防爆スポットクーラー　DGR-1A/3A-SP/SPS

PR産業安全技術協会（TIIS）検定合格品でゾーン１（第一類危険箇所）とゾ…

防爆スポットクーラーは、危険場所のうちゾーン１（第一類危険箇）とゾーン2（第二類危険箇所）で使えます。 電源は三相200V、単相100Vの2種類。 冷媒回路は内圧防爆構造、制御回路は耐圧防爆構造、ユニットの装置はすべて防爆構造。 装置下部にドレンタンクを装備。 オプションにて電源コードの長さの変更可能(標準3ｍ)本体の移動や固定に便利なキャスター・ストッパー付きです。 【特徴】 ○ゾーン１（第一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同工業所 楠根工場

【新製品】脱脂用洗浄剤 『ネクシアS-63』フッ素系洗浄剤

PRHFCを含まないフッ素系洗浄剤！様々な法規制に非該当！PC・ABS樹脂…

『ネクシアS-63』は脱脂洗浄に適したフッ素系洗浄剤です。鉱物油系加工油付着の鋼板・金型・ロール等の手拭き洗浄、金属加工部品の浸漬洗浄等が可能。他フッ素系洗浄剤と比べて、コストパフォーマンスに優れております。HFCを含まないフッ素系洗浄剤のため、環境に配慮した洗浄剤です。 『ネクシアS-63』の主な特長 1)HFC,臭素を含まないため、法規制の該当が少ないことによる扱いやすさ 2)オゾン破壊係数...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネコ化学

高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式…

A200Vは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・犠牲膜等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした枚葉式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・絶縁膜・拡散/インプラマスクの成膜に好適 　・枚葉式Face-down成膜による低パーティクル成膜 　・密閉式チャンバーによる高い安全性と成膜安定性 　・ウェハ反り矯正機能（特許取得済）によるSiCウェハ対応 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

マスク洗浄機｜全自動マスク洗浄装置「TWC-200A」

マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去

TWC-200Aは露光工程で使用されるマスクの洗浄に特化して開発されました。 本装置の特長はマスクに付着したレジストとパーティクルを一挙同時に全自動で除去する点にあります。 特にレジスト除去に関しては大手薬品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

プラズマエッチャー【RIE.S-200A】レンタル始めました～♪

有機・無機問わず高いエッチング効果！ １週間～レンタル始めました～♪…

Siやカーボン膜の受託エッチング！ その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に お使い頂けます♪ 一週間～レンタル可能で研究開発をスピーディーにサポート致します！ 初回条件出しやデモ処理は無償対応。... 出力 MAX300W 周波数 13.56MHz 外形寸法 510(W) ×850(H)×760(D)mm 重量 約 85Kg　 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

プラズマエッチャー【CPE.S-200A】

有機・無機問わず高いエッチング効果！

Siやカーボン膜のエッチング！ その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に お使い頂けます♪... 出力 MAX300W 周波数 13.56MHz 外形寸法 510(W) ×850(H)×760(D)mm 重量 約 85Kg　 ガス系 マスフロコントローラ１系統(２系統はオプション) 浮子式流...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

6・8インチ用　ウェハソータ　W-ST-200A

6・8インチ用　ウェハソータ　W-ST-200A

8種類までのレシピ登録が可能な 6・8インチ用ウェハソータ 【特徴】 ○3軸円筒座標型ロボットにて、ウェハカセット間でウェハを移載 ○カセットは抜き取り用を含む3カセット仕様 ○番号に対するスロットの指定が可能 ○OCR、アライメントのON/OFFの設定が可能 ○クリーンルーム内での使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...8種類までのレシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

