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8インチウェハ対応タイプ
【特徴】 ○2点からのプローブ方式を用いたC-V、I-V測定器(Aタイプ) ○3点からのプロービングを可能とし、この複合測定は擬似MOSFET状態を実現し、インシュレータ層の界面トラップ密度など、Top-Si層を除去することなしに測定可能 ○ウェハサイズは1~8インチまで対応し、最大49サイトまでのマッピング測定が可能 ○TDDB...
メーカー・取り扱い企業: 雄山株式会社 東京支店
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