成形不良などの不具合防止に低コストで貢献！「フローモニター」

PR成形機等の周辺配管に！冷却水配管の通水をひと目で確認できるすぐれもの！

「フローモニター」は、成形機等の冷却水配管の通水を確認することで 成形不良などの不具合防止に寄与する製品です。 低流量（0.6L/min）から2色の羽根の回転で流体の流れを目視で確認でき、 配管されたままモニターレンズの交換が可能です。 【特長】 ■低流量（0.6L/min）から2色の羽根の回転で流体の流れを目視で確認できる ■配管されたままモニターレンズの交換が可能 下記展示会で「フローモニ...

メーカー・取り扱い企業： 日東工器株式会社

タンク内面FRPライニング

PR設備を半永久的に使用することが可能に！既に多くの危険物施設で実績があり…

『タンク内面FRPライニング』は、タンクの内面へシート上の FRP(繊維強化プラスチック)によりライニングを施す技術です。 これによりタンクの延命措置を行うことができ、現行法では50年以上と、 設備を半永久的に使用することができるようになります。 既に多くの危険物施設で実績があり高い評価を受けています。 【特長】 ■紫外線硬化法により、タンクの内側へシート上のFRPによりラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社油水分離

金属溶出無し！PTFE制自動着脱弁【ALL-PTFEコネクタ】

高い洗浄性！内部構造が非常にシンプルで流体の滞留部がない！金属溶出がな…

金属イオンの溶出が無いため、半導体業界で洗浄液接続の自動着脱化でご使用頂いております。 PTFEは塩酸等の強酸への腐食耐性が高いため、薬品業界の配管自動切換でご使用頂いております。 ...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

洗浄剤　ダッククリーン

CMPマシン廃液配管内に付着したスラリー用洗浄剤及び洗浄システム

CMPマシン廃液配管閉塞を防ぐための洗浄剤と洗浄システム...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ファーストダック

真空関連製品、その他保守パーツの販売、サービス

真空関連製品、その他保守パーツの販売、サービス

・半導体装置及び各種真空装置の排気系ポンプの再生技術 ・真空配管系の設計・製作 ・真空関連部品の特殊洗浄・再生技術 ・真空関連製品、その他保守パーツの販売 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

真空炉『Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉』

卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲…

◆装置構成◆ ご予算・目的に応じてご要望の構成をご提案致します。 (A)最小構成：チャンバー + 温度制御ユニット (B)上記最小構成(A) + 真空排気系（ポンプ、ゲージ、バルブ・真空配管類） ◆基本仕様◆ ・ヒーター：C/Cコンポジット, PGコートC/Cコンポジット(カーボン炉）, タングステン(メタル炉) ・断熱材：グラファイトフェルト材(カーボン炉）, タングステン...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

小型実験機で高精度を実現　スリット式塗布装置　リサーチコータ

様々な塗布条件や材料に柔軟に対応、高精度な塗布均一性を実現したコンパク…

入しやすい ■企業や大学研究室等での実績多数 ■量産装置と同様のプロセスで、生産機検討を視野に入れた評価が可能 ■全面塗布、ストライプ塗布、ブロック塗布など用途に応じた塗布パターン ■最少50cc（配管容積15cc）の材料より塗布可能（LC-R300G) ■酸素、水分などをコントロールした環境下での塗布実験が可能（LC-R300G、オプション） ■減圧乾燥装置、ホットプレート焼成装置もご用意（オプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温…

> 概略 < ・お困りではありませんか？ 除害装置前段での副生成物対策 ・⾼コンダクタンスの配管部材は何故良いの？ ・CVD排気ラインの改善により、ダウンタイム削減ができる！ ・流路を高温（180℃）、かつ均一に加熱する方法とは？ 掲載されている製品・技術： #半導体製造用部材...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例集』半導体製造用バルブのヒューマンエラー対策※無料進呈中

【特に人気のある3事例をまとめて進呈中！】「バルブを変える」ことでトラ…

キッツグループの一員である当社 ＫＩＴＺＳＣＴは 半導体製造工程用のバルブ・配管部材を20年以上製造・販売しております。 今回は半導体製造工程でのヒューマンエラー事例と対策をご紹介。 特に人気のある3事例をまとめて進呈中です。 ◎概要◎ ・バルブを閉止したつもり...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