枚葉式常圧CVD装置『A200V』

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを…

『A200V』は、少量多品種から大量生産までカバーするφ150・φ200mm ウェーハ対応の枚葉式常圧CVD装置です。 フェイスダウン式成膜方法の採用により優れた膜厚均一性、パーティクル 制御、埋め込み性能を発揮し、SiH4をベースとしたシリコン酸化膜を成膜。 また、TEOS-O3、SiH4-O3もオプション対応が可能な装置です。 【特長】 ■フェイスダウンポジション ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所

超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』

スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転！スピンコート機ACT-2…

『ACT-200SM-S』は、1,000～60,000rpm±1％以下（試料台Φ20実績値）の超高速回転が可能な卓上型スピンコーターです。 薬液の揮発性が高くスピード重視、粘性が高めでより強いスピンが必要、さっと広げてごく薄い膜を得たい・・・そのような課題をお持ちであれば是非超高速回転による遠心力をご検討ください。 基板サイズΦ3～Φ50mmに対応し、基板の保持方法は両面テープやピン保...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ源3源+3系統（MFC制御）、RF/DC PSUの増設（最大2電源まで）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

枚葉自動スピン剥離装置

本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能

カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。...【特徴】 ■装置寸法 　 2000W×1200D×2000H　(200WCBT) 　 2000W×1500D×2000H　(300WCBT) ■ワークサイズ 　ウェハー　φ4″～φ8″（300CBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 また、多様なインターフェースも標準装備しています。 【特長】 ■広い測定範囲（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa） ■簡単なセ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

ドライソルベントHS供給機　C27A

ドライソルベントＨＳ供給

本装置は供試品の特性試験のためドライソルベントＨＳを一定圧力､一定温度で安定的に供給し循環使用するためのものである。 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。...【仕様】 〇電源 　・3相200V　10KVA　30A 〇寸法 　・W750×D1210×H1050 ○使用周囲温度範囲 　・10～35℃ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...【特徴】 ■装置寸法 　 2700W×1500D×2000H　(200WCBT) 　 3000W×1500D×2000H　(300WCBT) ■ワークサイズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

大気圧・自公転式撹拌脱泡ミキサー　UFO-A1.5

自転公転式真空撹拌脱泡ミキサーのノウハウを凝縮した大気圧ミキサー

小～中規模生産に最適 ＜特長＞ １．自転・公転独立可変速により材料に最適な回転数に調整可能 ２．堅牢な構造で静音・低振動・長寿命 ３．撹拌温度モニター（オプション）により生産ラインでの温度管理が可能 ４．ストロボスコープを使用して処理中の材料流動状態を確認することが可能...●最大容量：2ｋg（1kg×２個掛け） ●電源：AC ３相　200V ●外形：W645×D852×H995（m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME

スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

nanoPVD-ST15Aは、抵抗加熱蒸着源、有機蒸着源、Φ2inchマグネトロンスパッタリングカソードを同時に設置可能な複合型薄膜実験装置。ベンチトップサイズ・省スペース、限られたラボスペースを有効活用いただけます。 顕微鏡用試料作成用コーターではありません、電子回路基板、電池、MEMS、新素材開発などの研究開発用途で求められる高品質な薄膜を作成することができます。 ガス系統最大3系統（プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

IPA蒸気乾燥装置VD-200CBT　ＩＰＡベーパー

CO2ガスによる自動消火システムを装備

基板が収納されたカセットをエレベータにて自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。凝結したIPAは回収タンクへ回収します。 ...【特徴】 ■保安装置 　 ガス濃度検知器により空気中のIPAの濃度を監視し、設定値を超えると警報を 　発し、ヒーター電源を切る ■IPAの供給/廃液 　 内蔵されたキャニスターにより、IPAの自動供給を行う。 　ワークで凝結したIPAと水はバッファタンクで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

