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16件 - メーカー・取り扱い企業
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PRアライメントマークありの場合、位置合せ精度±0.05mm！スリッター機…
『R-ACSE430aa』は、コンベア式、カメラ位置数値制御タイプの 半自動真空枚葉貼合装置です。 300万画素カメラ4台による画像処理自動位置合わせ方式で、 上吸盤仕様は旋回式AL吸着パネル、下吸盤仕様は貼合コンベアベルト バックアックパネル仕様。 また、オプションでスリッター機能追加が可能です。 【仕様(一部)】 ■装置名称：R-ACSE430aa(コンベア式・カメラ...
メーカー・取り扱い企業： クライムプロダクツ株式会社
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【フィルタ(FERENA)の特徴・仕様 興研KOACH】興研
◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る
■FERENA※の特長 ◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る ◆ナノファイバーの存在比率が高い ◆フィルタとして有効なランダム構造 ◆耐水・耐油性に優れる ◆耐熱性に優れる ◆ボロンが出...
メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社
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【デモ機貸し出し可能！】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリ…
板、フィルム基板等の乾燥を行う装置です。 乾燥物は、専用カセットに入れた物をスピンドライヤーのローターにカセット枠を設け、其処にセットします。 チャンバー内は回転で陰圧となり、蓋に組み込まれたHEPAフィルターを通過したクリーンの風により、チャンバー内のクリーン度を高め、高品質のスピン乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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【安衛法ナノ粒子対策に適応 ラミコーチL645-H】興研代理店
■安衛法ナノ粒子対策適応■HEPAフィルタ搭載■ダクト室外排気(ファン…
株式会社製 「ラミコーチ LAMIKOACH L 645-H(ダクト排気タイプ)」 ◆同一ベクトル集合流でコンタミをしっかりと捕捉 ◆クリーン化された吹き出し気流をダクトで室外に排気※1 ◆HEPAフィルタ搭載(プッシュフード、プルフード共に) ※1：プルフードには別途、ファン及びダクト等が必要となります [クリーンルーム内の使用] 「LAMIKOACH」をクリーンルーム内で使用す...
メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社
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【デモ機貸し出し可能！】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン…
〜概要〜 ・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。 ・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。 ...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。
1.FFU外形サイズの自由度 貴社筐体とのマッチングを考慮し、必要風量に応じたファンモータを 組み合わせることで最適なFFUを提供いたします。 2.各種フイルタの搭載が可能 HEPA、ULPA、ボロン対応、低有機ガス対応の他、酸/アルカリ/有機ガス 除去用のケミカルフイルタとの組み合わせも可能です。 3.チャンバー内差圧取出し用のポート増設 4.CEマーキング...
メーカー・取り扱い企業： トーアメック株式会社
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【デモ機貸し出し可能！】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です
SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。 特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。 蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のクリーン度を向上させます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…
■エコマーク取得。環境にやさしい ■熱伝導率が良く、結露しにくい ■寸法精度・耐振動性・耐剛性にすぐれ、自動化に対応 ■ケース主要部品にアルミ材を使用 ◎クリーンケース ■HEPA装置を搭載し、外部電源、または専用バッテリーで駆動 ■清浄度クラス100以下を実現 ■静電気除去装置「イオナイザー」を装備 ◎第6世代からの大型基板非接触搬送ケース ■ガラス基板...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)
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【コンタミナント対策 ラミコーチ 局所クリーン化】興研 代理店
■気流がコンタミナントを捕捉する■HEPAフィルタ搭載■ファン内蔵、室…
【コンタミナント対策用換気装置】 オープン空間においてクリーン化された空気を吹き出すプッシュフードとその気流をバランスよく吸引するプルフードによって構成されるコンタミナント対策用換気装置です。オープン空間において同一ベクトル集合流をつくりだし、その中で発生したコンタミナントをしっかり捕捉して排気します。 また、対象となる作業場の空間を仕切り等によって囲うことなく換気できるので、作業スペー...
メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社
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カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター
ります） その他機能 自動脱泡、薬液自動供給、自動洗浄、各種アラーム、防爆、 レシピ登録（最大100個）、データログ、塗布状態のグラフ表示 10インチカラータッチパネル、非常停止ボタン、HEPAフィルター ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社
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フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度片面露光装置
取機によって構成されます｡ 【主な特長】 平行光光源による高解像度 高精度基板搬送(サーボロール送り､エッジコントローラ) テンション(張力)コントロールが可能 露光部クリーン対応(上部HEPAユニット装備､露光部内面はSUS板)...
メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社
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【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…
【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ○クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が可能 ○異常振動が発生した場合、自動的...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置
オプションでオゾン水（20ppm）やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。 その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場
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高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置
・全面樹脂カバーとHEPAユニットでクリーン度を保持 ・改質時に放出されるオゾン、N2ガスを封じ込め、オ ゾン吸着フィルターを通して一括排気 ・サーボモーターと自動式ピンチローラーによる定速度搬送 ・ピンチローラ...
メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致し…
を一貫して行う精密洗浄処理装置 ○機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択可能 ○各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します 【仕様】 ○ウエハーサイズ：～φ300m/m ○HEPA又はULPA：フィルター内蔵 ○ロボット：サーボモーター ○薬液槽：揺動、超音波洗浄、メガソニック ○リンス槽：バブリング、QDR、比抵抗計設置 ○ULD：lonaizar（オプション） ...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能！】高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）…
SRD型は、従来のすぐれた乾燥性、操作性に加えて高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置です。 蓋にULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上させます。 クレドールの交換により2～3種類の、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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■HEPAフィルタ搭載■プルフードはダクト排気。別途ダクト・ファン等が…
プルフード1W ＊フィルタの圧力損失に伴って変動します。 ※室内循環タイプのLAMIKOACH J 645-Hもあります。 ■同一ベクトル集合流によりコンタミをしっかり補足 ■HEPAフィルタを組み込んでいる(プッシュフード・プルフード共に)のでクリーンルームを汚染させません ■クリーン化された吹き出し気流をダクトで室外に排気＊ ■労働安全衛生法のナノ粒子対策に適応 ＊プ...
メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社
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