【半導体業界向け】フッ素樹脂製品のご紹介

当社フッ素樹脂ライニングを用いたシステム設計・製作を行っております！

「貯槽（ストレージタンク）」をはじめ、半導体製造ラインなどの設備に 薬液昇温装置として使用されている「薬液ヒーター」などをラインアップ。 また、タンク内や攪拌羽根等のインターナル、その他配管等の内面へ 当社フッ素樹脂ライニングを用いたシステム設計・製作を行っております。 【事業内容】 ■各種プラント、化学プラント装置、化学機械、光学機械、工作機械、 　製鉄機器、公害防止設備...

メーカー・取り扱い企業： ニッシンコーポレーション株式会社 本社

ポイントタイプ液漏れ検知器『リークラーン OD-7』

液漏れを早期に発見し事故を最小限に防止！油、有機溶剤検知器にＲｏＨＳお…

ポイントタイプ液漏れ検知器「リークラーン OD-7」は、多種類の油や有機溶剤に対応する高性能なセンサと組み合わせて使用する機器です。 一般工場・各種プラント・火力、原子力発電所等の機器や、配管からの液漏れを早期に発見し、事故を最小限に防止することができます。 【特徴】 ■検知方法は抵抗変化方式を採用 ■液漏れと断線の警報を各々別の外部接点から出力することが可能 ■対象液体や液...

メーカー・取り扱い企業： ラポールプラントエンジニアリング株式会社

プラズマCVD装置『210Dモデル』

φ200mmウェーハまで対応！成膜・エッチングの両用が可能なプラズマC…

CP-RIEドライエッチャー ■-20℃～150℃(オプションにより変更可能) ■クーポンタイプから最大φ200mmフルウェーハまで対応 ■2”ウェハ7枚、3”ウェハ3枚等のバッチ処理も可能 ■ガス配管：標準8ライン(オプションにより最大11ライン) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

マイコン制御式 プリント基板用エッチングマシーン　ES-800M

マイコン制御により、短時間で高品質のエッチングを実現

、水洗槽　各1個 安全装置：上蓋2重構造、緊急停止ボタン、液面センサ、液温センサ、漏電ブレーカー付き 本体材質：硬質PVC（耐熱　約50℃） 本体外形寸法：W925×D730×H1460mm（配管カバー、フィルター装着時） 電源 AC100V：1.4kVA　50/60Hz 本体乾燥重量：約130kg...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

『超高精度誘導発熱ジャケットロール』

250℃のロール表面温度で±0.5℃以内の温度分布を実現するジャケット…

ムでの高温精密加工を可能にしました。 可燃物を使わない安全でクリーンな電気式制御で、ナノレベルの厚み精度が 求められる光学用フィルムや、食品包装資材の加工に優れた特性を発揮します。 また、配管や付帯設備が不要なため、作業環境の省スペース化にも貢献します。 【特長】 ■機械精度は250℃の高温下で円筒度・真円度ともに0.003mm以内 ■常温下の円筒度・真円度・振れは究極ともいえ...

メーカー・取り扱い企業： トクデン株式会社

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２５シリーズ

特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ

セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

Ｌ（ＶＡＲ材）を０．１８Ｒａに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。 オプションで多様なチューブ内径と面シール継手が用意されています。 堅牢な構造で配管のねじれ、溶接時の熱衝撃など組み付け時のトラブルを減少させます。 また８５℃までのベーキング処理が可能です。全品ヘリウムリークテストを実施しています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

フッ素系溶媒対応チラー　ペルチェ式チラー・冷凍機式チラー

昨今入手困難で貴重なフッ素系溶媒の使用量を抑えることができるチラーです

t（FC-3283等）、Novec（HFE-7100、HFE-7200等） 　Galden （HT-200等）、Opteon（SF10等）など多くのフッ素系溶媒に対応できます ・タンク容量・内部配管容量がわずかなので、高価なフッ素系溶媒の使用量をへらすことができ イニシャルコストが抑えられます ・密閉構造で貴重なフッ素系溶媒が蒸発しにくいのでランニングコストを抑えることができます ・ペル...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

