2流体スプレーノズル | イプロスものづくり

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム（オプション）超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

《ソノシス》超音波スプレーノズル

レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

超音波スプレーノズルで形成された粒子（液滴）はピエゾ部分の振動で砕かれます。即ち、加圧式と異なり粒子にスピードがありません。そのため、自然に落下してしまうか、風の影響で浮遊してしまいます。そこで空気搬送（キャリアエアー）を使用して形成された粒子を搬送させて、塗布させます。 ...通常、細かい粒子を作る場合は、加圧が必要です。若しくは二流体という流体を2つ使用して液体を砕く方法が主...

メーカー・取り扱い企業：ティックコーポレーション株式会社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

食品用液剤スプレー装置

植物油等の低粘度材料からチョコレートなどの高粘度材料に至るまでの液体を…

植物油等の低粘度材料からチョコレートなどの高粘度材料に至るまでの液体を均一に、分散塗布するスプレーバルブです。他のスプレーガンに比べて、選択的に塗布が出来るマスキングレス可能なスプレイ塗布アプリケーション用スプレーガンです。そのため上記にて使用します塗布機器は食品用として、改造しましたサニタリー塗布機器です。詰まりにくい特殊ノズルが高微粒化塗布を可能にし、下記の特徴と高付加価値を生...

メーカー・取り扱い企業： Shimada Appli合同会社コーティング開発部

粉塵対策フォグシステム

粉塵濃度90％低減！お客さまの現場に適したフォグ鎮塵システムをご提案し…

当社は、入念な現場計測と丁寧なヒアリングで、現場にマッチした『粉塵対策フォグシステム』をご提案します。耐候性・耐食性に優れたステンレス配管を使用しており、長期に渡り利用可能な「ヘッダータイプ」と工場扇の周囲にスプレーノズルを配した「ファンタイプ」をご用意。色んなノズルを使い分け現場にマッチします。センサー噴霧などの自動噴霧制御もおまかせください。粉塵抑制効果と節水を...

メーカー・取り扱い企業：株式会社いけうち

ブラシ洗浄からの置き換え！枚葉式ウエハ洗浄装置（スクラバー）

実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせ…

当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。また、DIP処理で問題となるパーティクルの再付着がありませ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…

枚葉式で現像、全面露光（反転露光、イメージリバーサル）、ベーク、クーリング機能を搭載。リフトオフ用レジストで逆テーパーの角度を決める重要なPEB。当社独自プログラムで逆テーパー角度を安定させます！また、ネガレジストの露光後ベークに使用することで安定プロセスが得られます。マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、設計から製造・販売まで自社で行ってい...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動レジスト現像装置（枚葉式）デベロッパー Developer

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…

枚葉式フォトレジスト現像装置です。パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！また、厚膜レジスト現像～微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載（オプション：全面露光ユニット）マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたライ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【導入事例】自動スプレーシステム

システムの費用を数週間以内で回収！年間2,800万円～4,200万円を…

アルミニウムストリップの製造において「自動スプレーシステム」を導入した事例をご紹介いたします。コイル仕上げ工程中にストリップに潤滑オイルを塗布する必要がありますが、塗布状態はオペレーターまたはコイルによってばらつきがありました。導入後はコイルの不良率が低くなり、潤滑オイルの使用量も削減。一流体PulsaJetノズルがミスト飛散や過剰スプレーをなくしたため、メンテナン...

メーカー・取り扱い企業：スプレーイングシステムスジャパン合同会社

卓上型　セレクティブスプレー装置『ULTIMA-SSP』

好適条件で高効率にフラックス塗布

当社で製造しております卓上型セレクティブスプレー装置『ULTIMA-SSP』を紹介致します。当製品は2008年販売開始以来大好評をたまわり、現在の最新モデルは「ULTIMA-SSP」です。「TakuROBO」との組み合わせで手付け工程からの大幅な合理化に貢献します。【特長】 ■省スペース省エネ ■多品種少ロット生産、セル生産に好適 ■TakuROBOとの組み合わせで生産効率大幅UP ・...

メーカー・取り扱い企業：株式会社弘輝テック本社

【導入事例】高速自動ガン(食品工場)

不良品率減少、液使用力削減などでコストを大幅削減した事例のご紹介

コンビニエンスストア向けの惣菜を手掛けている工場へ高速自動ガンを導入した事例をご紹介します。同工場では、塗布ブースを設けてブース内で二流体ノズルを用いて醤油の塗布を行っていました。二流体ノズルは、塗着効率や塗着品質が悪いため不良が多く発生していました。ノズルを二流体方式から一流体方式へ変更することを検討し、自動ガンを導入した結果、塗布効率と塗布品質がアップ不良品率減...

メーカー・取り扱い企業：スプレーイングシステムスジャパン合同会社

コンパクト！手動フォトレジスト現像装置（マニュアルデベロッパー）

少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式の…

当製品は、枚葉式のマニュアル現像機です。薬液BOXと処理カップ部分の本体が一緒になったコンパクト仕様です。マニュアル機をお客様のニーズに合わせて設計から製造・販売しています。研究開発目的としてだけでなく少量多品種の製品を扱うお客様にご利用いただいております。 TMAH等多彩な薬液に実績があります。【特長】 ■低価格を実現 ■コンパクト！ ■パドル、1流体スプ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ポイント噴流はんだ付け装置『EQSS-350SD』

生産管理(トレーサビリティー)が品質管理をサポート！当社のはんだ付け装…

『EQSS-350SD』は、省スペース型インラインモデルのポイント噴流はんだ付け装置です。「はんだ槽モジュール」の拡張ユニット追加により生産効率を向上。二次元コードの採用により自動段替えシステムと混流生産機能が生産稼働率を改善します。【特長】 ■最大基板サイズの350mm側を横置きにセットする事でスプレー・予熱　Dipの装置長を1600mm(フィーダーコンベア...

メーカー・取り扱い企業：株式会社弘輝テック本社

水中不純物・重金属除去装置　『SPM-300シリーズ』

薬液処理や汚物処理の蒸発が可能な環境改善に適した装置

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で高価な真空設備コストを大幅に削減します。粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。排気、廃液処理が従来システムに比べ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

『最先端コーターＨＩＴ-IIIＳ』は、塗布成膜を従来よりも圧倒的な効率で行える装置。塗布材料を従来のスプレー方式の１／２、スピン方式の１／３０以下に削減可能です。また、常圧環境で成膜を行えるので、真空環境設備を整える必要がありません。トータルコストの圧縮に貢献できる最先端コーターです。【特長】 ■塗布材料や真空設備のコストを大幅削減 ■弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒットコーポレーション

2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像…

N2と現像液を混合して吐出する2流体スプレー方式の現像装置です。 N2の圧力を変更することで、スプレーの吐出圧力を変更することができます。液の圧力を高め、高圧で吐出す方法や、液量を少なくして霧状にして柔らかく吐出する方法など幅広くスプレーの吐出パターンを選べます。スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。マニュアル機～フルオート...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