ELID搭載　切断機「ワン・ツー・カットIII型」理学・工学研究

≪ 第12回中小企業庁 長官賞受賞 ≫ マルトーと理学研究所の技術指導…

マルトー社と理学研究所の技術指導者により開発された 高精度な切断機 ■□■特徴■□■ ■切断および研削砥石にELIDを行う事により、常に一定の砥粒の突出量を得ることができ、安定した研削が可能 ※ELIE＝電解インプロセスドレッシング ■メカニズムは、メタルボンド（鉄系ボンド）微細砥粒砥石を電極と対向させ、その間隙に導電性の水溶性研削液を供給し通電を行い、砥石の摩耗速度と不導体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

大気圧自公転式撹拌脱泡ミキサー　UFO-Aシリーズ

自転公転式真空撹拌脱泡ミキサーで培ったノウハウを凝縮した大気圧ミキサー

正確なモーター制御と長寿命で高品質製品の大規模生産に最適 ＜特長＞ １．自転・公転独立可変速により材料に最適な回転数に調整可能 ２．堅牢な構造で静音・低振動・長寿命 ３．撹拌温度モニター（オプション）により生産ラインでの温度管理が 　　可能 ４．ストロボスコープを使用して、処理中の材料流動状態を確認すること 　　が可能 ５．データロギング（オプション）により、生産ラインでのトレーサ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME

大気圧・自公転式撹拌脱泡ミキサー　A-mid550

自転公転独立可変速により材料に最適な状態で撹拌できる優れもの

研究・開発から少量生産に最適な中容量タイプ ＜特長＞ １．自転・公転独立可変速により材料に最適な回転数に調整可能 ２．ベルト類の消耗品交換以外はメンテナンスフリー ３．中容量タイプでも省スペース ４．レシピ登録数が100通り...●最大容量：600ml×１個掛　（標準容器：BHB-610） ●電源：AC ３相　200V±10％　（50Hz／60Hz）　2kVA ●外形：W570×D7...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME

バレル研磨サービス

バレル研磨の事なら当社におまかせください！

当社では、バレル研磨・バリ取りを行っております。 強固なバリ取り、形状をあまり変えないでバリを取りたい、 部分的なバリを取りたい(形状等にもよる)など、 さまざまな形状のご要望にも対応致します。 またバレル研磨(外注加工)をする事によりコスト低減・品質向上へ 繋がるケースが多々ございます。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【研磨項目】 ■金属全般 ■非鉄...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社A・Tテック

ディスプレイモニタ代替品カタログ-4

ディスプレイモニタ代替品カタログ-4

半導体製造装置、産業機器、液晶製造装置、その他制御装置などに使用されているモニタの置き換えに最適です。○対応装置メーカ：日立国際電気,光洋サーモシステム,大倉電気,ウシオ電機,大日本スクリーン製造,ワイエイシイ,日立国際電気,KEM,大倉電気,日本エー・エス・エム,東京エレクトロン,東芝,東京エレクトロン,東京応化工業　○対応モニターメーカ：シャープ,シーク技研,パトライト,ディクシー,富士電機,...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイブル

『マントルヒーター（配管用ヒーター）』

面テープで着脱が簡単。シロキサンの発生がなく、半導体・電子機器等の製造…

当社は配管用の『マントルヒーター』の製作を手掛けており、 配管のサイズ・長さ・形状などに合わせた設計が可能です。 100V・200Vなど、ご希望に沿う電源仕様で製作いたします。 シロキサンの発生がなく、半導体・電子機器分野の 製造現場などでも活用可能です。 耐熱温度は一般仕様で常用300℃／最高450℃、 クリーンルーム仕様で常用200℃／最高240℃です。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 菱有工業株式会社

回転バレル研磨機『Rotary Barrel』

低コストで様々なニーズに対応するバレル研磨のオールマイティ機をご紹介し…

『Rotary Barrel』は、魅力あるイニシャルコストと広い研磨領域を有した 回転バレル研磨機です。 全ての金属、プラスチック、陶磁器、貴石、ガラスなどの バリ、カエリ、 スケール取り、表面研磨の粗仕上げから細仕上げ、光沢・鏡面仕上げまで 対応可能。 当社では、小さいエネルギーで大きな仕事ができ、長時間研磨に好適な 「水平式回転バレル」をはじめ、「転倒式回転バレル」「可傾式...

