【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

10nmフィードバックステージコントローラ　FC-511

10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！

10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式：FC-511 接続対象ステージ：FS-10...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

アライメントステージ(NTX形)

直動運動＋回転運動の駆動要素を同一平面上に配置した薄型ステージ！

『アライメントステージ(NTX形)』は、直動運動＋回転運動の駆動要素を 同一平面上に配置した薄型ステージです。 回転中心位置の自由設定が可能。 サイズやストローク、透過穴等用途に合わせた特殊仕様に対応もできます。 詳細はお気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■NTX-C15-AC ■NTX-C25-AC ■NTX-C35-AC ■NTX-A50-AC ■NTX...

メーカー・取り扱い企業： 三井電子株式会社 産業機器分野のサービスパートーナー

フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版

リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製…

当社が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および 真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。 フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、 ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。 【大気用システムの特徴】 リニア...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

6軸ステージコントローラ『TBB-6000』

最大250分割可能なマイクロステップドライバを内蔵した6軸ステージコン…

『TBB-6000』は、タッチパネルによる手動操作、インタフェースからの 遠隔操作に対応したコントローラです。位置決めに関する基本機能の他、 拡張性を有しているのでご要望よりカスタマイズ、OEM製作が可能です。 【特長】 ■5相ステッピングモーター用　■マイクロステップ ■モータードライバ内蔵　　■19インチラックに収納可能 【カスタマイズ・システムアップ対応例】 ▼軸拡張：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

1nmフィードバックステージコントローラ　FC-911

1nm分解能で位置決めステージを制御！

1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。...型式：FC-911 接続対象ステージ：FS-10□０UPX シリーズ、FS-10□0SPX(MD)Aシリーズ、FS-10□0UPX(V)シリーズ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

精密電動リニアステージ『X-LRT-AECシリーズ』

アナログリニアエンコーダ内蔵！耐荷重5,000N（約500Kg）の高剛…

『X-LRT-AECシリーズ』は、コントローラ・ドライバー内蔵の 高剛性（最高耐荷重・カンチレバー荷重）精密電動リニアステージです。 ステンレス製の防塵カバータイプがあり、駆動モータの配置は ライン上（シングル）設置、又は並列設置（デュアル）の2タイプ。 また、駆動方式はA、B、Dモデルは精密リードねじ、 Hモデルは精密ボールねじとなっております。 【特長】 ■耐荷重5,...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

自動ステージ　自動回転ステージ：KREシリーズ

必要な機能だけに特化し、驚きの低価格を実現！！

薄型「既存回転ステージ比20%DOWN」、軽量「既存回転ステージ比10%DOWN」、低価格「既存回転ステージ比24%DOWN」の自動回転ステージ：KREシリーズです。 ステージ面サイズ：φ39の「KRE04360」とステージ面サイズ：φ60の「KRE06360」をご用意しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...【特徴】 ○薄型 →既存回転ステージ比20%...

メーカー・取り扱い企業： 駿河精機株式会社

『ピエゾステージ』研究・産業用途にも！

研究・産業用途にも！超小型超高真空極低温対応可能『ピエゾステージ』

オーテックス株式会社が取り扱っている『ピエゾステージ』は、超小型で 超高真空極低温でもスタンダードで購入しやすい価格の製品です。 極小ピエゾステージ「MS15」などの各種小型ピエゾステージの他、 「SMファイバーカプラー」や「XYZポジショナー」等も取り扱っております。 【特長】 ■超高真空（10-10mbar）極低温（4K）標準品で対応 ■超小型ステージ（15mm×15mm） ...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

精密電動リニアステージ『X-BLQ-Eシリーズ』

70mm～3000mmまでのストローク長！ベルトドライブ高速ステージ

『X-BLQ-Eシリーズ』は、最大2m/sの高速タイプの 精密電動リニアステージです。 エンコーダ内蔵によるスリップ/ストールからの 自動回復、位置フィードバックが可能。 また、繰り返し位置決め精度は＜10μm、 最高分解能が4.21875μmの製品となっております。 【特長】 ■70mm～3000mmまでのストローク長 ■最大2m/sの高速タイプ ■エンコーダ内蔵に...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

真空対応5nmフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　リニアエンコーダ内蔵により5nm分…

光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』ま...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

ロングスケールステージ FS-3000/2000シリーズ

【精密位置決め装置】ロングストロークで高分解能・高い位置決め再現性・位…

光学式リニアスケールを搭載して検出誤差を少なくした高分解能ロングストローク位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 200mm 』『 300mm 』『 400mm』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

微小回転用フィードバックステージ FS-1120θ

【精密位置決め装置】『0.00005°』又は『0.0001°』のフィー…

光学式エンコーダを内蔵したストローク『±4°』の微少回転用位置決めステージです。 最小ステップ送り『0.00005°』(*1)又は『0.0001°』(*2)でフィードバック制御が可能となっております。 自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-401との組み合わせ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3Cシリーズ」

電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ　　　　　　～ …

超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。 スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 【特長】 ○超薄型構造・低重心 ⇒３軸...

