今さら聞けない「Oリング」「パッキン」「ガスケット」の違いとは？

PR「シールにはどんな種類があるの？」「用途に合わせたシールの選び方がわか…

「Oリング」「パッキン」「ガスケット」などの機会要素は、まとめて「シール」というカテゴリに属しております。 「シール」は、内部に異物が入らないようにしたり、外部へ流体が漏れないようにするための部品や装置の総称のことを言います。 シール材は消耗品ではありますが、工場や日常生活において重要な役割を担っています。 誠和商会で取り扱うGMORS社のO-リング（EPDM材、シリコン材、NBR材）は、食品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社誠和商会

食品製造で異物混入対策にお悩みの方、FOOMAのアラムブースへ！

PR金属検出機やX線検査機で、検出可能な異物対策用ゴム・プラスチック製品を…

アラム株式会社は、2024年6月4日～7日に東京ビッグサイトで開催されます 日本で最大級の食に関する展示会「FOOMA JAPAN 2024」に出展いたします。 当社は、食品設備や食品工場での異物混入リスクを軽減する目的で開発した 金属検出機やマグネットトラップ、Ｘ線検査機等で検出することができる 異物対策用ゴム・プラスチック製品『MPフーズ』シリーズを展示いたします。 『MPフ...

メーカー・取り扱い企業： アラム株式会社

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

このようなプロセス条件の変動を緩和するため、従来技術では製品処理前に類似ウェハを処理して堆積物をコーティングすることによってチャンバ内表面状態を安定させる手法（エージング）が適用されていました。Y5O4 F7膜はY2O3膜に比べてプラズマ処理前後の表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージング時間を大幅に短縮し、装置稼働時間を上げることに寄与します。 ...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。 半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大きなカギを握っていま...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

Oリング FKM-90 (フッ素ゴム)

Oリングの桜シールによる「FKM-90 (フッ素ゴム)」材質

高いことから耐圧性も兼ね備えています。JIS B2401:2012がFKM-90と定める以前は、公的規格には属していませんでした。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズの両面で適切なOリング選定をサポートさせて頂きます。 ＊ フッ素ゴム各種は、桜シール株式会社が最も得意としている材質で...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

Oリング フロロパワーDEW (バイトンETP-白色)

Oリングの桜シールによる白色タイプのバイトンETP (FFKM-E)材…

とから低パーティクル性に優れ、良好な耐プラズマ性を有しています。パーフロ（FFKM）材質の下位互換として、コストダウンに有効です。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズの両面で適切なOリング選定をサポートさせて頂きます。 ＊ FFKM-Eを含むフッ素ゴム各種は、桜シール株式会社が最も得...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

パーフロOリング フロロパワーFFW (FFKM-白色)

Oリングの桜シールによる白色タイプのパーフロロエラストマー材質

の材質で、極めて優秀な耐薬品性を有し、充填剤にカーボンブラックを用いていないことからクリーン性や耐プラズマ性などにも優れています。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズの両面で適切なOリング選定をサポートさせて頂きます。 ＊ パーフロを含むフッ素ゴム各種は、桜シール株式会社が最も得意とし...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

耐プラズマ性Oリング フロロパワーDPR (特殊フッ素ゴム)

Oリングの桜シールによる配合材無使用の特殊（フッ素ゴム+フッ素樹脂）材…

ラズマ性を発揮します。ノンフィラータイプの耐熱パーフロ材質「フロロパワーFFN（FFKM-耐プラズマ）」の下位互換として有効です。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズの両面で適切なOリング選定をサポートさせて頂きます。 ＊ パーフロなどを含むフッ素ゴム各種は、桜シール株式会社が最も得...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

【エージング時間が大幅短縮！】耐プラズマ耐食性YOF保護膜

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、…

イオンアシスト蒸着法によるYOF膜（酸フッ化イットリウム膜）は、ドライエッチング装置部品の保護膜としてパーティクル低減、装置稼働時間を大幅にアップさせるだけでなく、これまで要したエージング時間を大幅に短縮させることができます。半...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

