新規次世代パワー半導体の研究開発拠点を開所

PR低損失化、高耐圧化、小型化の面で優位性を持つ、GeO2半導体の製膜事業…

株式会社クオルテック(本社：大阪府堺市、以下「クオルテック」)は、 「滋賀県立テクノファクトリー」内に、新規半導体材料を使用した パワー半導体の製膜における研究開発拠点を開所しました。 開所式にはクオルテックが本研究開発に関して資本業務提携し、 「琵琶湖半導体構想(案)」を推進する立命館大学発ベンチャー、 Patentix株式会社(本社：滋賀県草津市)も出席し、開所式を行いました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クオルテック

マスキングゴムの塗料剥離に特化した洗浄機！『ミニコマMK-2』

PR使用済みのマスキングゴム、捨てていませんか？当社のミニコマでゴム購入コ…

塗装工程で使用するマスキングゴムの購入コストでお困りではございませんか？ 当社の洗浄装置『ミニコマMK-2』を導入すればマスキングゴムに付着した塗料を剥離することができ、 再利用が可能になります！ マスキングゴムの購入コストや剥離業者への外注コストが大幅に削減出来ること間違いナシですので、ぜひミニコマMK-2の導入をご検討下さい！ 【特長】 ■"インパクトピーラー式"による強い塗料剥離能力 ■洗...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中農製作所

CHRocodile 2DPS＋CHRocodile 2IT

半導体向けインプロセス中におけるウェハー厚み測定センサーのご紹介！

当資料は、ウェハー厚み測定センサーについて掲載しています。 接触ゲージとの置換に好適な「CHRocodile 2シリーズ」をはじめ、 半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザインなどをご紹介。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■CHRocodile 2シリーズ ■半導体インプロセス向...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

非接触厚み測定　光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」

薄膜（数um)～厚膜(780um)まで高精度に測定できる幅広いプローブ…

『CHRocodile 2シリーズ』は、サブミクロン分解能でウエハ厚のインプロセス測定が可能な非接触センサーです。 抜き取りでの品質管理にも使われています。半導体業界の他、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

新色収差共焦点センサー『CHRocodile MPS 2L』

サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無！ホットエンド工程にも対…

『CHRocodile MPS2L』は、同時に24測定ポイントができる 新色収差共焦点センサー(MPS)です。 波長差は一定の厚さに対応。 複数ポイントを1つのプローブヘッドで対応可能です。 サンプルに対してダメー...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

ウエハーステップハイトのインプロセス測定

「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2…

の光学測定法であれば、ワークにストレスを加えたり ワークを破壊したりすることなく加工中のウエハーの厚みがモニター されるため、ソリューションとして好適です。 当社の「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの 測定チャネルを搭載しています。 センサーは2つの色収差プローブを処理し、測定値と出力をリアルタイム に同期。ウエハーの最終的な高さや厚さを...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高速かつフレキシブルなガラス肉厚測定

高い柔軟性と効率性！測定点は最大12.5 mmの長さを持つライン上に広…

要があります。 そして、容器の重要部分を測定する場合や、黒色ガラスや非球形容器を 測定する場合既存のポイントプローブセンサーでは難しい現状です。 当社の「CHRocodile MPS 2Lセンサー」は、測定点最大12.5 mmの長さを 持つライン上に広がっています。 高い柔軟性と効率性で、各チャネルを個別に処理できるため、1本の ラインプローブと最大12個の追加のポイント...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高速・高精度な厚み測定、形状測定に！プレシテック社　非接触センサ

色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・…

【原理】 当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。 ■色収差共焦点 主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。 色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

半導体業界のCMP工程および研削工程の制御

「CHRocodile 2 ITセンサー」は、ワーク処理中にウエハーの…

ローブには、ウエハーとの接触、表面の損傷、厚さ測定にチャック テーブルからの参照値が必要という大きなデメリットがあり、損耗もするので 頻繁な交換も必要です。 当社の「CHRocodile 2 ITセンサー」は、非接触·非破壊の光学測定技術 により、ワーク処理中にウエハーの厚さを計測可能です。 【特長】 ■光学センサーで、一般的な接触式測定器より正確な結果を取得可能 ■直接フ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高速・高精度な厚み測定！プレシテック社　非接触センサ

従来の色収差共焦点法・分光干渉法に加え、レーザー加熱を利用した厚み測定…

プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した光学式センサの開発・製造をしています。 2022年末にフランスのEnovasense社を買収し、不透明体の厚みを測定できるレーザー加熱を利用したセンサもラインナップに加わりました。 高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ、コー...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサ

インライン検査に。70,000ポイント/秒のスキャンに対応。膜厚も測定…

【仕様】 《FSS仕様》 「FSS80」 　原理：分光干渉 　側面分解能：21μm 　分解能(Z)：最小5nm 　スキャンエリア：80mm 「FSS40」 　原理：分光干渉 　側面分解能：6.5μm 　分解能(Z)：最小5nm 　スキャンエリア：40mm ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

【資料】非接触厚み及び形状計測センサー

測定例を多数掲載！CHRocodileの半導体向けアプリケーションをご…

【その他の掲載内容(抜粋)】 ■例1：ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例：分光干渉式Si厚み ■分光干渉原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■例2：ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例：色収差共焦点によるステップハイト(厚み） ■色収差共焦点原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■測定例3：バンプウェハーの形状計測 ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

【資料】CHRocodileシリーズのご紹介

非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています！

【その他の掲載内容(抜粋)】 ■原理2.共焦点厚み測定モード(透明体の厚み測定) ■白色光センサー ■CHRocodile C ■干渉センサー ■CHROMATIC VISION CAMERA(色収差式高焦点深度ラインカメラ) ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

プレシテック社　非接触センサメーカーのご紹介

色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・…

【原理】 当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。 ■色収差共焦点：主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社