フッ素樹脂ボールバルブ【半導体、製薬、食品工場ラインに最適！】

半導体・製薬・食品業界に最適なフッ素樹脂ボールバルブ！耐熱性・耐薬品性…

擦性） ・絶縁性が高い ・紫外線に強い ・屈折率が小さい 【付属品ラインナップ】 ・チェックバルブ ・チューブ ・ツギテ ・バブリング ・フィルターホルダー ・冷却器 ・分配管 ・液面計 ・圧力計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニバーサル

300mmバッチクラスタ装置「Sprinter」

枚葉プロセスレベルの成膜品質をバッチ装置で！クラスタシステムにより生産…

様のファクトリーオートメーション間のスムーズな接続を保証します。 SEMI S2 / S8認定は、システムが業界の厳しい規格と互換性があることを保証します。 完全に分離されたプリカーサ供給配管と注入口を備えた特許取得済みのデュアルチャンバ、ホットウォールリアクタ設計により、 優れた歩留まり、低パーティクルレベル、優れた電気特性・光学特性を備えた高品質のALD膜を作成します。 コンパク...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

ラボ用、高精度スリットコータ『リサーチコータ』LC-R300G

企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精…

学研究室等での実績多数 ■量産装置と同様のプロセスで、生産機検討を視野に入れた評価が可能 ■全面塗布、ストライプ塗布、ブロック塗布など用途に応じた塗布パターン ■超少量シリンジポンプで最少50cc（配管容積15cc)の塗布材料より実験可能 ■環境チャンバ（オプション）に設置すれば、酸素、水分などの環境コントロールが可能 ■減圧乾燥装置、ホットプレート焼成装置もご用意（オプション） ★下記「PDF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

脱気システム Livalley

気泡の原因を元から除去！既存プロセスに後付けするだけで溶存酸素を10p…

酸素等）を高効率で除去、または供給することで液中の溶存ガスをコントロールすることにより、お客様の抱える生産プロセスを改善できるシステムです。 ■特徴２：既存プロセスに後付けするだけ お客様の配管を切ってつなぐだけ！1pass使用が可能な超高効率脱気性能！ 従来脱気装置と比べ、大幅な低価格化・小フットプリント化を実現しました！ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東設 本社ヘッドオフィス

アローズエンジニアリング株式会社　会社案内

お客様のニーズに的確に捉え、最適なサービスを提供し、躍進して参ります。

ng Boxのリペアーサービス →各種コンポーネント機器の修理＆オーバーホール →各種ボード（PCB基板）の修理 ○付帯設備・製造 →半導体製造装置の新規設置及び移設に伴う付帯工事 →真空配管・ガス供給ラインの設計・製作・施工 →制御盤設計・製作 ○クリーンルーム →自社クリーンルームなのでスピーディな対応を実現 ○装置サポート →新規装置の立ち上げ →中古装置の立ち上げ ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

原子層堆積装置『AFALD-8』

優れた段差被覆性と精密な膜厚制御！高品質な成膜が可能

載数：最大4基 ■反応ガス搭載数：最大3系統（マスフローコントローラ） ■最高基板加熱温度：400℃（設定値） ■真空ポンプ：ドライポンプ（ケミカル対応型） ■ホットウォール：標準搭載 ■配管加熱：標準搭載 ※個別制御可 ■圧力コントロール：自動調圧バルブ ※各室個別制御可 ■プロセスガストラップ：標準搭載 ■ユーザーインターフェース：PC/AT（パーソナルコンピュータ） ■モジ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

スーパーバブラーWAC

先進の電気抵抗率制御技術で超純水の静電気を抑制！！

徴】 ・半導体製造やFPD製造、ダイシング工程での洗浄水の電気抵抗率を最適 　化。 ・静電破壊や微粒子の再付着を防ぎ、歩留まり向上。 ・全機種電気抵抗率センサーが内蔵されているので据付・配管が容易で 　す。 ・最大通水量：3,000L/h、圧力損失：0.06MPa at 3,000L/h ・運転スイッチを押して電気抵抗率を入力すれば、瞬時に設定値 　±0.03MΩ・cmで制御が...