フロロパワーシリーズ【高機能フッ素ゴム材質】

Oリングの桜シールは、過酷な温度条件や強力な薬品にも耐えることが出来る…

Oリングの使用環境に適合する材質の選定は、温度条件と圧力条件、そして接触流体の条件を勘案して行います。尚、条件次第によってはフロロパワーシリーズがオーバースペックである場合もあります。条件と照らし合わせて、無駄なく最適なOリングを選定して下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

半導体製造装置用部品に特化！　海外製セラミックのご紹介

静電チャック、ピンチャック等の調達にお困り事があった方は必見！ 海外…

【対応領域】 材料提案から対応可能。 ※ESCはパターン製作も対応可能です！ 【対応材質】 アルミナ(Al2O3)　ジルコニア(ZrO2)　イットリア（Y2O3） 窒化アルミ(AlN)　炭化ケイ素（SiC）　窒化ケイ素(SI3N4) などの対応が可能です。 【対応サイズ】 8インチ、12インチサ...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

つばさ真空理研株式会社の『高耐食性Y2O3（酸化イットリウム）膜』についてご紹介します。 「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性の高い厚膜ができます。 用途...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

ICパッケージ開封装置

物理的・電気的なダメージを与えることなくパッケージの除去が可能！高選択…

バイスのパッケージに適応した故障解析のための 開封装置を提供しております。 独自の新規プラズマ技術MIP(Microwave Induced Plasmaマイクロ波誘導プラズマ)を有し、 O2(酸素)プラズマを用いてパッケージを除去。 また、一つの装置内でエッチング、洗浄、乾燥、一連のプロセスを 自動で行うことが可能です。 【特長】 ■マイクロ波誘導プラズマ ■O2プ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

スリットバルブシール

スリットバルブシール

バー内にウエハを搬送する入り口（ゲート）に使用できる、チャンバー用スリットバルブシール（ゲートバルブシール）をご提供しております。 【特長】 ★［設計・形状］ 断面形状の最適形状化により、Oリングに比べて、下記の優位性をもっています。 ・溝への装着性に優れる　　 ・捻れによるトラブルが発生しにくい　 ・溝から脱落しにくい 　 ★[材料] 低発塵性、耐摩耗性、耐プラズマ性など...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

カルレッツ／パーフロロエラストマーパーツ

パーフロロエラストマー！！耐熱性、耐薬品性に優れたパーフロロエラストマ…

◆三菱電線工業は２０年以上にわたりカルレッツ(R)正規代理店として日本のお客様にカルレッツ(R)の販売及びサービスを行なってきました。 ◆標準規格サイズOリングに限らず成形品シールの設計・用途技術開発に関する長年の経験とノウハウより、複雑な金型成形品についてもお客様の多様なニーズに対して的確な用途相談、製品設計、機能評価などの技術サービスをカルレッツ...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

10-5pascal ・スパッタカソード：Φ2"（最大6）、Φ3"（最大4） ・プラズマ電源：RF150W, 300W, DC850W, HiPIMS 5KW ・MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング ・ターボ分子ポンプ + ドライスクロールポンプ ・メインチャンバー RIEエッチングステージRF300W ・LLチャンバー ＜30W 低出力制御*ソフトエッチ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ソフトエッチング装置【nanoETCH】＜30W低出力

＜30W（制御精度10mW）低出力RFエッチングによる、精細でダメー…

スト除去 • テフロン基板などのダメージを受けやすい基板での表面改質、エッチング • h-BNサイドウオールエッチング（*『フッ化ガス供給モジュール』オプション, SF6ガス系統要） • SiO2エッチング（*『フッ化ガス供給モジュール』オプション, CHF3ガス系統要） 【仕様】 ◉ 対応基板：〜Φ6inch ◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動シーケンス ◉ APC自動圧力...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社