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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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簡単導入!電子実験記録ノート『BIOVIA Notebook』
PR【使用開始にあたり特別な準備やトレーニングが不要!】シンプルな画面構成…
電子実験ノート 『 BIOVIA Notebook 』は簡単に導入・運用できるELN/電子実験ノートで、研究開発部門のDX化推進に好適なツールです。 実験業務において、研究開発のスピードUP、コスト削減、 組織間情報共有を実現することで研究開発でのイノベーションを促進します。 過去には数億円規模でのコストダウンや4,000ユーザの運用でも専任不要の実績がございます。 また BIOVIA Note...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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超高感度 質量分析装置 WATMASS-MPH DAシステム
【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの…
を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。 弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』では破壊及び、 リーク量(10^-15Pa・m3/s 以下)の計測が可能です。 MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに! ★デバイス評価・材料評価など各種受託質量分析(ガス分析)も承ります★ 【特長】 ■超高感度 0.2%BeCu合金製ガ...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…
。 半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。 【測定例】 ■半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 ■半導体ウェハー基板からのガス放出測定 ■接合ウェハー界面のガス分析 ■MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 ■封止デバイスの極微小リークチェック ※「PDFダウンロード」より本サービスの紹介に加え、 分析システムに関する解説を掲載した資料をご覧いただけます。 お問い...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減!一般的な四重…
UHVの高精度な質量分析 ■表面分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析(質量分析) ■微量ガス分析(TDS/Out Gas) ■封止デバイス/MEMSの質量分析および、10-17Pa・m3/sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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当社のラボにてサンプルをお預かりしてデバイスの残留ガスの受託分析サービ…
分析アプリケーション例(蓄積法) 破壊分析 ●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 ●半導体ウェハ基板からのガス放出測定 ●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 非破壊分析 ●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定 ...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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受託サービス:質量ガス分析<分析システムの解説付き資料進呈>
高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…
小リークの検出が可能。 半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。 【測定例】 ■半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 ■半導体ウェハ基板からのガス放出測定 ■MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 ■封止デバイスの極微小リークチェック ※「PDFダウンロード」より本サービスの紹介に加え、 分析システムに関する解説を掲載した資料をご覧いただけます。 ...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアッ…
■極・超?真空の?精度な質量分析 ■表?分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電?刺激によって発?するガス分析 ■微量ガス分析(TDS/Out Gas) ■封?デバイス/MEMSのガス分析及び、E-15Pa・m3/sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験及び、微?気泡ガス分析 ■?気圧分析(呼気、燃焼ガス、触媒反応) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか?
答えはこちら!質量分析のソリューションと事例をご紹介!
■XHV/UHVの高精度なガス分析 ■表面分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析 ■微量ガス分析(TDS/Out Gas) ■封止デバイス/MEMSのガス分析および、10-17Pa・m3/sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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答えはこちら!極微小リーク検査のソリューションと事例をご紹介!
を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。 弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』では破壊及び、 リーク量(10^-15Pa・m3/s 以下)の計測が可能です。 MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに! ★デバイス評価・材料評価など各種受託ガス分析も承ります★ 【特長】 ■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置 ...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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オーダーメイド型スパッタリング成膜装置
難しい材料、様々な基板形状、用途にも!非常に幅広い基板サイズに…
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社