メーカー・取り扱い企業： ヒーハイスト株式会社 本社・埼玉工場

マイクロスリム精密自動ステージ　GT-MSシリーズ

なんと指サイズ！！マイクロスリム精密自動ステージ

下記紹介でご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。...◆◇◆特徴◆◇◆ ◆かつてない小ささ！20×23mm、指サイズの超小型精密自動ステージ ◆超小型でありながら精密送りネジと剛性・平面精度の高い 精密クロスローラーガイドを採用し、高精度・高分解能構造で さらに1kgの荷重がのせられる高剛性を実現 ◆本体部に原点検出機能（フォトセンサ）を搭載し ステージ幅20mm...

メーカー・取り扱い企業： ワイヤード株式会社

XYZステージ　XYZシリーズ

XYZステージ　XYZシリーズ

3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機 その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 　各種超真空装置に使用可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能 　クロスローラベアリングによる精密移動 ○トランスファーロッド...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

精密電動リニアステージ『X-LDM-AEシリーズ』

コントローラ・ドライバー内蔵！高速・高精度搬送などの用途に好適

『X-LDM-AEシリーズ』は、高精度アナログリニアエンコーダを 内蔵した精密電動リニアステージです。 ストローク長が60、110、210mmとなっており、位置決め分解能は＜s1nm。 また、最大中心荷重は120N（約12Kg）で、最小移動単位、 繰り返し精度が25nm＜0.08μmの製品となっております。 【特長】 ■位置決め精度：＜1μm ■最高速度：1200mm/s...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

自動ステージ『KXTシリーズ』

必要な機能に特化し、驚きの低価格を実現！X軸リニアボールガイド

『KXTシリーズ』は優れた機能で低価格を実現したX軸方向に移動する 自動ステージです。 ステージ面サイズ□40mmの「KXT04015」と、□60mmの「KXT06015」を ラインアップ。 使用条件に応じて最適な機構の製品、ご使用方法をご案内いたしますので お気軽にご相談ください。 【特長】 ■必要な機能に特化 ■低価格を実現 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お...

メーカー・取り扱い企業： 駿河精機株式会社

簡易型LED光度測定ステージ

サンプル位置不問！短時間でLEDの光度・スペクトル・色度などを測定

分光装置と光度測定プローブの間は石英バンドルファイバーでカップリングされ、LEDからの光を安定して分光装置川に供給します。勿論、LED発光時の外からの遮光も光度測定プローブをサンプルステージにかぶせれば、一切心配する事がありません。 様々なLEDサンプルの形状に対応したサンプルホルダーも豊富にご用意しておりますので、砲弾型やステム型、小さなSMDや基板に実装されているサンプルにも対応致します。専...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スペクトラ・コープ

精密電動リニアステージ『X-LDQ-AEシリーズ』

1nmの分解能リニアアナログエンコーダ内蔵によるフルクローズドループ制…

『X-LDQ-AEシリーズ』は、最高分解能（最少移動単位）50nmの 精密電動リニアステージです。 画像解析等低振動搬送用途、高速・高精度搬送用途などに好適。 また、コントローラを内蔵しており、他のZaber製品と デイジーチェーン接続が可能となっております。 【特長】 ■1nmの分解能リニアアナログエンコーダ内蔵による 　フルクローズドループ制御、高速高精度位置制御 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

精密電動リニアステージ『X-DMQ-AEシリーズ』

コントローラ・ドライバー内蔵！推力制御モードにより推力の調整が可能

『X-DMQ-AEシリーズ』は、エンコーダ（リニアアナログ式） 分解能が1nmの精密電動リニアステージです。 200nmの分解能リニアエンコーダを内蔵しており、 フルクローズドループ制御による高精度位置制御が可能。 振動検査、材料特性解析などの用途にご使用いただけます。 【特長】 ■ストローク長12mm、精度4μm ■最大推力15.5 N、連続推力12N ■推力制御モー...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

