【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

無料ウェビナー 超純水・純水の最新技術と超純水の使い方のポイント

PR5月29日（水）無料ウェビナー開催！最新技術と使い方について詳しくお伝…

各種試験、研究、各種分析において再現性のある精度の高い結果を得るためには、結果に影響を与える要素が取り除かれていて、且つ一定の水質を保っている純水・超純水を用いることが必要です。 本ウェビナーでは、純水・超純水の精製方法による水質の違いと結果への影響を示し、目的に応じた最適な水について紹介します。 また、水質を保つために必要な超純水の使い方のポイントにいたるまで、純水・超純水を利用する方が...

メーカー・取り扱い企業： メルク株式会社ライフサイエンス（シグマ アルドリッチ ジャパン合同会社）

●超小型チューブポンプ『WPM1/WPM2』【小型・高性能】

超小型チューブポンプ『WPM1/WPM2』はモータやチューブの組み合わ…

超小型のチューブポンプなので、産業機器、各種分析器、医療・美容機器など幅広い用途に使用可能です。信頼性も高く、世界中のお客様への導入実績もあります。装置の小型化はもちろん、モータやチューブの組み合わせと高性能なスペックで様々なニーズに対応します！ 【特長】 ■モータバリエーション （DC12/24、ブラシ、ブラシレス、ステッピング） ■超小型・軽量・低騒音 ■耐熱・耐薬品性（スーパーエンプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社CSP（シーエスピー）

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU

超高真空仕様ターボ分子ポンプ

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【小型・大流量・静音】Disc Pump(マイクロポンプ)

超小型・軽量であるにも関わらず大流量で比類なき静粛性・無脈動を備えた高…

当社のマイクロポンプは比類なき空気圧制御により、貴社の革新的な製品開発に貢献いたします。 【製品の特長】 ・使用流体: エア ・脈動/振動のない動作 ・騒音レベル <10 dB ・超高速ミリ秒応答 ・軽量：5g ・コンパクトサイズ：直径29mm×厚み11mm ・圧力/流量精度: 0.1%未満 ・無限のターンダウン比 ・動作温度範囲：5℃～40℃ ・圧力動作範囲：真空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジュピターコーポレーション 本社

チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極め…

を真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能。 また、小型軽量で取付場所を選びません。 【特長】 ■オイルフリーの超高真空 ■経済的 ■コンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』

無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心…

『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作る...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『コンビネーションポンプ』

排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水…

『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

油拡散真空ポンプ

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポ…

【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が容易に行える ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

イオンポンプ融合型超真空用ゲッターポンプ「NexTorr(R)」

全てのガスを効率的に排気する　超軽量タイプのUHV対応ゲッターポンプ

NEXTorrポンプは、NEGとイオンポンプの技術を相補的に組み合わせた設計になっています。 小さなスパッタイオンポンプ（SIP)がNEGによって排気されなかった不活性ガスを取り除いている間、ゲッターカートリッジが主なUHVポンプとして働きます。 活性化ガス(水、水素、窒素等）向けのNEGポンプの大きな排気許容量と一体化されたデザインのために、NexTorrポンプは同様の排気速度の特徴を持つイ...

メーカー・取り扱い企業： サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店

磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG1300M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

高真空対応 ゲッターポンプ「CapaciTorr HV(R)」

高真空領域(10-7～10-9Torrで繰り返し使用可能な非蒸発型ゲッ…

返し使用することができる初めてのゲッターポンプです。（10-7～10-9Torrレベル） 【特徴】 ○ 全ての活性ガスに対し高い排気速度 ○ 高真空でガス負荷が多い時は高温稼動する ○ 超高真空下での室温使用も可能 ○ 高い吸着能力と長寿命 ○ 高真空・超高真空の圧力域での一定した排気速度 ○ 小型デザインで軽量 ○ 磁場との干渉なし ○ オイルフリー、振動の発生なし ○...

メーカー・取り扱い企業： サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店

チタンゲッタポンプ GGT-3, PGT シリーズ

チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。…

の吸着面積を選べば、 　大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上する ○T接続フランジ部にはナイフエッジ型メタルシール（UFC）で、 　最高250℃までのベークアウトが可能 ○構成材料は全て超高真空に適した表面処理が施されている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」

非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。

ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」は、サエスグループが開発した非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。 このポンプは、アプライドマテリアルズ製PVD、アルミニウムスパッターのために開発されました。 このポンプの開発によってチャンバーがベントしてから復帰して操業に戻るまでの時間が...

