塔内部品　高性能型『MCディストリビューター』

PRドリップポイント数（1000～2000個／m2）を実現！【実際の塔内映…

『MCディストリビューター』は、少量から大量の広範囲な液量変化に対して 分配効果を維持するために開発されたノズルオーバーフロー型の塔内部品です。 上方にノズルを有し、下方に液体分散板を備えており、ノズルが流出した液体は パイプ上部で拡がり、さらに液体分散板により拡散されて充填物の上に 分配されます。 従来の下方流出ノズル方式による分配器に比較すると、 数倍の分配効果を発揮します...

メーカー・取り扱い企業： マツイマシン株式会社 大阪本社

温度制御システムタンク『RKMH シリーズ』（加圧・真空タイプ）

PR撹拌真空、圧送、温度制御を1台で！加熱撹拌、真空脱泡、加熱などの用途で…

電熱線の内蔵されたマントルヒーターをタンクに取り付け タンクを直接加熱しPID制御にて温度制御を行います。 温度制御は温度制御コントローラーにて調整可能です。 撹拌粘度、撹拌目的に応じて撹拌機・撹拌羽根を設計、製造します。 また、10L以外の容量も製作可能です。その他、ご要望に合わせてオーダーメイド製作致します。常圧仕様もお取り扱いしております。 詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 加藤ステンレス科学株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

送は多関節ロボットを採用 ○対象ワーク：200mm□基板又はφ300mm基板に適用 【仕様】 ○外形 W2300×D2300×H1850 ○ローダー：1カセット収納 ○カップ：SUS304テフロンコート ○ディスペンサー：空圧式ダイアフラム方式 ○圧送タンク：レジストボトル用 ○カップ自動洗浄：アセトン、ベローズポンプ ○気液分離タンク：SUS304 ○露光機：オプション...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

ロボットを採用 ○対象ワーク：200mm□基板又はφ300mm基板に適用 【仕様】 ○外形(mm)：W2300×D2300×H1850 ○ローダー：1カセット収納 ○カップ：SUS304テフロンコート ○ディスペンサー：空圧式ダイアフラム方式 ○圧送タンク：レジストボトル用 ○カップ自動洗浄：アセトン、ベローズポンプ ○気液分離タンク：SUS304 ○露光機：オプション...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

ループット化実現 【仕様】 ○対象ワーク：Siウェハー、GaAs、ガラスマスク、液晶ガラス、セラミック ○ワークサイズ：φ2"～□150mm ○チャンバー径、材質：φ400mm　SUS304 ○スピンモーター：ACサーボモーター（200W） ○回転数範囲：0～5000rpm （オプション最大8000rpm） ○回転数表示：デジタル表示 ○本体材質、寸法：SS＋焼き付け塗装　W...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

　MAX3000rpm ○インナーカップ蓋： →MAX3000rpm →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウターカップ：φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構：洗浄液加圧タンクより圧送 ○ノズルアーム：ステッピングモーター駆動　ディスペンサー 2系統 ○溶剤雰囲気：バブリング機構 ○乾燥：真空乾燥5×10-4（TOrr）...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式…

：±1rpm ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○試料台：真空吸着－50Kpa （真空ポンプはオプション） ○インナーカップ：φ270アルミ削り出し、表面処理 ○外カップ：SUS304　φ360絞り加工 ○排気/廃液：廃棄はオプション、廃液はカップ止め ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

数　MAX3000rpm ○インナーカップ蓋 →MAX3000rpm →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウターカップ：φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構：洗浄液加圧タンクより圧送 ○ノズルアーム →ステッピングモーター駆動 →ディスペンサー 2系統 ○溶剤雰囲気：バブリング機構 ○乾燥：真空乾燥5×10-4（T...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

～5"□基板又はφ2"～φ5"基板に適用 【仕様】 ○外形(mm)：W2000×D1500×H1750 ○ローダー：1カセット収納 ○センタリング：エアーシリンダー ○カップ：SUS304テフロンコート ○回転数：MAX3000rpm ○モーター：400W AC サーボモーター ○搬送機：多関節ロボット ○ハンガー：エッジクランプ方式 ○ベーク：ホットプレート3段、搬送シ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用 【仕様】 ○外形寸法：W2000×D1500×H1750 ○ローダー：1カセット収納 ○センタリング：エアーシリンダー ○カップ：SUS304テフロンコート ○回転数：MAX3000rpm ○モーター：400W AC サーボモーター ○搬送機：多関節ロボット ○ハンガー：エッジクランプ方式 ○ベーク：ホットプレート3段、搬送シ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型

φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付

2本、ステッピングモーター駆動 ○塗布数：耐圧タンクによりN2圧送 ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○試料台：真空吸着－50Kpa （真空ポンプはオプション） ○カップ：SUS304　φ300絞り加工 ○排気／廃液：排気はオプション、廃液はカップ止め ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-500型

300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式！

オプション） ○回転数表示：デジタル表示 ○回転精度：±1rpm ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○試料台：真空吸着－50Kpa （真空ポンプはオプション） ○カップ：SUS304　φ500絞り加工 ○排気／廃液：排気はオプション、廃液はカップ止め ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社