スピンドライヤー　SPD-1200G

【デモ機貸し出し可能！】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリ…

板、フィルム基板等の乾燥を行う装置です。 乾燥物は、専用カセットに入れた物をスピンドライヤーのローターにカセット枠を設け、其処にセットします。 チャンバー内は回転で陰圧となり、蓋に組み込まれたHEPAフィルターを通過したクリーンの風により、チャンバー内のクリーン度を高め、高品質のスピン乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー（乾燥機）

【デモ機貸し出し可能！】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン…

〜概要〜 ・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。 ・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ファンフィルターユニット（FFU）

筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。

1.FFU外形サイズの自由度 貴社筐体とのマッチングを考慮し、必要風量に応じたファンモータを 組み合わせることで最適なFFUを提供いたします。 2.各種フイルタの搭載が可能 　HEPA、ULPA、ボロン対応、低有機ガス対応の他、酸/アルカリ/有機ガス 　除去用のケミカルフイルタとの組み合わせも可能です。 3.チャンバー内差圧取出し用のポート増設 4.CEマーキング...

メーカー・取り扱い企業： トーアメック株式会社

スピンドライヤー　SFH type

【デモ機貸し出し可能！】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です

SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。 特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。 蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のクリーン度を向上させます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

　■エコマーク取得。環境にやさしい 　■熱伝導率が良く、結露しにくい 　■寸法精度・耐振動性・耐剛性にすぐれ、自動化に対応 　■ケース主要部品にアルミ材を使用 ◎クリーンケース 　■HEPA装置を搭載し、外部電源、または専用バッテリーで駆動 　■清浄度クラス100以下を実現 　■静電気除去装置「イオナイザー」を装備 ◎第6世代からの大型基板非接触搬送ケース 　■ガラス基板...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

高精度スプレーコーター API-300OGS

カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター

ります） その他機能　 自動脱泡、薬液自動供給、自動洗浄、各種アラーム、防爆、 レシピ登録（最大100個）、データログ、塗布状態のグラフ表示 10インチカラータッチパネル、非常停止ボタン、HEPAフィルター ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

ロール to ロール片面露光装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度片面露光装置

取機によって構成されます｡ 【主な特長】 平行光光源による高解像度 高精度基板搬送(サーボロール送り､エッジコントローラ) テンション(張力)コントロールが可能 露光部クリーン対応(上部HEPAユニット装備､露光部内面はSUS板)...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

スピンドライヤー　SPD型

【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…

【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ○クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が可能 ○異常振動が発生した場合、自動的...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

オプションでオゾン水（20ppm）やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。 その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

フィルム表面改質装置（ロールtoロール式）

高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置

・全面樹脂カバーとHEPAユニットでクリーン度を保持 ・改質時に放出されるオゾン、N2ガスを封じ込め、オ 　ゾン吸着フィルターを通して一括排気 ・サーボモーターと自動式ピンチローラーによる定速度搬送 ・ピンチローラ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

ウエハー自動洗浄装置　カセットレス自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致し…

を一貫して行う精密洗浄処理装置 ○機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択可能 ○各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します 【仕様】 ○ウエハーサイズ：～φ300m/m ○HEPA又はULPA：フィルター内蔵 ○ロボット：サーボモーター ○薬液槽：揺動、超音波洗浄、メガソニック ○リンス槽：バブリング、QDR、比抵抗計設置 ○ULD：lonaizar（オプション） ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー　SRD型

【デモ機貸し出し可能！】高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）…

SRD型は、従来のすぐれた乾燥性、操作性に加えて高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置です。 蓋にULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上させます。 クレドールの交換により2～3種類の、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社