X線検査受託サービス【大型製品に対応】Nadcap認定を取得

PRギガキャストなど大型製品のＸ線検査に対応！

KILTではX線CTと透過X線の異なるタイプのＸ線装置を保有しており、 様々な材質やサイズの製品のX線検査に対応しています。 最新鋭のＸ線ＣＴシステム「FF85」は、 国内最大クラスの出力を誇る600kVミニフォーカスX線管と 高精細なX線撮影に最適な225kVマイクロフォーカスX線管を搭載、 また、ラインセンサとフラットパネルの２つの検出器を搭載しており、 あらゆる対象物のCTスキャンを行って...

メーカー・取り扱い企業： TANIDA株式会社 かほく本社工場

製薬企業向け製品ラインナップ

PR製薬用水の管理、洗浄バリデーションなど…製薬用水の様々なお悩み、ご相談…

【Sievers Soleil - バイオバーデン迅速分析装置】 ハイスループットフローサイトメトリー法を採用したバイオバーデン迅速分析装置です。 45分で分析可能で公定法であるプレート法とも高い相関性があります。 ＊セミナーアーカイブ配信中＊ Sievers 製薬用水セミナー2024～製薬用水の水質可視化とバイオバーデン迅速分析～ 講師：布目 温 氏 アーカイブ配信の視聴をご希望...

メーカー・取り扱い企業： セントラル科学株式会社

超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」

X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ター…

従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。 【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッ...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

ジュンフロン　ハイバリアチューブ

半導体や太陽電池の洗浄装置等で使用される酸やアルカリの透過を抑制し、周…

バリア性に優れるふっ素ポリマーチューブです。 内層にはふっ素ポリマーPFAを、外層にはバリア性ふっ素ポリマーを使用し、潤工社の精密多層成型技術により信頼性の高い2層構造のチューブに仕上げました。 接液部の内層は半導体用PFAを使用し、半導体配管用途での高い基本特性（純粋性・耐薬品性・非粘着性・耐熱性）を備えています。 バリア性ふっ素ポリマーは酸（塩酸・硝酸等）・アンモニアのバリア性に優れ、半...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社シンアイ産業

ED SCOPE Til　イーディー スコープ タイル

見えない、見にくいナノサイズの欠陥を鮮明に浮き上がらせ可視化する新感覚…

・目視検査が困難なウエハ内外部の欠陥を誰でも簡単に定量的に短時間で検査・評価することが可能。 ・特殊光学系技術と特殊画像処理技術のコラボにより欠陥を鮮明に浮き上がらせ可視化。 ・深さ（Ｚ方向）はナノレベル、視野範囲（ＸＹ方向）はマクロレベルの観察が可能。 ・スクラッチ、クラック、ディンプル、ウォーターマーク、スリップ、ソーマーク、ボイド、異物...等の検出。 ・自動タイリングステージにより...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピストンリング株式会社

最大2100万画素 SWIRカメラ

高画素(5M・12M・21M)SWIR帯域の撮影や各種検査用途に応用可…

最大21Mの高解像度とSWIR波長にて検査を行うことで、通常検知できない欠陥を捉え、生産の効率化に貢献します。 【SWIRカメラ活用例】 ■ウエハ検査で、可視光下では見えないキズを発見。 ■基板のスルーホールを目立たせて見ることができ、穴の位置や大きさの検査を平易化。 ■可視光下では同色に見える被写体が、SWIR帯域下では水分浸透率の違いにより異なる色に映り、素材や内容物の違いを判別。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーアイエス

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

赤外線顕微鏡　「ＩＲ−1300VCSEL」

VCSELの酸化部の観測、計測に特化した赤外線顕微鏡です。

高解像度赤外線ＣＭＯＳカメラとリアルタイムエンハンスソフトウェアによりVCSELの酸化部を鮮明な画像で表示する赤外線透過顕微鏡システムです！！ ～特徴～ ●反射/透過照明での不鮮明画像をリアルタイムエンハスサソフトで鮮明な画像に改善表示します。 ●VCSELの酸化部や境界部の画像観察、保存が可能。 ●画面上での寸法計測、面積計測が可能。 ●反射照明光の波長を変化させることが可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社

赤外線顕微鏡　「ＩＲ−1300」

傷や異物の寸法計測も可能！シリコンチップの内部観察に適しています！

高解像度赤外線ＣＭＯＳカメラとエンハンサソフトウェアにより各種 シリコンデバイスの界面検査を鮮明な画像で表示する赤外線透過顕微鏡システムです！！ ～特徴～ ●反射/透過照明での不鮮明画像をエンハンサソフトで鮮明な画像を入手。 ●デバイス界面のボイド・傷・異物の欠陥画像観察、保存が可能。 ●画面上での寸法計測、面積計測が可能。 ※詳細はカタログをダウンロードして下さい。 ....