メーカー・取り扱い企業： アップ・テック・ジャパン株式会社

ドライポンプ COBRA Semicon ファミリー

SEMICON Japan 2023に出展！ハーシュプロセスにおいて従…

ではいくつかのシリーズを展開しており、それぞれに特長があります。 ■ DSシリーズ：業界標準、高気密、従来型ベアリング ■ BAシリーズ：フライングベアリングシステム、空冷 ■ BCシリーズ：超低温真空ポンプ、フライングベアリング、水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

アトーテック株式会社　会社案内

真空ポンプをはじめとした真空機器、真空装置のことならお任せください！

アトーテック株式会社は、金属材料工学と真空工学を基盤技術とし、 真空ポンプをはじめ、ナノ粒子（超微粒子）製造装置、真空バルブ、 真空計、真空部品の取り扱い、真空装置の設計製作を行っている会社です。 これまで様々な真空装置やナノ材料創製装置等の開発、製造にたずさわり、 特に真空熱処理装...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

エアー式真空発生機／品番　M472M-2000B

超強力真空発生器

少量の圧縮空気で瞬時に真空を発生させます。 ●箱型になっているので取付は簡単､あらゆる機械に設置できます。 ●真空度は常に一定しております。 ●圧縮空気を駆使しブレス独自の技術により開発された超強力真空発生器 ●コンプレッサーエア駆動方式にて防爆仕様(但：アース線等は必要)。 ●本依内部には回転部がなく故障の心配がほとんどありません。 ●その他仕様変更にも柔軟に対応いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シロ産業

株式会社AlphaPlus　取扱製品紹介

真空部品や真空システムの販売などを行っています。

株式会社AlphaPlusは、韓国にある真空部品や真空システムの販売などを行っている会社です。 各種蒸発源や各種の超高真空装備に使用されるイオンポンプなどの「真空部品」、各種蒸着機、金属や無機物薄膜製造に使用されるスパッタリング蒸着機、ベーパライゼーション蒸着機などの「真空システム」、多くの金属や無機物薄膜製造に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AlphaPlus

ターボ分子ポンプ nEXTシリーズ

最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高/超高真空を実…

nEXTターボ分子／複合分子ポンプおよびEXCコントローラは、最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高／超高真空を実現します。 ターボ分子ポンプ(TMP)は、マルチステージの軸流タービンであり、高速回転するブレードが排気方向へ移動するガス分子の確率を高めることによって圧縮をもたらします。 複合分子ポンプ...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

【APIにも対応】ポンプ適合カップリングラインナップ

最大280,000Nmまで対応可能。大小幅広いレンジのポンプに適合する…

x 金属ハブと樹脂スリーブを組み合わせた品目です。 小型～中型ポンプに適合します。 特長：プラグイン取付、メンテナンスフリー、比較的安価 〇金属ギヤカップリング　GEARex 特長：超高トルク（最大275万Nm)にも対応 〇マグネットカップリング　MINEX-S 磁石付きのローターが互いに同期しながら非接触で回転する製品です。 シール部に摺動がなく、メカニカルシール等か...

メーカー・取り扱い企業： ケーティーアールジャパン株式会社

ドライ真空ポンプ『ECODRY 40 / 65 plus』

低騒音・低振動で快適な作業環境を実現

『ECODRY plus』は会話やエアコンの音よりも静かな小型ドライポンプです。 サイレンサーを内蔵しており、運転音はわずか52dB未満と超低騒音を実現。 振動も少なく、作業に集中できる環境づくりに貢献します。 パーティクルが排気チャンバーに侵入せずクリーンな真空を確保するほか、 オイル・シール交換といったメンテナンスが不要。デモ機を...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社

姿勢自在形　複合分子ポンプ(TG-Fシリーズ)

低～超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型タ…

○取付姿勢自由自在 取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大！ ○優れた耐久性 独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い！ ○急速ベント停止 ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。 ※一部対応外の機種があります。 ○メンテナンスフリー 日々のメンテナンスの必要がありません。 定期的な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ダイアフラムポンプ　２００２シリーズ

低騒音・小型・軽量。ジャストバランス設計によりスムーズ・少振動。

【主な特長】 ○超小型、軽量 ○オイルレス ダイアフラムポンプ ○高効率、低騒音、高い気密性 ○コンプレッサー、真空ポンプいずれにも最適 ○低価格、標準、BLDCモーター選択可能 ●詳しくはお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業： ガードナー・デンバー株式会社 横浜本社（トーマス製品）

