偏光ビームスプリッター ワイヤグリッドタイプ・キューブ型

PRカスタマイズ可能なワイヤグリッド偏光ビームスプリッター、入射角依存の少…

WGF(TM)を使用した、ワイヤグリッド偏光ビームスプリッターキューブタイプ（WGF(TM) PBS)です。 すでにハーフミラーをお使いの場合、WGF(TM) PBSに替えることで輝度向上が期待できます。 縮小系でも色や偏光度が部分的に変わることはなく、画像検査の精度を向上させます。 入射角依存が少なく、安定した光学性能を維持します。 ※WGF(TM)は旭化成の製品です。...規格品　WP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプティカルソリューションズ

レンズ用表面形状測定機 MarSurf LD Aspheric

PR非球面レンズの両面を一度に測定できる表面形状測定機。高精度＆高速測定で…

特許取得の独自構造によりレンズの表・裏を一度に測定出来る 表面形状測定機『MarSurf LD 130/260 Aspheric 2D/3D』 2024年4月 OPIE'24(株)マブチ エス アンド ティー ブースに実機を展示！ レンズの表裏を変える必要がなく、セッティングの手間を削減できるほか、 高精度・高速測定が行えるため、測定作業の短縮に貢献。 また、0.5mNという低測定圧での測定が可...

メーカー・取り扱い企業： マール・ジャパン株式会社

真空対応10nmフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　リニアエンコーダ内蔵により10nm…

ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-9...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

スリム型100nm分解能ステージ（40mm）

エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ

自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化 ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)

[真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めス…

設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：120mm×120mm ○テーブル移動量：50mm ○対応真空度：10-４Pa ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 □　詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください　□...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ

フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：80mm×80mm ○テーブル移動量：40mm ○対応真空度：10-４Pa ○耐荷重：49N ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 □　詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください□...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

Z軸用10nmステージ FS-1005PZ/1010PZ

【昇降ステージ】リニアエンコーダ内蔵により10nmの高分解能・高い位置…

光学式リニアエンコーダを内蔵した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっております。 自社開発リ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY

【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えて...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えて...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えて...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY

【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えて...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY

【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…

自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…

ドバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社