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社

発光解析のための半導体の裏面研磨

様々な形態の半導体で裏面研磨が可能！素子、不具合の様子の観察が出来ます

裏面OBIRCH/発光解析や裏面発光解析の前処理として各種形態のサンプルの 裏面研磨を行います。 これは、裏面から解析を行うため不可欠な前処理です。 裏面から解析することで、不良を保持したまま発光を検出できるだけでなく、 形状異常の有無も観察できます。 また、パッケージ、開封済みチップ、ウエハー等様々な形態の半導体で 裏面研磨ができ、さらにリード端子を生かした状態の裏面研磨も可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

８９００型シリーズ　脱気装置

装置のロングライフ運転に成功しました。脱気装置の高耐久性は、送液ポンプ…

大きな真空変動もなく、安定した溶存酸素を取り除いた溶媒を、送液ポンプに供給する高性能な脱気装置を開発しました。 パルスモータと独自の制御ソフトの組合せ、そして装置作動中は常時大気導入機構の自己クリーニング方式で真空ポンプの長寿命が実現できました。 脱気モジュールの透過膜は、高性能テフロンAF（アモルファス　フルオロポルマー）を使用しています。AF素材はエアー透過率にとても優れています。 よって、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＡＱＵＡＴＨ

『X線検査装置 製品カタログ』※7冊まとめて進呈中！

シリーズ史上最高の汎用性で、傾斜検査も可能な『SHRシリーズ』他、Ｘ線…

★ただいま、当社のX線検査装置をまとめた『カタログ』を進呈中です★ 当社では、シリーズ史上最も汎用性が高く、超高解像度X線画像によって 微細な検査が行える『SHRシリーズ』をはじめ、 多彩な“X線検査装置”を多数ラインアップしています。 【『SHRシリーズ』特長】 ■自社製マイクロフォーカス搭載（焦点サイズは5μm） ■FPD傾斜機構を標準搭載し、傾斜観察も可能 ■100V電...

メーカー・取り扱い企業： ソフテックス株式会社 営業本部

【DL可STEM/EDS】STEM/EDSによる半導体絶縁膜評価

STEM-EDS観察は半導体のPoly-Si(ポリシリコン)間の絶縁膜…

STEM(走査型透過電子顕微鏡 )とEDS(エネルギー分散型Ｘ線分析装置)では細く絞った電子線を試料上で走査することで、試料の組成に関する情報（原子番号を反映したコントラスト像）が取得できます。 加えて以下の特長もあります。 ・電子線の入射角度を変えることで、回折コントラストの変化を観察 ・観察対象が結晶質であるかの判断 ・結晶内にある結晶欠陥（転位、双晶等）の情報の獲得 本事例では...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

電動アクチュエータ　CHX （精密ステージ） [THK公式］

超薄型、高剛性、高精度を実現

THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ　CHX（小型アライメントステージ）は、超薄型でトップテーブルの小型化を実現、高剛性・高精度の特長を持ちます。光学機器、医療機器、バイオ事業、太陽電池、光学レンズの貼り合わせ装置、ブローブ検査装置、チップデバイス露光・印刷、散布装置、微細レーザ加工機、チップマウンター用アライメントなど、高精度の求められる様々な分野の装置に使用されています。 ...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

ED SCOPE　イーディー スコープ

見えない、見にくいナノサイズの欠陥を鮮明に浮き上がらせ可視化する新感覚…

・目視検査が困難なウエハ内外部の欠陥を誰でも簡単に定量的に短時間で検査・評価することが可能。 ・特殊光学系技術と特殊画像処理技術のコラボにより欠陥を鮮明に浮き上がらせ可視化。 ・深さ（Ｚ方向）はナノレベル、視野範囲（ＸＹ方向）はマクロレベルの観察が可能。 ・スクラッチ、クラック、ディンプル、ウォーターマーク、スリップ、ソーマーク、ボイド、異物...等の検出。 ...◇ 原理：光...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピストンリング株式会社