合わせた設計になっています。 小さなスパッタイオンポンプ（SIP)がNEGによって排気されなかった不活性ガスを取り除いている間、ゲッターカートリッジが主なUHVポンプとして働きます。 活性化ガス(水、水素、窒素等）向けのNEGポンプの大きな排気許容量と一体化されたデザインのために、NexTorrポンプは同様の排気速度の特徴を持つイ...

メーカー・取り扱い企業： サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店

磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG1300M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

高真空対応 ゲッターポンプ「CapaciTorr HV(R)」

高真空領域(10-7～10-9Torrで繰り返し使用可能な非蒸発型ゲッ…

返し使用することができる初めてのゲッターポンプです。（10-7～10-9Torrレベル） 【特徴】 ○ 全ての活性ガスに対し高い排気速度 ○ 高真空でガス負荷が多い時は高温稼動する ○ 超高真空下での室温使用も可能 ○ 高い吸着能力と長寿命 ○ 高真空・超高真空の圧力域での一定した排気速度 ○ 小型デザインで軽量 ○ 磁場との干渉なし ○ オイルフリー、振動の発生なし ○...

メーカー・取り扱い企業： サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店

チタンゲッタポンプ GGT-3, PGT シリーズ

チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。…

の吸着面積を選べば、 　大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上する ○T接続フランジ部にはナイフエッジ型メタルシール（UFC）で、 　最高250℃までのベークアウトが可能 ○構成材料は全て超高真空に適した表面処理が施されている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」

非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。

ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」は、サエスグループが開発した非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。 このポンプは、アプライドマテリアルズ製PVD、アルミニウムスパッターのために開発されました。 このポンプの開発によってチャンバーがベントしてから復帰して操業に戻るまでの時間が...

メーカー・取り扱い企業： アップ・テック・ジャパン株式会社

ドライポンプ COBRA Semicon ファミリー

SEMICON Japan 2023に出展！ハーシュプロセスにおいて従…

ではいくつかのシリーズを展開しており、それぞれに特長があります。 ■ DSシリーズ：業界標準、高気密、従来型ベアリング ■ BAシリーズ：フライングベアリングシステム、空冷 ■ BCシリーズ：超低温真空ポンプ、フライングベアリング、水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

アトーテック株式会社　会社案内

真空ポンプをはじめとした真空機器、真空装置のことならお任せください！

アトーテック株式会社は、金属材料工学と真空工学を基盤技術とし、 真空ポンプをはじめ、ナノ粒子（超微粒子）製造装置、真空バルブ、 真空計、真空部品の取り扱い、真空装置の設計製作を行っている会社です。 これまで様々な真空装置やナノ材料創製装置等の開発、製造にたずさわり、 特に真空熱処理装...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社