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PRメンテナンス性能が飛躍的に向上!給排気清浄高気密型の封じ込め用アイソレ…
『MGI90』は、庫内圧を一定の陰圧状態に保ち、給排気ともにHEPAフィルター 付きで交叉汚染及び作業者への暴露を防止できる封じ込め用アイソレータ・ グローブボックスです。 主に高薬理活性物質や低レベル放射性物質の取り扱いに好適。 プロセス部は、SUS304(L)/SUS316(L)を主材質とし、内外面研磨かつ コーナーR仕上げとした滑らかで清掃性の良いシームレス構造を採用してお...
メーカー・取り扱い企業: 万善工機株式会社
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小型局所 脱臭装置『Belicleen Air BA500T』
PRコンパクトなボディで揮発性有機化合物(VOC)成分を強力に除去&…
【ダブルの活性炭で揮発性有機化合物(VOC・MEK)成分を強力に除去】 揮発性有機化合物(VOC・MEK)をダブルの活性炭とHEPAフィルターにより吸着し、クリーンな空気にして排出。工場内の有害物質の吸引を防ぐだけでなく、イヤなニオイも取り除き、吐き気・頭痛・倦怠感などの健康被害から作業員を守ります。 【高額&面倒な工事いらずの簡単設置。低コストで対策可能】 ダクト工事が不要で簡単に低コ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ベリカ 大阪本社
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【デモ機貸し出し可能!】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリ…
板、フィルム基板等の乾燥を行う装置です。 乾燥物は、専用カセットに入れた物をスピンドライヤーのローターにカセット枠を設け、其処にセットします。 チャンバー内は回転で陰圧となり、蓋に組み込まれたHEPAフィルターを通過したクリーンの風により、チャンバー内のクリーン度を高め、高品質のスピン乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン…
〜概要〜 ・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。 ・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。 ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です
SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。 特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。 蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のクリーン度を向上させます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…
■エコマーク取得。環境にやさしい ■熱伝導率が良く、結露しにくい ■寸法精度・耐振動性・耐剛性にすぐれ、自動化に対応 ■ケース主要部品にアルミ材を使用 ◎クリーンケース ■HEPA装置を搭載し、外部電源、または専用バッテリーで駆動 ■清浄度クラス100以下を実現 ■静電気除去装置「イオナイザー」を装備 ◎第6世代からの大型基板非接触搬送ケース ■ガラス基板...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ディー・アール・エス(DRS)
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フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度片面露光装置
取機によって構成されます。 【主な特長】 平行光光源による高解像度 高精度基板搬送(サーボロール送り、エッジコントローラ) テンション(張力)コントロールが可能 露光部クリーン対応(上部HEPAユニット装備、露光部内面はSUS板)...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…
【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ○クレドールの交換により4~12インチ、ウエハーの乾燥が可能 ○異常振動が発生した場合、自動的...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置
オプションでオゾン水(20ppm)やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。 その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置
・全面樹脂カバーとHEPAユニットでクリーン度を保持 ・改質時に放出されるオゾン、N2ガスを封じ込め、オ ゾン吸着フィルターを通して一括排気 ・サーボモーターと自動式ピンチローラーによる定速度搬送 ・ピンチローラ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致し…
を一貫して行う精密洗浄処理装置 ○機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択可能 ○各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します 【仕様】 ○ウエハーサイズ:~φ300m/m ○HEPA又はULPA:フィルター内蔵 ○ロボット:サーボモーター ○薬液槽:揺動、超音波洗浄、メガソニック ○リンス槽:バブリング、QDR、比抵抗計設置 ○ULD:lonaizar(オプション) ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】高品質を実現した1キャリア(25枚又は13枚)…
SRD型は、従来のすぐれた乾燥性、操作性に加えて高品質を実現した1キャリア(25枚又は13枚)処理タイプの乾燥装置です。 蓋にULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上させます。 クレドールの交換により2~3種類の、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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