精密電動リニアステージ『X-LRT-EC、-E、-Cシリーズ』

高負荷（500Kg）対応！コントローラ内蔵スタンドアローンユニット

『X-LRT-EC、-E、-Cシリーズ』は、ストローク長1500mmまでの バリエーションがある精密電動リニアステージです。 駆動ネジピッチのバリエーションにより最大推力は700N（70kg）。 また、耐荷重1000N（100kg）の高剛性で、他のZaber製品と デイジーチェーン接続が可能となっております。 【特長】 ■耐荷重1000N（100kg）の高剛性 ■ストロー...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

精密電動リニアステージ『X-LRQ&LRQシリーズ』

負荷容量（耐荷重）は100kg！選択肢が豊富なモデルをご紹介します

『X-LRQ&LRQシリーズ』は、送り速度が最高840mm/s（40mm/s～）の 精密電動リニアステージです。 ストロークは、75、150、300、450、600mmとなっております。 また、最大トルクはA：110N、B：100N、D：25N、H：300Nで、 駆動ネジはA、B、D：精密リードねじ、H：精密ボールねじです。 【仕様（一部）】 ■ストローク：75、150、...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバー内で使用可能です。 リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 ...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、 　リニアエンコーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

Zステージ　LMTシリーズ

Zステージ　LMTシリーズ

各種コンポーネントを取り付け 大気側から直接移動調整が可能な中空Zステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により 　MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○φ34CF〜φ114CFまで対応 ○各種センサー・蒸着源と組み合わせることにより 　真空内への移動が容易に行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロー...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

精密電動リニアステージ『X-LSQシリーズ』

コントローラ・ドライバー内蔵！他のZaber製品とデイジーチェーン接続…

『X-LSQシリーズ』は、最高速度1000mm/sの速さと 最大推力100Nの力強さをもつ精密電動リニアステージです。 ストローク長は75、150、300、450、600mmで、 負荷容量（耐荷重）は最大20kgの製品。 また、ロータリエンコーダ内蔵タイプの「X-LSQ-Eシリーズ」も ご用意しております。ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■最高速度...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

精密電動リニアステージ『X-LRMシリーズ』

焼入れ鋼材と再循環ボールベアリングガイドによる、優れた剛性と熱安定性！

『X-LRMシリーズ』は、耐荷重50kgの精密電動リニアステージです。 優れた剛性と熱安定性を持っており、コントローラ内蔵で、 他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能。 また、ロータリーエンコーダ内蔵タイプで、スリップ/ストール検出機能と 自動回復機能付きの「X-LRM-Eシリーズ」などもございます。 【仕様】 ■ストローク長：25、50、100、150、200mm...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

精密電動リニアステージ『X-LSMシリーズ』

コントローラ内蔵でほかのZaber製品とデイジーチェーン接続可能！

『X-LSMシリーズ』は、最大耐荷重が10kgの精密電動リニアステージです。 最高速度が104mm/s、最大推力（トルク）は55Nとなっており、 コントローラ内蔵でほかのZaber製品とデイジーチェーン接続可能。 また、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付きの ロータリーエンコーダ内蔵タイプ「X-LSM-Eシリーズ」もございます。 【特長】 ■最大耐荷重：10kg ...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

手動直動ステージ　Z軸リニアボールガイド（SS）ステージ

高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです

Z軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...【特徴】 ○ガイドと本体が一体の薄型構造 ○本体材質：ステンレス ○ガイド部にゴシックアーク溝を採用 ○高強度・高精度を実現 ○黒色タイプもあります ...

メーカー・取り扱い企業： 駿河精機株式会社

超精密位置決めピエゾステージ　総合カタログ

最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです

最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ　総合カタログ』です。 豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」 顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」 対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」 アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」 超精密切削におけるナノ・マイク...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

自動ステージ『クロスローラガイド』

コンパクトで高精度！筐体にアルミを使用し軽量化

『クロスローラガイド』は本体材質にアルミを用い、軽量・コンパクト・高精度 な自動ステージです。 V溝レールとクロスローラによる線接触の為、高い剛性が得られます。 作動すべりがほとんどなく、低摩擦で微小送りにも適しています。 「KXCシリーズ」はセンサがステージ筐体に埋め込まれている為、 テーブル面からのでっぱりが少なく左右勝手を気にせずご使用いただけます。 「KXシリーズ」...

メーカー・取り扱い企業： 駿河精機株式会社