複合分子ポンプ　TG5000/5003 TG5500/5503

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをす...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空発生器　VMECA 「タートルポンプ」

真空発生器ＶMECA「タートルポンプ」Vメカ真空カートリッジ(多段式エ…

『VMECA　タートルポンプ』 タートルポンプは、大流量、高効率な高真空ポンプです。 VMECA独自の技術による、超軽量で高効率の多段式真空カートリッジ（国際特許取得）を内蔵した新しい概念の真空ポンプです。 【特長】 ○真空発生器＋真空フィルタ一体化構造（特許デザイン）▷ 費用節減・早い応答速度 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タツタ

往復動滑り弁式真空ポンプ　VS/VSW-series

研究・改良に努力を重ね、その技術と優秀性を認められ、定評を得ております

ドは鍛造品を使用し、耐久性・軽量化を実現 ○クランクシャフト及びクロスヘッドの給油はスプラッシュ方式を採用 →常に最適の銃かつ状態を維持 ○シリンダー・クロスヘッド・クランクシャフト等は 　超精密研磨仕上げを施し、摩擦損失を減少 ○機体は小型設計、占有床面積は従来の3分の2 ○2段型はコンモンベッド方式で、基礎工事及び据え付けが容易 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日吉プロダクツ

ピボット軸受型ターボ分子ポンプ UTM シリーズ

高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。【ア…

H2やHeなどの低分子量ガスの排気性能（高圧縮比）を実現 ○ピボット軸受とフッ素油（化学的に安定で飽和蒸気圧の低いオイル）を 　採用し、限りなくゼロに近いオイルフリーの環境を実現 →クリーンな超高真空の達成が可能 ○ファインダイナミックバランスロータと高性能軸受の採用により、 　低騒音と低振動を実現 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

流体吐出装置　総合カタログ

ポンプおよび周辺機器をはじめ、二液計量混合装置や、シーラントガンなどを…

タル・エンジニアリングを 含めて蓄積された技術、ノウハウを有したパイルスジャパン株式会社が 取り扱う流体吐出装置をご紹介したカタログです。 堅牢で過酷な使用にも抜群の耐久性を誇り、高粘度、超高粘度材料の 吐出に適したポンプ「700シリーズ」をはじめ、ドラム缶タイプの バルクホットメルトポンプ「サーモフローIII」などを掲載しております。 【掲載内容】 ■ポンプおよび周辺機器...

メーカー・取り扱い企業： パイルスジャパン株式会社

高エネルギー物理学アプリケーション　カタログ

信頼されるパフォーマンス！大気圧から超高真空まで好適なソリューションを…

Edwardsは、高エネルギー物理学の応用と様々な段階で真空が果たす 重要な役割を深く理解しています。 その経験と、クラス最高の製品と応用ノウハウを組み合わせることにより、 現代物理学の限界を押し広げる幅広いソリューションを提供。 当カタログではシンクロトロンや核融合、重力波等の解説と応用例のほか、 幅広い真空製品を掲載しております。ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容（一部...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

高圧ポンプ応用製品　ステンレス製品

トクピ製作所はポンプ関連商品や応用商品を開発しております。

トクピ製作所は高圧ポンプ製作を通してポンプ関連商品や応用商品を開発しております。 トクピ製作所の高圧ポンプは、超純水対応高圧ポンプ、食品業界の清掃・衛生用、自動車部品の洗浄機、建設機械車両のメンテナンス・洗浄、建設機械部品の洗浄機、純水用高圧ポンプ、造水装置（逆浸透膜）、水圧試験機、プランジャー、エマルジョン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トクピ製作所

真空浸炭炉真空ポンプ用潤滑油の浄化

微粒子粉の大量除去が可能に！油煙トラップフィルターの早期目詰まり解消

DC」で 解決できます。 当製品は、油中に浮遊する様々な汚染物質(コンタミ)を静電気力により 集塵除去。その捕集能力は非常に高く0.03μmという非常に小さなコンタミも 捕集可能で、油は超清浄な状態に回復します。 【静電浄油機による効果】 ■真空度の安定 ■潤滑油交換サイクルの延長 2週間→4ヶ月の実績 ■真空ポンプロックを削減 ■油煙トラップフィルターの早期目詰まり解...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリーンテック kleentek corporation