メーカー・取り扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」は、蒸発源として電子ビーム式蒸発源を採用しています。 高融点金属や酸化物を成膜する事ができます。 蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。 主ポンプはクライオポンプを搭載しています。 操作制御系は全自動式になっています。 【特徴】 ○良好な膜厚分布が得られるように蒸発源と基板治具が配置されている ○電子ビーム式蒸発源は...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

稼動ノズル式鏡面研磨装置　SMAP-W

SMAPメディア専用ノズルの開発に成功！稼動ノズル式の鏡面研磨装置です…

SMAP-Wは、稼動ノズル方式採用により大型及び重量物の研磨に便利な鏡面研磨装置です。 SMAPメディア専用ノズルの開発に成功。ノズルを自由に動かす事ができるので自動化が容易です。 ブロワ方式なので省エネにも貢献します。 スタンダードタイプのSMAP IIや、作業BOXが広いSMAP III型、SMAP IV型、エアーブラストタイプSMAP A1型などもご用意しております。 【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： 浅井産業株式会社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

真空炉『Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉』

卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲…

◉ 卓上サイズ 省スペース：328(W) x 220(D) x 250(H)mm（*2inch用チャンバー参考値） ◉ るつぼ内サンプル焼成用（るつぼΦ50 x 100）, 又はΦ1"〜Φ4"ウエハー焼成用フラットヒーター ◉ ハイスペック&ハイコストパフォーマンス ◉ シンプルな構成、優れた操作性 実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』

ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能！

『MSS600-3』は、矩形カソード W100ｘH500mmによる 3元RFスパッタリング装置です。 基板サイズはW200×H300mmであり、X方向へ搬送しながら蒸着します。 また、基板200mmを30秒から15時間の時間で任意に設定し、膜厚調整や 様々な異種積層成膜が可能です。 【特長】 ■自動スパッタ機能により、長時間のスパッタリング作業も省力で可能 ■GenCor...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社愛知真空

ソフトエッチング装置【nanoETCH】＜30W低出力

＜30W（制御精度10mW）低出力RFエッチングによる、精細でダメー…

【nanoETCH（ナノエッチ）】Model. ETCH5A ＜30W（制御精度10mA）低出力RFエッチングによる、精細でダメージレスなエッチング処理を実現。 2010年グラフェン発見でノーベル賞受賞者率いる マンチェスター大学グラフェン研究グループとの共同開発製品。 ...【特徴・主なアプリケーション】 • 2D（遷移金属カルゴゲナイド, 材料転写後のグラフェン剥離）：表面改質...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

素材表面の洗浄・改質に効果あり! 紫外線洗浄改質装置

シャッタータイプの卓上型洗浄改質装置

安全面も考慮されたシャッタータイプの洗浄改質装置です。 照射サイズ：約160×180mm 操作パネルで照射時間等の設定も簡単に行えます。 ...【仕様】 ■寸法：650×520×495mm（突起物を除く）　■重量：約60kg ■使用ランプ：EUV200GS-**×1本 ■照射エリア：約160×180mm ■照射距離：40(Min)～59(Max)mm ■入力電源：単相200V...

メーカー・取り扱い企業： セン特殊光源株式会社

FOURPロードポートN2パージ改造

現在のFOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造できるキットを…

3種類のパージ 1. ロード時のパージ 2.　 開放時のパージ 3.　 アンロード時のパージ...POINT： 1．Power: AC110V, 15A （Port一つ毎につき、電源ソケットが一つ必要です。機台の必要容量は15A。） 2. Gas: XCDA tube: 3/8”, 6Kg/cm2 （実際には5Kg/cm2まで使用可能です。200L/min; Port　一つ毎につ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トリコ 東京支店