フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

PVD(FUPC) ,CVD - フジタ技研 コーティング

極めて密着性に優れたPVD(FUPC)は、CVD処理特有の熱歪みによる…

フジタ技研のコーティング技術についてご紹介いたします。 「CVD」は、素材表面にコーティングした数ミクロンのチタン膜により、 耐摩耗性能を格段に向上させることが可能。 「FUPC」は、CVD処理特有の熱歪みによる寸法変化を解消し、強力な 密着性を重視した独自開発のコーティング技術です。 また当社では、潤滑性・滑り性・疲労強度に特化した当社独自の 「DM(下地処理)」も行って...

メーカー・取り扱い企業： フジタ技研株式会社

CVD処理特有の熱歪みによる寸法変化を解消するPVDコーティング

CVD処理特有の寸法変化を極力抑制！PVD処理では困難の強力な密着性を…

フジタ技研のコーティング技術についてご紹介いたします。 「CVD」は、素材表面にコーティングした数ミクロンのチタン膜により、 耐摩耗性能を格段に向上させることが可能。 「FUPC」は、CVD処理特有の熱歪みによる寸法変化を解消し、強力な 密着性を重視した独自開発のコーティング技術です。 また当社では、潤滑性・滑り性・疲労強度に特化した当社独自の 「DM(下地処理)」も行っております。 【F...

メーカー・取り扱い企業： フジタ技研株式会社

PVD CVD コーティング膜の特性と選定方法【凝着トラブル編】

金型に適したコーティング（PVD , CVD)を選定できてますか？本資…

本資料は、金型に用いるコーティング膜の特性・選定に関する情報を 実際の損傷例をまじえ、分かりやすく解説した資料です。 第2弾となる今回は、早期摩耗や欠け・剥離といった問題を引き起こす “凝着”に焦点をあて、発生原因や対策ポイントを紹介しています。 【掲載内容】 ■凝着はなぜ起こるのか ■硬質膜に要求される特性とは ■硬質膜の膜種と特性の違い ※詳しくは「PDFダウンロー...

メーカー・取り扱い企業： フジタ技研株式会社