メーカー・取り扱い企業： 日東機器ファインテック株式会社

塗工装置『CEDコーター』

全塗工工程が完全密閉状態で進む！最新鋭の技術を駆使したCEDコーター

するコーターヘッドが特徴 →様々な塗工方法がかなうクリーンルーム用のCEDコーター ○ポンプユニット →CEDコーターに塗工液を供給するポンプユニット →可搬式のため、クリーンルームの外から配管でつないで利用できる →溶液の交換や清掃時に非常に便利 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート

ウエキコーポレーション　ガストータルソリューション

ガス設備設計・製作・施工、ガス使用現場のトータル管理、高圧ガス・特殊ガ…

・ガスエンジニアリング＆サポート 高圧配管設備施工、シリンダーキャビネット、ガスユニット、ボンベバルブ自動開閉装置、ガス混合装置、燃焼試験装置、警報監視システム、薬液供給設備、真空関連機器 ・ガスサービス事業 供給設備管理、特殊ガス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウエキコーポレーション

焼付固着を防止できるボルト『SDCクリーンボルト』【潤滑剤不要】

潤滑剤・めっきを使わず焼付・カジリを防止！クリーン環境に最適な六角ボル…

防止対策が使用できない現場での利用に最適です。 【こんな現場での利用がオススメ！】 ◎不純物を極力嫌う半導体製造装置やクリーンルーム内 ◎食品・飲料関係 ◎医薬品・化粧品関係の製造装置や配管部 【特長】 ◆潤滑剤やめっきなどを使用せずに焼付き固着を防止 ◆アウトガスも発生しない 【詳しくはカタログダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＣ田中

ボールバルブ（ボール弁）『BCシリーズ』

標準で禁油・禁水対応のボールバルブ。LET-LOK（食い込み継手）接続…

ガス関連装置、一般的なガス配管等に最適なSUS316製ボールバルブ（ボール弁）です。 ＜特長＞ ・標準で禁油・禁水に対応し低コスト ・コンパクト設計 ・禁油・禁水でありながら軽い操作トルク ・パネルマウント対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

Parker 計装用ニードルバルブ

パーカー製 V シリーズ・ニードル・バルブ

を備え、－ 54 °C ～ 232 °C（－ 65 °F ～ 450 °F）の範囲の温度と最大5000 psig（34.5 MPa）の圧力に対応する V シリーズ・ニードル・バルブは、小型化された配管システ ムの設計時に最大限の柔軟性を提供します。...

メーカー・取り扱い企業： アマノ機工株式会社 パーカーストア豊田店 パーカーストア事業部

クイックコネクタ（カプラ）　『QC-LOKシリーズ』

計装用クイックコネクタ QC-LOKは、高機能、高強度のロック機構によ…

クイックコネクタ（カプラ）QC-LOKは、最高使用圧力 20MPa（QC4シリーズ）で使用できる高圧対応の製品です。 頻繁に入れ替えが発生するような装置の配管において簡単、安全な設置を可能にします。 ＜特長＞ ・最高使用圧力 :20MPa（QC4シリーズ） ・ボディ材質：ステンレス316 ・用途に応じてOリングをお選びでき、様々なガス種に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

超高温（300℃）対応圧力センサー

測定媒体温度が-10℃から最高300℃まで対応

し接ガス（液）部へは電解研磨処理を施しております。また、ダイヤフラムにハステロイ材を採用しており、非常に優れた耐食性を有します。精度が±1%F.S.と高精度です。さらに真空引きにも対応しております。配管接続はストレート、Tアングルの2タイプで、各種継手への対応が可能です。クリーン二重梱包にて出荷致します。なお、出力信号については、増幅回路部が外部取り付け方式（標準付属）にて4〜20mA、0〜5Vか...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

高純度ライン用ダイヤフラムバルブ　『UCVシリーズ』

半導体製造装置およびその周辺配管で要求されるクリーン度に対応したウルト…

本カタログには下記アイテムが記載されております。 ・3Lシリーズ（オールメタルシール） ・2Lシリーズ（ソフトシール） ・EVZSシリーズ（かしめシート） ・2LEシリーズ（コンパクト型） 用途、流体に合わせた仕様のバルブをお選びいただく事が可能です。 耐圧：1Mpa、16MPa、21MPa 温度：250℃（オールメタルシール3LT） 2L、3Lシリーズではダブルメルト材ボディ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン